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本发明公开了一种由长春布宁合成的磺酸锍盐类光产酸剂，涉及光产酸剂领域，结构式为：其中，R为氟代烷基，且R中的部分亚甲基可以被醚、酯基、碳酸酯、羰基这类含氧基团取代。本发明的光产酸剂能够降低了光产酸剂的扩散，有利于改善边缘粗糙度，减小线宽粗糙...
该专利属于上海博栋化学科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海博栋化学科技有限公司授权不得商用。

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