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本实用新型公开了一种镀膜机阴极结构,其安装于镀膜箱的一侧,镀膜箱内用于放置工件,镀膜机阴极结构包括:容置箱,容置箱的一侧与所述镀膜箱连通;靶管,靶管转动内置于所述容置箱;套筒,套筒的外周面开设有一与其内腔连通的缺口;第一驱动机构,可驱动靶管...该专利属于武汉科瑞达真空科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉科瑞达真空科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种镀膜机阴极结构,其安装于镀膜箱的一侧,镀膜箱内用于放置工件,镀膜机阴极结构包括:容置箱,容置箱的一侧与所述镀膜箱连通;靶管,靶管转动内置于所述容置箱;套筒,套筒的外周面开设有一与其内腔连通的缺口;第一驱动机构,可驱动靶管...