【技术实现步骤摘要】
真空吸盘装置及搬运装置
本技术涉及显示面板生产领域，尤其涉及一种真空吸盘装置及搬运装置。
技术介绍
柔性薄膜是一种质轻且柔软度较高的材料，主要应用于显示面板及半导体等行业中。在柔性薄膜的生产过程中，需要对其进行搬运以适应不同设备环节的加工，因其厚度较小且易弯折的特性，在搬运过程中需要注意其起皱或者弯折等造成损坏的问题。现有的搬运方式有夹具搬运及真空吸附搬运，其中通过夹具进行搬运的弊端在于，薄膜可能在夹持过程中受到损坏；真空吸附搬运为通过吸盘对薄膜进行真空吸附，将其水平固定在生产线上，通过生产线对其进行运输，也方便操作人员对柔性薄膜进行具体的操作。然而，现有真空吸盘在保证吸附力的同时会造成薄膜的褶皱及压痕，进而影响最终产品的质量。因此，有必要设计一种真空吸盘装置及搬运装置，以解决上述问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种可减小对柔性薄膜造成损害的真空吸盘装置。为实现上述目的，本技术采用如下技术方案：一种真空吸盘装置，用于吸附薄膜产品，所述真空吸盘装置包括吸盘组及用于固定所述吸盘组的基座，...
【技术保护点】
1.一种真空吸盘装置，用于吸附薄膜产品，其特征在于：所述真空吸盘装置包括吸盘组及用于固定所述吸盘组的基座，所述吸盘组包括密封连通的刚性的连接部及弹性的吸附部，所述连接部与吸附部之间形成缓冲腔，所述基座具有抽气通道，所述缓冲腔通过所述连接部上的连接孔与所述抽气通道相连，所述吸附部与薄膜产品接触的一侧设有相互连通的导气槽，所述导气槽底部设有若干通孔。/n
【技术特征摘要】
1.一种真空吸盘装置，用于吸附薄膜产品，其特征在于：所述真空吸盘装置包括吸盘组及用于固定所述吸盘组的基座，所述吸盘组包括密封连通的刚性的连接部及弹性的吸附部，所述连接部与吸附部之间形成缓冲腔，所述基座具有抽气通道，所述缓冲腔通过所述连接部上的连接孔与所述抽气通道相连，所述吸附部与薄膜产品接触的一侧设有相互连通的导气槽，所述导气槽底部设有若干通孔。
2.如权利要求1所述的真空吸盘装置，其特征在于：所述导气槽为网格状，所述通孔设于网格交点上。
3.如权利要求2所述的真空吸盘装置，其特征在于：所述连接部包括连接部本体及支撑部，所述支撑部支撑于所述吸盘及连接部本体之间，所述支撑部包括若干凸肋，所述凸肋均匀分布于所述连接部本体上，所述缓冲腔形成于所述凸肋之间。
4.如权利要求3所述的真空吸盘装置，其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员：史延锋，史延库，
申请(专利权)人：苏州盟萤电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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