毛细管导引装置以及打线接合装置制造方法及图纸

毛细管导引装置40包括：导引本体部41，能够与保持于孔7h的毛细管8接触；以及驱动部42，通过使导引本体部41沿着X轴方向移动，将导引本体部41配置于能够与毛细管8接触的位置。驱动部42具有：平台46，连结于导引本体部41；驱动轴47b，在X轴方向上延伸，与平台46之间发挥摩擦阻力；以及超声波元件47a，固定于驱动轴47b的端部，并且对驱动轴47b提供超声波。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】毛细管导引装置以及打线接合装置
本专利技术涉及一种毛细管导引装置以及打线接合装置。
技术介绍
专利文献1公开一种打线接合装置。打线接合装置具有作为接合工具(bondingtool)的毛细管(capillary)。打线接合装置通过使用毛细管对打线赋予热或超声波等，而将打线连接于电极。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利特开2018-6731号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的问题在电子设备的制造工厂中，为了制造大量的电子设备而使多个制造装置工作。若制造装置的数量增加，则生产数增加。另一方面，制造装置需要各种维护(maintenance)作业。发生同制造装置的数量相应的维护作业。因此，生产数的增加与维护作业的负荷处于相悖的关系。因此，若可以不依赖于作业者的手而自动进行维护作业，则能够减少维护作业的负荷。打线接合装置具有作为所述维护作业之一的毛细管更换作业。因此，所述
中，期望能够可靠地进行自动的毛细管的更换作业的技术。本专利技术的目的在于提供一种能够可靠地进行自动的毛细管的更换作业的毛细管导引装置以及打线接合装置。解决问题的技术手段本专利技术的一实施例是一种将毛细管导引至接合工具的保持孔的毛细管导引装置。毛细管导引装置包括：导引本体部，能够与保持于保持孔的毛细管接触；以及驱动部，通过使导引本体部沿着第二方向移动，将导引本体部配置于能够与毛细管接触的位置，所述第二方向为与沿着保持孔的中心轴线的第一方向交叉的方向。驱动部具有：移动体，连结于导引本体部；驱动轴，在第二方向上延伸，与移动体之间发挥摩擦阻力；以及超声波产生体，固定于驱动轴的端部，并且对驱动轴提供超声波。导引本体部能够与经接合工具保持的毛细管接触。根据所述接触，可以将经接合工具保持的毛细管的位置作为导引本体部的位置保存。此处，在使导引本体部与毛细管接触时，驱动部通过超声波产生体所提供的超声波使移动体移动，由此使导引本体部接近毛细管。而且，与毛细管接触的导引本体部的位置由移动体与驱动轴之间的摩擦阻力保持。即，在使导引本体部与毛细管接触的状态下，不存在导引本体部按压毛细管的力。其结果，在将毛细管卸除时，可靠地维持导引本体部相对于接合工具的相对位置。即，若通过所述导引本体部导引毛细管，则可以将毛细管可靠地导引至接合工具的保持孔。因此，可以可靠地进行自动的毛细管的更换作业。所述毛细管导引装置的驱动部也可还具有振动产生部，所述振动产生部安装于移动体，并且经由移动体对导引本体部提供沿着分别与第一方向及第二方向交叉的第三方向的振动。根据所述构成，可以可靠地使导引本体部与毛细管接触。因此，可以更良好地将毛细管的位置作为导引本体部的位置保存。所述毛细管导引装置的导引本体部可包含能够与毛细管的侧面接触的导引面及与导引面连续的锥面。导引本体部的面向接合工具的主面可包含构成导引面的开口端。相对于主面而言相反侧的导引本体部的背面可包含构成锥面的开口端。根据所述构成，自锥面侧提供新的毛细管。其结果，即使在毛细管的外周面与导引面偏移的情况下，毛细管也会沿着与导引面连续的锥面移动，由此毛细管被逐渐导向导引面。因此，可以更可靠地进行自动的毛细管的更换作业。所述毛细管导引装置可还包括接触检测部，所述接触检测部对导引本体部与接合工具接触的情况进行检测，接触检测部可还具有：电压提供部，在接合工具与导引本体部之间产生电位差；以及信息获取部，根据由接合工具、导引本体部及电压提供部形成的电路的状态，获得表示导引本体部与接合工具接触的信息。根据所述构成，可以电性检测接合工具与导引本体部的接触。因此，可以极大地减小作用于接合工具与导引本体部之间的反作用力。于是，可以更可靠地维持导引本体部相对于接合工具的相对位置。作为本专利技术的另一实施例的接合装置也可包括：接合工具，具有相对于保持孔能够装卸地保持的毛细管；以及安装部，一面通过导引部朝向保持孔导引毛细管，一面将毛细管安装于保持孔。导引部具有：导引本体部，能够与保持于保持孔的毛细管接触；以及驱动部，通过使导引本体部沿着第二方向移动，将导引本体部配置于能够与毛细管接触的位置，所述第二方向为与沿着保持孔的中心轴线的第一方向交叉的方向。