一种晶圆裸眼检视装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种晶圆裸眼检视装置，包括晶圆承载移动装置和支架，支架上端设置有滑轨；晶圆承载移动装置安装在滑轨上；晶圆承载移动装置下端安装有把手；晶圆承载移动装置外部设置有由前挡板，后挡板，侧挡板以及顶盖组成的观察箱；一侧侧挡板上开有观察窗；顶盖内侧安装有LED光源和多个防静电离子风扇。通过LED光源以及防静电离子风扇，营造一个单一光源的暗室和无微粒、无静电的环境；人员通过观察窗探入暗室内，对晶圆承载移动装置上的晶圆进行人工检视，在暗室环境下，单一的光源在晶圆表面产生漫反射，不会影响晶圆的检验，大大提高晶圆的检验质量和检验速度。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆裸眼检视装置
本技术涉及半导体检视设备
，是用于一种晶圆裸眼检视装置。
技术介绍
晶圆是生产集成电路的载体，各种不同的电路原件结构形成有特定电性功能的半导体产品。在半导体测试之前，需要进行外观检验，以确保晶圆上半导体产品的可用性。无尘室环境检测下，照明灯的光线照射晶圆会产生反光现象，从而在晶圆表面形成光斑，从而使检验人员不易发现晶圆表面的异常(刮伤，脏污，破损等)，无尘室中的微粒会掉落至晶圆表面，影响测试结果。
技术实现思路
本技术的目的在于，提供一种晶圆裸眼检视装置，解决现有晶圆检视方法存在的问题。一种晶圆裸眼检视装置，包括暗室和设置在暗室内的晶圆承载移动装置，所述暗室一侧上开有观察窗，所述暗室内顶端上设有一冷白色LED光源和多个防静电离子风扇，所述晶圆承载移动装置内设有放置晶圆的凹槽。在本技术的一个实施例中，所述暗室由前挡板、后挡板、两个侧挡板和顶盖组成，所述观察窗设置在其中一个侧挡板上，所述冷白色LED光源和多个防静电离子风扇均设置在顶盖上。在本技术的一个实施例中，所述前挡板、本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆裸眼检视装置，其特征在于，包括暗室和设置在暗室内的晶圆承载移动装置(6)，所述暗室一侧上开有观察窗，所述暗室内顶端上设有一冷白色LED光源(2)和多个防静电离子风扇(3)，所述晶圆承载移动装置(6)内设有放置晶圆的凹槽。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶圆裸眼检视装置，其特征在于，包括暗室和设置在暗室内的晶圆承载移动装置(6)，所述暗室一侧上开有观察窗，所述暗室内顶端上设有一冷白色LED光源(2)和多个防静电离子风扇(3)，所述晶圆承载移动装置(6)内设有放置晶圆的凹槽。


2.根据权利要求1所述晶圆裸眼检视装置，其特征在于，所述暗室由前挡板(9)、后挡板(10)、两个侧挡板(4)和顶盖(1)组成，所述观察窗设置在其中一个侧挡板(4)上，所述冷白色LED光源(2)和多个防静电离子风扇(3)均设置在顶盖上。


3.根据权利要求2所述晶圆裸眼检视装置，其特征在于，所述前挡板(9)、后挡板(10)、两个侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏广峰，周友，
申请(专利权)人：安测半导体技术江苏有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32