载台装置及自主搬运机器人制造方法及图纸

本申请涉及载台装置及自主搬运机器人，安装于自主搬运机器人的机架上，其包括安装于机架上的多组载台机构连接于机架上的位移机构，载台机构在上下方向平行设置，位移机构包括位移驱动件、与位移驱动件连接的位移传动组件，以及载台安装座，载台安装座滑移连接在机架上，位移传动组件连接于机架与载台安装座之间，以带动载台安装座滑移连接在机架上，至少一组载台机构通过载台安装座滑移安装于机架上。本申请具有调整了载台升降的方式，减少与对接设备高度差，能兼顾的对接高度范围大，缩短了搬运机器人取放时间，从而提高生产效率的效果。

【技术实现步骤摘要】
载台装置及自主搬运机器人
本申请涉及半导体领域，尤其是涉及载台装置及自主搬运机器人。
技术介绍
随着中国集成电路需求的持续增长，国内生产晶圆片的晶圆厂在近几年迅速崛起。由于晶圆片在制程中最怕“微尘污染”，所以在生产晶圆片的晶圆厂中对洁净度的要求非常高，很多工位都是用搬运机器人替代人进行相关操作的。针对上述中的相关技术，专利技术人认为相关技术中，在搬运机器人与对接设备上的工位对接时，时常会因为对接机台工位与搬运机器人上载位高度不匹配而造成不能用同一款搬运机器人进行搬运，不同高度需要设计不同类型的搬运机器人来进行搬运，增加了制造成本。
技术实现思路
为了减少与对接设备高度差，能兼顾的对接高度范围大，缩短了搬运机器人取放时间，从而提高生产效率，本申请提供载台装置及自主搬运机器人。第一方面，本申请提供的载台装置采用如下的技术方案：载台机构，安装于自主搬运机器人的机架上，包括安装于机架上的多组载台机构连接于机架上的位移机构，所述载台机构在上下方向平行设置，所述位移机构包括位移驱动件、与所述位移驱动件连接的位本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.载台装置，安装于自主搬运机器人的机架（1）上，其特征在于：包括安装于机架（1）上的多组载台机构（52）连接于机架（1）上的位移机构（51），所述载台机构（52）在上下方向平行设置，所述位移机构（51）包括位移驱动件（511）、与所述位移驱动件（511）连接的位移传动组件（512），以及载台安装座（513），所述载台安装座（513）滑移连接在所述机架（1）上，所述位移传动组件（512）连接于机架（1）与所述载台安装座（513）之间，以带动所述载台安装座（513）滑移连接在所述机架（1）上，至少一组所述载台机构（52）通过所述载台安装座（513）滑移安装于所述机架（1）上。/n

【技术特征摘要】
1.载台装置，安装于自主搬运机器人的机架（1）上，其特征在于：包括安装于机架（1）上的多组载台机构（52）连接于机架（1）上的位移机构（51），所述载台机构（52）在上下方向平行设置，所述位移机构（51）包括位移驱动件（511）、与所述位移驱动件（511）连接的位移传动组件（512），以及载台安装座（513），所述载台安装座（513）滑移连接在所述机架（1）上，所述位移传动组件（512）连接于机架（1）与所述载台安装座（513）之间，以带动所述载台安装座（513）滑移连接在所述机架（1）上，至少一组所述载台机构（52）通过所述载台安装座（513）滑移安装于所述机架（1）上。


2.根据权利要求1所述的载台装置，其特征在于：所述载台机构（52）包括固定载台（521）和可移动载台（522），所述固定载台（521）固定连接在所述机架（1）底部和/或顶部，所述可移动载台（522）固定连接在所述载台安装座（513）上。


3.根据权利要求2所述的载台装置，其特征在于：所述位移传动组件（512）包括第二螺杆件（5121）和第二螺母件（5122），第二螺杆件（5121）的两端转动连接在所述机架（1）上，所述第二螺杆件（5121）的一端与所述位移驱动件（511）的驱动轴固定连接，所述载台安装座（513）固定连接在所述第二螺母件（5122）上；所述载台安装座（513）与所述机架（1）之间连接有导向件。


4.根据权利要求3所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴功，顾俊，王朋，何川，刘军峰，
申请(专利权)人：上海大族富创得科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31