驱动部包含：移动体，连结于导引本体部；驱动轴，在第二方向上延伸，与移动体之间发挥摩擦阻力；以及超声波产生体，固定于驱动轴的端部，并且对驱动轴提供超声波。所述接合装置包括与所述毛细管导引装置为同样构成的导引部。因此，接合装置可以可靠地进行自动的毛细管的更换作业。专利技术的效果根据本专利技术，提供一种能够可靠地进行自动的毛细管的更换作业的毛细管导引装置以及打线接合装置。附图说明[图1]图1为表示实施方式的打线接合装置的立体图。[图2]图2为将打线接合装置具有的毛细管更换装置放大表示的立体图。[图3]图3为将毛细管保持部的一部分剖视表示的立体图。[图4]图4为说明毛细管保持部的运行的图。[图5]图5为表示毛细管更换装置具有的致动器的主要部分的平面图。[图6]图6为说明致动器的运行原理的图。[图7]图7为说明致动器的具体控制的图。[图8]图8为说明致动器的具体控制的图。[图9]图9为将毛细管导引装置的一部分剖视表示的立体图。[图10]图10为毛细管导引装置的功能框图。[图11]图12为表示毛细管更换装置的运行的图。[图12]图12为表示继图11之后的毛细管更换装置的运行的图。[图13]图13为表示继图12之后的毛细管更换装置的运行的图。[图14]图14为表示继图13之后的毛细管更换装置的运行的图。[图15]图15为表示继图14之后的毛细管更换装置的运行的图。[图16]图16为表示继图15之后的毛细管更换装置的运行的图。[图17]图17为表示由毛细管保持部及毛细管导引装置发挥的毛细管的引导功能的图。[图18]图18为表示由毛细管保持部及毛细管导引装置发挥的毛细管的另一引导功能的图。[图19]图19为表示继图16之后的毛细管更换装置的运行的图。[图20]图20为表示变形例的毛细管保持部的剖面的立体图。具体实施方式以下，一方面参照附图一方面对用以实施本专利技术的实施例进行详细说明。附图的说明中对相同部件标注相同符号，省略重复说明。图1所示的打线接合装置1例如使用细径的金属打线将印刷基板等的电极、与设于所述印刷基板的半导体元件的电极加以电性连接。打线接合装置1对打线提供热、超声波或压力而将打线连接于电极。打线接合装置1具有基底2、用以进行所述连接作业的接合部3、及将作为被处理零件的印刷基板等搬送至接合区域的搬送部4。接合部3包含接合工具6。在接合工具6的前端设有超声波焊头7。在超声波焊头7的前端，能够装卸地设有用以对打线提供热、超声波或压力的毛细管8。以下的说明中，将超声波焊头7延伸的方向设为X轴(第二方向)，将由搬送部4搬送印刷基板的方向设为Y轴(本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种毛细管导引装置，将毛细管导引至接合工具的保持孔，且包括：/n导引本体部，能够与保持于所述保持孔的所述毛细管接触；以及/n驱动部，通过使所述导引本体部沿着第二方向移动，将所述导引本体部配置于能够与所述毛细管接触的位置，所述第二方向为与沿着所述保持孔的中心轴线的第一方向交叉的方向，/n所述驱动部具有：/n移动体，连结于所述导引本体部；/n驱动轴，在所述第二方向上延伸，与所述移动体之间发挥摩擦阻力；以及/n超声波产生体，固定于所述驱动轴的端部，并且对所述驱动轴提供超声波。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20190318 JP 2019-0498561.一种毛细管导引装置，将毛细管导引至接合工具的保持孔，且包括：
导引本体部，能够与保持于所述保持孔的所述毛细管接触；以及
驱动部，通过使所述导引本体部沿着第二方向移动，将所述导引本体部配置于能够与所述毛细管接触的位置，所述第二方向为与沿着所述保持孔的中心轴线的第一方向交叉的方向，
所述驱动部具有：
移动体，连结于所述导引本体部；
驱动轴，在所述第二方向上延伸，与所述移动体之间发挥摩擦阻力；以及
超声波产生体，固定于所述驱动轴的端部，并且对所述驱动轴提供超声波。


2.根据权利要求1所述的毛细管导引装置，其中
所述驱动部还具有振动产生部，所述振动产生部安装于所述移动体，并且经由所述移动体对所述导引本体部提供沿着分别与所述第一方向及所述第二方向交叉的第三方向的振动。


3.根据权利要求1或2所述的毛细管导引装置，其中
所述导引本体部包含能够与所述毛细管的侧面接触的导引面及与所述导引面连续的锥面，
所述导引本体部的面向所述接合工具的主面包含构成所述导引面的开口端，
相对于所述主面而言相反侧的所述导...

【专利技术属性】
技术研发人员：内田洋平，
申请(专利权)人：株式会社新川，
类型：发明
国别省市：日本;JP