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本发明涉及离子源技术领域，提出了一种新型离子源等离子体中和器，包括阴极筒、阳极引盘、设置在阴极筒外侧的冷却筒，冷却筒外侧套设有永磁磁环，阳极引盘与阴极筒的一端存在间隔，阴极筒的另一端为进气端，冷却筒上设置有冷却空腔及与冷却空腔连通的进口及出...
该专利属于长沙元戎科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长沙元戎科技有限责任公司授权不得商用。

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