本实用新型专利技术提供了一种真空吸盘装置及搬运装置，用于吸附薄膜产品，所述真空吸盘装置包括吸盘组及用于固定所述吸盘组的基座，所述吸盘组包括密封连通的刚性的连接部及弹性的吸附部，所述连接部与吸附部之间形成缓冲腔，所述基座具有抽气通道，所述缓冲腔通过所述连接部上的连接孔与所述抽气通道相连，所述吸附部与薄膜产品接触的一侧设有相互连通的导气槽，所述导气槽底部设有若干通孔。本实用新型专利技术通过在吸附部与被吸附物接触的一侧设置导气槽，并于导气槽底部设置若干通孔，使得吸附部与被吸附物吸附时，吸附力分布较均匀，避免真空吸盘装置的吸附力集中于吸附部的中部，使得被吸附物局部受力过大而损坏。
【技术实现步骤摘要】
真空吸盘装置及搬运装置
本技术涉及显示面板生产领域，尤其涉及一种真空吸盘装置及搬运装置。
技术介绍
柔性薄膜是一种质轻且柔软度较高的材料，主要应用于显示面板及半导体等行业中。在柔性薄膜的生产过程中，需要对其进行搬运以适应不同设备环节的加工，因其厚度较小且易弯折的特性，在搬运过程中需要注意其起皱或者弯折等造成损坏的问题。现有的搬运方式有夹具搬运及真空吸附搬运，其中通过夹具进行搬运的弊端在于，薄膜可能在夹持过程中受到损坏；真空吸附搬运为通过吸盘对薄膜进行真空吸附，将其水平固定在生产线上，通过生产线对其进行运输，也方便操作人员对柔性薄膜进行具体的操作。然而，现有真空吸盘在保证吸附力的同时会造成薄膜的褶皱及压痕，进而影响最终产品的质量。因此，有必要设计一种真空吸盘装置及搬运装置，以解决上述问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种可减小对柔性薄膜造成损害的真空吸盘装置。为实现上述目的，本技术采用如下技术方案：一种真空吸盘装置，用于吸附薄膜产品，所述真空吸盘装置包括吸盘组及用于固定所述吸盘组的基座，所述吸盘组包括密封连通的刚性的连接部及弹性的吸附部，所述连接部与吸附部之间形成缓冲腔，所述基座具有抽气通道，所述缓冲腔通过所述连接部上的连接孔与所述抽气通道相连，所述吸附部与薄膜产品接触的一侧设有相互连通的导气槽，所述导气槽底部设有若干通孔。作为本技术进一步改进的技术方案，所述导气槽为网格状，所述通孔设于网格交点上。作为本技术进一步改进的技术方案，所述连接部包括连接部本体及支撑部，所述支撑部支撑于所述吸盘及连接部本体之间，所述支撑部包括若干凸肋，所述凸肋均匀分布于所述连接部本体上，所述缓冲腔形成于所述凸肋之间。作为本技术进一步改进的技术方案，所述凸肋以连接孔为圆心呈弧形。作为本技术进一步改进的技术方案，所述基座包括抽气部及安装部，所述抽气通道贯穿所述抽气部，所述连接部边缘具有凸缘，所述安装部开设有安装孔，所述凸缘通过所述安装孔与所述安装部扣接。作为本技术进一步改进的技术方案，所述安装孔内侧开设有环槽，所述凸缘卡设于环槽内。作为本技术进一步改进的技术方案，所述吸盘组还包括抵接于所述基座与所述连接部之间的胶垫，所述胶垫上设有与所述连接孔对应的胶垫孔。作为本技术进一步改进的技术方案，所述吸附部的材质为硅胶，所述连接部的材质为聚醚醚酮。本技术的目的还在于提供一种可减小对柔性薄膜造成损害的搬运装置。为实现上述目的，本技术采用如下技术方案：一种搬运装置，其包括上述任一项所述的真空吸盘装置。由以上技术方案可知，本技术通过在吸附部与被吸附物接触的一侧设置导气槽，并于导气槽底部设置若干通孔，使得吸附部与被吸附物吸附时，吸附力分布较均匀，避免真空吸盘装置的吸附力集中于吸附部的中部，使得被吸附物局部受力过大而损坏。附图说明图1为本技术一实施例的真空吸盘装置的立体图。图2为图1中真空吸盘装置的剖视图。图3为图1中真空吸盘装置的分解图。图4为图3中吸附部的立体图。图5为图3中连接部的立体图。图6为图3中胶垫的立体图。图7为图2中圆圈部分的放大图。具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图和具体实施例对本技术进行详细描述。本技术提供了一种搬运装置，用于搬运薄膜类产品，其包括若干如图1至图3所示的真空吸盘装置100，真空吸盘装置100用于吸附于薄膜产品表面。真空吸盘装置100包括吸盘组20及用于固定吸盘组20的基座10。基座10包括安装部11及抽气部12，抽气部12具有贯穿的抽气通道121。安装部11开设有用于安装吸盘组20的安装孔111，抽气部12上设有与安装孔111对应的开孔124，吸盘组20通过安装孔111及开孔124与抽气通道121连通。抽气通道121两端还分别设有用于与外部抽气装置连通的密封连接头122、123。吸盘组20包括密封连通的刚性的连接部22及弹性的吸附部21以及抵接于基座10与连接部22之间的胶垫23。请参图4所示，吸附部21为圆盘状，其与薄膜产品接触的一侧开设有相互连通的导气槽211，导气槽211底部设有若干通孔212。通孔212与连接部22连通，进而与抽气通道121连通。导气槽211优选为网格状，通孔212设于网格交点上。吸附部21与薄膜产品吸附的一侧设有喇叭状边缘213，如此设置，保证了吸附部21的气密性，进而保证了吸附部21的吸附力。吸附部21的材质优选为硅胶。请参图5所示，连接部22包括连接部本体221及支撑部222，支撑部222支撑于吸附部21及连接部本体221之间，支撑部222包括若干凸肋，凸肋均匀分布于连接部本体221上。凸肋优选以连接孔223为圆心呈弧形。请一并参图2所示，连接部22与吸附部21之间形成缓冲腔，缓冲腔形成于凸肋之间。通孔212与凸肋之间的位置对应连通。缓冲腔通过连接部22上的连接孔223与抽气通道121相连。连接部22边缘具有凸缘224，凸缘224的外径大于安装孔111的内径，凸缘224通过安装孔111与安装部11扣接。优选的，安装孔111内侧设有环槽112，凸缘224卡设于环槽112内。连接部22的材质优选为聚醚醚酮，使得连接部22具有机械强度高、耐高温、耐疲劳的有点以及具有较好的尺寸稳定特性，使用寿命较长。请参图6所示，胶垫23用于将基座10与连接部22密封连通，其上设有与连接孔223对应的胶垫孔231。胶垫23包括与抽气部12抵接的平板部233及与连接部22上方抵接的倾斜部232，倾斜部232为向下开口的喇叭状，倾斜部232边缘与凸缘224的内侧抵接。工作时，外部抽气装置开启，在抽气通道121内形成负压，进而将空气自吸盘组20抽出，在吸盘组20内形成负压。请参图7所示，空气流动方向为：沿导气槽211流动并通过通孔212流入支撑部222(缓冲腔)之间，进而通过连接部22的连接孔223、胶垫23的胶垫孔231及抽气部12进入抽气通道121。综上所述，本技术的真空吸盘装置100通过在吸附部21与被吸附物接触的一侧设置导气槽211，并于导气槽211底部设置若干通孔212，使得吸附部21与被吸附物吸附时，吸附力分布较均匀，避免真空吸盘装置100的吸附力集中于吸附部21的中部，使得被吸附物局部受力过大而损坏；连接部22与吸附部21之间设有缓冲腔，并设置支撑部222对吸附部21进行支撑，防止吸附部21向上变形，进而损坏被吸附物。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种真空吸盘装置，用于吸附薄膜产品，其特征在于：所述真空吸盘装置包括吸盘组及用于固定所述吸盘组的基座，所述吸盘组包括密封连通的刚性的连接部及弹性的吸附部，所述连接部与吸附部之间形成缓冲腔，所述基座具有抽气通道，所述缓冲腔通过所述连接部上的连接孔与所述抽气通道相连，所述吸附部与薄膜产品接触的一侧设有相互连通的导气槽，所述导气槽底部设有若干通孔。/n
【技术特征摘要】
1.一种真空吸盘装置，用于吸附薄膜产品，其特征在于：所述真空吸盘装置包括吸盘组及用于固定所述吸盘组的基座，所述吸盘组包括密封连通的刚性的连接部及弹性的吸附部，所述连接部与吸附部之间形成缓冲腔，所述基座具有抽气通道，所述缓冲腔通过所述连接部上的连接孔与所述抽气通道相连，所述吸附部与薄膜产品接触的一侧设有相互连通的导气槽，所述导气槽底部设有若干通孔。
2.如权利要求1所述的真空吸盘装置，其特征在于：所述导气槽为网格状，所述通孔设于网格交点上。
3.如权利要求2所述的真空吸盘装置，其特征在于：所述连接部包括连接部本体及支撑部，所述支撑部支撑于所述吸盘及连接部本体之间，所述支撑部包括若干凸肋，所述凸肋均匀分布于所述连接部本体上，所述缓冲腔形成于所述凸肋之间。
4.如权利要求3所述的真空吸盘装置，其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员：史延锋，史延库，
申请(专利权)人：苏州盟萤电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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