由长春布宁合成的磺酸锍盐类光产酸剂及其合成方法技术

本发明专利技术公开了一种由长春布宁合成的磺酸锍盐类光产酸剂，涉及光产酸剂领域，结构式为：其中，R为氟代烷基，且R中的部分亚甲基可以被醚、酯基、碳酸酯、羰基这类含氧基团取代。本发明专利技术的光产酸剂能够降低了光产酸剂的扩散，有利于改善边缘粗糙度，减小线宽粗糙度，提高分辨率；亲水亲油平衡，树脂与光产酸剂在溶剂中混合更加均匀，有利于形成更加均匀的光刻胶；具有优良的耐刻蚀性能；在193nm波长下透明度高，有利于193nm波长下的曝光；合成路线简单。合成路线简单。

【技术实现步骤摘要】
由长春布宁合成的磺酸锍盐类光产酸剂及其合成方法


[0001]本专利技术涉及光产酸剂领域，特别涉及一种由长春布宁合成的磺酸锍盐类光产酸剂及其合成方法。

技术介绍

[0002]光刻技术是指利用光刻胶在可见光、紫外线、电子束等作用下的化学敏感性，通过曝光、显影、刻蚀等工艺过程，将设计在掩膜版上的图形转移到衬底上的图形微细加工技术。
[0003]光刻技术的发展离不开光刻胶的发展，光刻胶的发展在一定程度上决定了光刻技术的发展与应用。光刻胶又称光致抗蚀剂，是光刻技术中涉及的最关键的功能性化学材料，主要成分是树脂、光产酸剂、以及相应的添加剂和溶剂，这类材料具有光化学敏感性，经光化学反应，本身在显影液中的溶解性发生变化。
[0004]光产酸剂是实现光化学敏感性的重要组成成分，光产酸剂在曝光后会产生强酸，用于引发树脂上的化学反应，从而造成光刻胶的极性发生改变，既而曝光区和非曝光区的光刻胶在显影液中的溶解性发生变化，以实现光刻的目的。常用的光源波长包括：248nm、193nm、EUV(13.5nm)和电子束。
[0005]光产酸剂的亲水亲油本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.由长春布宁合成的磺酸锍盐类光产酸剂，其特征在于，所述光产酸剂的结构式为：其中，R为氟代烷基，且R中的部分亚甲基可以被醚、酯基、碳酸酯、羰基这类含氧基团取代。2.根据权利要求1所述的由长春布宁合成的磺酸锍盐类光产酸剂，其特征在于，所述光产酸剂包括：3.如权利要求1或2所述的由长春布宁合成的磺酸锍盐类光产酸剂的合成方法，其特征在于，所述合成方法如下：其中，M为碱金属；第一步：在
‑
5～5摄氏度，惰性气体保护下，将1.5～2当量的氢化钠缓慢加入到1当量的长春布宁Ⅰ的第一溶剂的溶液中，搅拌0.5～1.5小时；然后将1～1.1当量的碳酸二烷基酯滴加到上述混合液中；在惰性气体保护下加热回流6～10小时；反应完成后，将反应液倒入冰水中淬灭；将淬灭的混合液浓缩，用二氯甲烷萃取；合并萃取液，并将萃取液用饱和食盐水清洗、无水硫酸钠干燥，浓缩得到粗产品；粗产品经柱层析纯化得到中间体Ⅱ；第二步：将1当量的中间体Ⅱ和1.2～2.0当量的氢氧化钠或者氢氧化钾加入到水和第二溶剂的混合液中，在20～30摄氏度下搅拌2～5小时；将反应液浓缩，用稀盐酸将溶液pH值
调整为1～3，得到混合液；将所得混合液用乙酸乙酯萃取，合并萃取液并用饱和食盐水清洗，无水硫酸钠干燥，浓缩得到中间体Ⅲ；第三步：将1当量的化合物Ⅲ和1当量的含羟基的氟代烷基磺酸盐以及酸催化剂加入到第三溶剂的溶液中，加热回流16～20小时，冷却至室温；过滤该混合物得到固体，固体用乙腈清洗；将混合的乙腈溶液浓缩，并加入到甲基叔丁基醚中进行打浆，过滤，收集烘干滤饼...

【专利技术属性】
技术研发人员：贺宝元，潘惠英，蒋小惠，毕景峰，李嫚嫚，
申请(专利权)人：上海博栋化学科技有限公司，
类型：发明
国别省市：