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本发明涉及晶圆生产技术领域，具体地说是一种夹持式晶圆校准装置及校准方法，包括座体、升降旋转机构、固定夹具、活动夹具、对射传感器和反射传感器，升降旋转机构设于所述座体中，且所述升降旋转机构设有可升降旋转的托盘，对射传感器设于座体上表面一侧，活...
该专利属于沈阳新松机器人自动化股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳新松机器人自动化股份有限公司授权不得商用。

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