一种镀膜机阴极结构制造技术

技术编号:28753519 阅读:43 留言:0更新日期:2021-06-09 10:19
本实用新型专利技术公开了一种镀膜机阴极结构,其安装于镀膜箱的一侧,镀膜箱内用于放置工件,镀膜机阴极结构包括:容置箱,容置箱的一侧与所述镀膜箱连通;靶管,靶管转动内置于所述容置箱;套筒,套筒的外周面开设有一与其内腔连通的缺口;第一驱动机构,可驱动靶管相对容置箱转动;第二驱动机构,可驱动套筒相对靶管转动,阴极棒刚开始通电到达到稳态的过程中,第二驱动机构驱动套筒转动,并使缺口背离容置箱与镀膜箱连通的一侧,当阴极棒放电达到稳态后,第二驱动机构再次驱动所述套筒转动,并使缺口朝向容置箱与镀膜箱连通的一侧,并且第一驱动机构可以驱动靶管持续转动,从而保证靶管的周向各个位置材料均能从缺口释放出来,进一步提高镀膜效果。步提高镀膜效果。步提高镀膜效果。

【技术实现步骤摘要】
一种镀膜机阴极结构


[0001]本技术涉及真空镀膜机
,具体涉及一种镀膜机阴极结构。

技术介绍

[0002]传统的真空镀膜机,其对小型面板进行金属镀膜时,小型面板一般都是固定在真空镀膜机之中,在电极丝的放电作用下,充满于真空镀膜机的金属蒸汽会被镀到小型面板之上,从而完成金属镀膜处理。
[0003]传统的真空镀膜机中的通产把电镀原料制成靶管,靶管需要套设在阴极棒上,阴极棒通电后即可实现电镀,但是阴极棒刚开始通电时,放电还没达到稳态,电镀效果不佳。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于克服上述技术不足,提供一种镀膜机阴极结构,解决阴极棒刚开始通电时,放电还没达到稳态,镀膜效果不佳的技术问题。
[0005]为达到上述技术目的,本技术的技术方案提供一种镀膜机阴极结构,其安装于镀膜箱的一侧,所述镀膜箱内用于放置工件,所述的镀膜机阴极结构包括:
[0006]容置箱,所述容置箱的一侧与所述镀膜箱连通;
[0007]靶管,所述靶管转动内置于所述容置箱;
[0008]套筒,所述套筒同轴套设于所述靶管本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种镀膜机阴极结构,其安装于镀膜箱的一侧,所述镀膜箱内用于放置工件,其特征在于,所述的镀膜机阴极结构包括:容置箱,所述容置箱的一侧与所述镀膜箱连通;靶管,所述靶管转动内置于所述容置箱;套筒,所述套筒同轴套设于所述靶管,并且所述套筒可相对所述靶管转动,所述套筒的外周面开设有一与其内腔连通的缺口;第一驱动机构,所述第一驱动机构的驱动端与所述靶管驱动连接,并可驱动所述靶管相对所述容置箱转动;第二驱动机构,所述第二驱动机构的驱动端与所述套筒驱动连接,并可驱动所述套筒相对所述靶管转动,其中,所述第二驱动机构可驱动所述套筒转动,并使所述缺口朝向/背离所述容置箱与所述镀膜箱连通的一侧。2.根据权利要求1所述的镀膜机阴极结构,其特征在于,所述靶管为两个,两个所述靶管均与所述容置箱转动连接,所述套筒也为两个,两个所述套筒一一对应同轴套设于两个所述靶管,每个所述靶管的上端均同轴固定连接有一第一被动轮,所述第一驱动机构的驱动端设置有一...

【专利技术属性】
技术研发人员:郭爱云朱选敏
申请(专利权)人:武汉科瑞达真空科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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