一种夹持式晶圆校准装置及校准方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及晶圆生产技术领域，具体地说是一种夹持式晶圆校准装置及校准方法，包括座体、升降旋转机构、固定夹具、活动夹具、对射传感器和反射传感器，升降旋转机构设于所述座体中，且所述升降旋转机构设有可升降旋转的托盘，对射传感器设于座体上表面一侧，活动夹具和固定夹具以所述托盘中心为圆心沿圆周方向均布于座体上，在所述活动夹具和固定夹具一侧均设有反射传感器，且各反射传感器以所述托盘中心为圆心呈圆周方向均布，活动夹具上设有活动夹块。本发明专利技术利用活动夹具和固定夹具实现晶圆圆心校准纠偏，利用对射传感器实现晶圆方向校准纠偏，从而将晶圆圆心纠偏和方向纠偏分别计算，大大降低误差相互干扰的可能性，保证校准纠偏效果。

【技术实现步骤摘要】
一种夹持式晶圆校准装置及校准方法
本专利技术涉及晶圆生产
，具体地说是一种夹持式晶圆校准装置及校准方法。
技术介绍
现有技术中，晶圆校准通常是利用CCD传感器在晶圆旋转时标定圆周各点，计算过程中同时进行圆心纠偏和方向校准纠偏，纠偏过程复杂且误差容易产生干扰，易导致校准出错，而且CCD传感器的价格较高，不利于降低产品成本。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种夹持式晶圆校准装置及校准方法，利用活动夹具和固定夹具实现晶圆圆心校准纠偏，利用对射传感器实现晶圆方向校准纠偏，从而将晶圆圆心纠偏和方向纠偏分别计算，大大降低误差相互干扰的可能性，保证校准纠偏效果。本专利技术的目的是通过以下技术方案来实现的：一种夹持式晶圆校准装置，包括座体、升降旋转机构、固定夹具、活动夹具、对射传感器和反射传感器，升降旋转机构设于所述座体中，且所述升降旋转机构设有可升降旋转的托盘，对射传感器设于座体上表面一侧，活动夹具和固定夹具以所述托盘中心为圆心沿圆周方向均布于座体上，在所述活动夹具一侧和固定夹具一侧均设有反射传感器，且各反射本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种夹持式晶圆校准装置，其特征在于：包括座体(5)、升降旋转机构(4)、固定夹具(3)、活动夹具(2)、对射传感器(1)和反射传感器(6)，升降旋转机构(4)设于所述座体(5)中，且所述升降旋转机构(4)设有可升降旋转的托盘(401)，对射传感器(1)设于座体(5)上表面一侧，活动夹具(2)和固定夹具(3)以所述托盘(401)中心为圆心沿圆周方向均布于座体(5)上，在所述活动夹具(2)一侧和固定夹具(3)一侧均设有反射传感器(6)，且各反射传感器(6)以所述托盘(401)中心为圆心沿圆周方向均布，活动夹具(2)上设有活动夹块(201)。/n

【技术特征摘要】
1.一种夹持式晶圆校准装置，其特征在于：包括座体(5)、升降旋转机构(4)、固定夹具(3)、活动夹具(2)、对射传感器(1)和反射传感器(6)，升降旋转机构(4)设于所述座体(5)中，且所述升降旋转机构(4)设有可升降旋转的托盘(401)，对射传感器(1)设于座体(5)上表面一侧，活动夹具(2)和固定夹具(3)以所述托盘(401)中心为圆心沿圆周方向均布于座体(5)上，在所述活动夹具(2)一侧和固定夹具(3)一侧均设有反射传感器(6)，且各反射传感器(6)以所述托盘(401)中心为圆心沿圆周方向均布，活动夹具(2)上设有活动夹块(201)。


2.根据权利要求1所述的夹持式晶圆校准装置，其特征在于：活动夹具(2)均设于靠近所述对射传感器(1)一侧，固定夹具(3)均设于远离所述对射传感器(1)一侧。


3.根据权利要求1或2所述的夹持式晶圆校准装置，其特征在于：所述活动夹具(2)包括活动夹块(201)、夹块驱动装置(202)和支撑罩体(203)，其中支撑罩体(203)安装于座体(5)上，夹块驱动装置(202)设于所述支撑罩体(203)中，在所述支撑罩体(203)上设有长槽，所述活动夹块(201)置于所述长槽中且通过所述夹块驱动装置(202)驱动移动。


4.根据权利要求1或2所述的夹持式晶圆校准装置，其特征在于：所述固定夹具(3)包括支撑座(302)和固定夹块(301)，支撑座(302)固设于座体(5)上表面，固定夹块(301)固装于所述支撑座(302)上。


5.根据权利要求1所述的夹持式晶圆校准装置，其特征在于：所述升降旋转机构(4)设有旋转电机(402)，所述托盘(401)安装于所述旋转电...

【专利技术属性】
技术研发人员：张文博，朱洪彪，徐方，杨奇峰，边弘晔，赵文涛，
申请(专利权)人：沈阳新松机器人自动化股份有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21