硬质被膜和硬质被膜被覆构件制造技术

通过将A组成(AlCrSiα的氮化物)、B组成(CrBSiβ的氮化物)和C组成(AlCr(SiC)γ的氮化物)中的一种的单一组成层的A层(32)与将A组成、B组成和C组成的纳米层(纳米层A层(32n)、纳米层B层(34n)、纳米层C层(36n))中的两种交替地层叠而成的两种纳米层交替层(38、40)分别以规定的膜厚交替地层叠，即使在例如对于钛合金的切削加工中也可得到优异的耐久性等可得到优异的耐磨性、韧性、润滑性和耐熔敷性。由此，除了钛合金外，例如在对于碳素钢、不锈钢、铸铁、合金钢等各种被切削材料的切削加工中或者在高速加工和干式加工等严酷的加工条件下，借由高韧性而抑制硬质被膜的破裂和剥离，从而能够实现工具的长寿命化。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】硬质被膜和硬质被膜被覆构件
本专利技术涉及硬质被膜和硬质被膜被覆构件，特别涉及具有优异的耐磨性、耐熔敷性的硬质被膜。
技术介绍
在端铣刀、铣刀、钻头、车刀、断屑器等切削工具、冷成型丝锥、滚轧成型工具等非切削工具等各种加工工具、或者要求耐磨性的摩擦零件等各种构件中，进行了对超硬合金、高速工具钢等的母材的表面涂覆硬质被膜。例如，在专利文献1中提出了AlCrN系/AlTiSiN系的多层结构的硬质被膜，在专利文献2中提出了AlCrN系/CrN系的多层结构的硬质被膜，在专利文献3中提出了AlCr系/TiSi系的多层结构的硬质被膜。该等硬质被膜通常具备优异的耐磨性、耐熔敷性。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2012-35378号公报专利文献2：日本特开2014-79834号公报专利文献3：日本特表2008-534297号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题但是，即使在这样的硬质被膜中，有时也因被切削材料的种类和切削速度等加工条件、使用条件等而未必能够获得充分满足的性能，仍存在本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.硬质被膜，其是以被覆母材的表面的方式附着于该表面的硬质被膜，其特征在于，/n所述硬质被膜以将单一组成层与两种纳米层交替层共三种层交替地层叠而总膜厚成为0.5～20μm的范围内的方式构成，该单一组成层由A组成、B组成和C组成中的任一种组成构成，该两种纳米层交替层以所述A组成和所述B组成、所述A组成和所述C组成、所述B组成和所述C组成这三种组合中的任两种组合将各组成的纳米层交替地层叠而成，/n所述A组成是组成式为Al

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.硬质被膜，其是以被覆母材的表面的方式附着于该表面的硬质被膜，其特征在于，
所述硬质被膜以将单一组成层与两种纳米层交替层共三种层交替地层叠而总膜厚成为0.5～20μm的范围内的方式构成，该单一组成层由A组成、B组成和C组成中的任一种组成构成，该两种纳米层交替层以所述A组成和所述B组成、所述A组成和所述C组成、所述B组成和所述C组成这三种组合中的任两种组合将各组成的纳米层交替地层叠而成，
所述A组成是组成式为AlaCrbSicαd的氮化物，其中a、b、c、d分别以原子比计为0.30≤a≤0.80、0.15≤b≤0.65、0≤c≤0.45、0≤d≤0.10且a+b+c+d＝1，Si和α为任意添加成分，任意添加成分α为选自B、C、Ti、V、Y、Zr、Nb、Mo、Hf、Ta和W中的一种以上的元素，
所述B组成是组成式为CreBfSigβh的氮化物，其中e、f、g、h分别以原子比计为0.40≤e≤0.95、0.05≤f≤0.30、0≤g≤0.45、0≤h≤0.10且e+f+g+h＝1，Si和β为任意添加成分，任意添加成分β为选自C、Al、Ti、V、Y、Zr、Nb、Mo、Hf、Ta和W中的一种以上的元素，
所述C组成是组成式为AliCrj(SiC)kγl的氮化物，其中i、j、k、l分别以原子比计为0.20≤i≤0.85、0.10≤j≤0.50、0.03≤k≤0.45、0≤l≤0.10且i+j+k+l＝1，任意添加成分γ为选自B、Ti、V、Y、Zr、Nb、Mo、Hf、Ta和W中的一种以上的元素，
所述单一组成层的膜厚在0.5～1000nm的范围内，
构成所述两种纳米层交替层的所述纳米层的各膜厚均在0.5～500nm的范围内，所述两种纳米层交替层的各膜厚均在1～1000nm的范围内。


2.权利要求1所述的硬质被膜，其特征在于，所述单一组成层的膜厚T1与所述两种纳米层交替层的各膜厚T2...

【专利技术属性】
技术研发人员：王媺，
申请(专利权)人：OSG株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP