一种新型离子源等离子体中和器制造技术

本发明专利技术涉及离子源技术领域，提出了一种新型离子源等离子体中和器，包括阴极筒、阳极引盘、设置在阴极筒外侧的冷却筒，冷却筒外侧套设有永磁磁环，阳极引盘与阴极筒的一端存在间隔，阴极筒的另一端为进气端，冷却筒上设置有冷却空腔及与冷却空腔连通的进口及出口，阳极引盘接正电，阴极筒接负电。通过上述技术方案，解决了现有技术中等离子中和器成本高及离子源灯丝型中和器电子发生不稳定、连续工作时间短、有污染的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种新型离子源等离子体中和器
本专利技术涉及离子源
，具体的，涉及一种新型离子源等离子体中和器。
技术介绍
离子源被广泛应用于半导体行业中，是离子清洗设备、离子束溅射、离子束刻蚀设备以及真空镀膜设备的核心部件。离子源的作用是将特定工艺气体离化产生等离子体，并将离子加速拉出，轰击待处理基片。离子源中和器向外发射电子，一般有两个作用：一个是提供初始电子帮助离子源产生等离子体(离子源点火过程)；另一个是中和被离子轰击后在待处理基片表面积聚的正电荷，使基片呈现电中性，避免基片放电。现有技术中，按照工作原理，离子源中和器主要有两种类型：一种是采用耐高温金属丝通电(如钨丝)，钨丝在白炽状态下释放电子。这种中和器的优点是便宜、简单、可靠。缺点是：持续工作寿命短(一般不超过10小时)；钨丝在高温下蒸发形成污染；随着钨丝蒸发变细，发射的电子量会变化，造成工艺的不稳定。这种类型的中和器广泛用于中低端离子源中，如霍尔源、考夫曼源多采用这种中和器。另外一种方式则是采用产生等离子体，并将其中产生的电子拉出，向特定方向发射。这种方式的优点是：本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型离子源等离子体中和器，其特征在于，包括阴极筒(1)、阳极引盘(2)、设置在所述阴极筒(1)外侧的冷却筒(3)，所述冷却筒(3)外侧套设有永磁磁环(4)，所述阳极引盘(2)与所述阴极筒(1)的一端存在间隔，所述阴极筒(1)的另一端为进气端，所述冷却筒(3)上设置有冷却空腔(5)及与所述冷却空腔(5)连通的进口(6)及出口(7)，所述阳极引盘(2)接正电，所述阴极筒(1)接负电。/n

【技术特征摘要】
1.一种新型离子源等离子体中和器，其特征在于，包括阴极筒(1)、阳极引盘(2)、设置在所述阴极筒(1)外侧的冷却筒(3)，所述冷却筒(3)外侧套设有永磁磁环(4)，所述阳极引盘(2)与所述阴极筒(1)的一端存在间隔，所述阴极筒(1)的另一端为进气端，所述冷却筒(3)上设置有冷却空腔(5)及与所述冷却空腔(5)连通的进口(6)及出口(7)，所述阳极引盘(2)接正电，所述阴极筒(1)接负电。


2.根据权利要求1所述的新型离子源等离子体中和器，其特征在于，所述冷却空腔(5)内通冷却剂。


3.根据权利要求1所述的新型离子源等离子体中和器，其特征在于，所述阳极引盘(2)接正电30～50V。


4.根据权利要求1所述的新型离子源等离子体中和器，其特征在于，所述阴极筒(1)接负电200～400V。


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【专利技术属性】
技术研发人员：李伟，
申请(专利权)人：长沙元戎科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：湖南;43