【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机的冷却装置
[0001]本技术涉及冷却装置
，具体为一种真空镀膜机的冷却装置。
技术介绍
[0002]蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程(散点－岛状结构
‑
迷走结构
‑
层状生长) 形成薄膜，对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。
[0003]目前，现有的真空镀膜机的冷却装置使用时穿在一定的弊端，长时间使用后，对冷却管进行更换时不够便捷，费时费力且效率低，且冷却液长时间使用后受热蒸发致使冷却液减少，不能够及时的对冷却装置内部进行添加冷却液，继而造成冷却装置出现故障的现象，甚至折损冷却装置的使用寿命。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于：为了解决现有技术中对冷却管更换不便和对冷却装置内部添加冷却液不便捷的问题，提供一种真空镀膜机的冷却装置。
[0005]为实现上述目的...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机的冷却装置，包括主体(1)，其特征在于：所述主体(1)的内部底端安装有水泵(3)，且水泵(3)的一侧设置有冷却箱(2)，所述冷却箱(2)的一侧设置有延伸至主体(1)外侧的输送管(4)，所述输送管(4)的内部设置有延伸至输送管(4)外侧的控制阀(5)，所述冷却箱(2)的内部顶端焊接有二号套杆(13)，且二号套杆(13)的外侧套接有第二套筒(12)，所述第二套筒(12)的两侧均设置有浮球(9)，且第二套筒(12)的下方位于二号套杆(13)的外侧设置有二号弹簧开关(11)，所述二号套杆(13)的外侧设置与冷却箱(2)内壁连接的一号弹簧开关(10)，所述水泵(3)的输出端连接管道，且管道的端部连接有冷却管(6)，所述冷却管(6)的端部设置有连接机构(8)，且连接机构(8)一端连接有U型管(7)，所述U型管(7)的端部设置有与连接机构(8)连接的管道。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的冷却装置，其特征在于：所述连接机构(8)包括有与冷却管(6)焊接的推杆(801)，所述U型管(7)的内部焊接有一号套杆(809)，且一号套杆(809)的外侧套接有与推杆(801)连接的第一套筒(808)，所述第一套筒(808)的顶端一侧设置有贯穿至U型管(7)外侧且延伸至冷却管(6)内部的固定杆(807)，所述固定杆(807)的外设...
【专利技术属性】
技术研发人员：康宗海，
申请(专利权)人：深圳市荣凯光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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