【技术实现步骤摘要】
智能定位工具及智能定位方法
本专利技术涉及半导体设备组装领域，尤其涉及一种智能定位工具及智能定位方法。
技术介绍
半导体设备组装前，需要根据组装设计文档如CAD图在无尘室洞洞板上标定出各组件的安装点位，然后将相应组件安装于对应的安装点位，完成设备组装。目前，对于安装点位的具体标定方法为：先将设计图按照实际尺寸打印出来，并将打印出来的图纸铺设在洞洞板上，然后人工根据图纸中的设计位置标定安装点位，最后安装组件。然而，这种人工定位的方式精确度不高，且耗时费力，严重影响装机的效率。
技术实现思路
基于此，本申请针对人工标定安装点位效率低且容易出错的技术问题，提出一种智能定位工具和智能定位方法。针对上述技术问题，本申请提出的一种智能定位工具，包括：移动部件，所述移动部件包括分别沿第一方向延伸的两纵向导轨和沿第二方向连接于两所述纵向导轨之间的横向导轨，所述横向导轨可沿所述第一方向移动，且所述横向导轨沿所述第一方向的可移动区域为定位区域；所述横向导轨上设置有横向移动滑块，所述横向移动滑块上设有用于夹持标...
【技术保护点】
1.一种智能定位工具，其特征在于，包括：/n移动部件，所述移动部件包括分别沿第一方向延伸的两纵向导轨和沿第二方向连接于两所述纵向导轨之间的横向导轨，所述横向导轨可沿所述第一方向移动，且所述横向导轨沿所述第一方向的可移动区域为定位区域；所述横向导轨上设置有横向移动滑块，所述横向移动滑块上设有用于夹持标定组件的夹具，所述第一方向和第二方向相互垂直；/n控制器，用于建立二维坐标系，读取设计文档并确定所述设计文档中待标定点在所述定位区域中的坐标位置，根据所述坐标位置控制所述横向导轨在所述纵向导轨上沿第一方向移动并控制所述横向移动滑块在所述横向导轨上沿所述第二方向移动，使所述横向移动...
【技术特征摘要】
1.一种智能定位工具，其特征在于，包括：
移动部件，所述移动部件包括分别沿第一方向延伸的两纵向导轨和沿第二方向连接于两所述纵向导轨之间的横向导轨，所述横向导轨可沿所述第一方向移动，且所述横向导轨沿所述第一方向的可移动区域为定位区域；所述横向导轨上设置有横向移动滑块，所述横向移动滑块上设有用于夹持标定组件的夹具，所述第一方向和第二方向相互垂直；
控制器，用于建立二维坐标系，读取设计文档并确定所述设计文档中待标定点在所述定位区域中的坐标位置，根据所述坐标位置控制所述横向导轨在所述纵向导轨上沿第一方向移动并控制所述横向移动滑块在所述横向导轨上沿所述第二方向移动，使所述横向移动滑块移动至所述待标定点的坐标位置处后，控制所述标定组件进行标定。
2.如权利要求1所述的智能定位工具，其特征在于，所述待标定点包括切割位点和安装位点，所述标定组件包括第一标定单元和第二标定单元，所述控制所述标定组件进行标定，包括：
判断所述待标定点的类型；当所述待标定点为切割位点时，控制所述第一标定单元进行标定；当所述待标定点为安装位点时，控制所述第二标定单元进行标定。
3.如权利要求1所述的智能定位工具，其特征在于，所述设计文档为CAD文档。
4.如权利要求1所述的智能定位工具，其特征在于，各所述纵向导轨上分别安装有纵向移动滑块，所述横向导轨的两端分别与位于两侧的所述纵向移动滑块连接。
5.如权利要求1所述的智能定位工具，其特征在于，所述横向导轨和所述纵向导轨均可伸缩。
6.如权利要求1所述的智能定位工具，其特征在于，所述移动部件上还设有水平仪，用于检测所述横向导轨和所述纵向导轨是否水平放置。
7.如权利要求1所述的智能定位工具，其特征在于，所述二维坐标系具有相互垂直的X轴和Y轴，其中，所述X轴与所述第二方向平行，所述Y轴与所述第一方向平行。
8.如权利要1所述的智能定位工具，其特征在于，所述读取设计文档并确定所述设计文档中待标定点在所述定位区域中的坐标位置，包括：
确定所述定位区域在所述二维坐标系中的位置；
读取所述设计文档中的所有待标定点，将所有待标...
【专利技术属性】
技术研发人员：龚新，郑分成，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34
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