零部件及其封孔方法、等离子体处理装置及其工作方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种零部件及其封孔方法、等离子体处理装置及其工作方法，该封孔方法用于等离子体处理装置零部件的阳极氧化层，所述等离子体处理装置零部件还包括基底，所述阳极氧化层位于基底的表面，在所述阳极氧化层的表面形成热塑性高分子涂层；形成所述热塑性高分子涂层之后，对所述等离子体处理装置零部件进行加热处理，使所述热塑性高分子涂层转化为高弹态，在所述加热处理的过程中，所述阳极氧化层产生裂纹和孔隙，所述高弹态的热塑性高分子涂层流入裂纹和孔隙内。本发明专利技术因位于所述裂纹和孔隙内、以及位于所述阳极氧化层表面的热塑性高分子涂层而具有双重防腐蚀的作用，显著提高了等离子体处理装置零部件的抗腐蚀性能。

【技术实现步骤摘要】
零部件及其封孔方法、等离子体处理装置及其工作方法
本专利技术涉及等离子体处理装置领域，具体涉及一种零部件及其封孔方法、等离子体处理装置及其工作方法。
技术介绍
铝材因其具有良好的传导特性、易于制造以及可以以合理的价格得到的特点，因而广泛用作等离子体处理装置中等离子体处理装置零部件的制造材料。然而，铝材本身易于和氯气等腐蚀气体反应，引起等离子体处理装置零部件自身的腐蚀，并成为反应腔内颗粒污染物源。为了避免腐蚀性气体对铝材的腐蚀，目前通常采用在铝材表面做阳极氧化层的保护方法，以尝试解决氯气等腐蚀性气体对铝材的腐蚀问题。铝阳极氧化是典型的电解氧化过程，即以铝材为阳极，置于电解质溶液中进行通电处理，利用电解作用使其表面形成多孔的阳极氧化铝涂层的过程。但在实际应用过程中，发现在铝材表面做阳极氧化层的保护方法仍然存在被腐蚀的问题。原因在于：阳极氧化层在生产过程中大部分情况下会出现裂纹和孔隙，特别用在带一定温度区域，阳极氧化层会出现裂纹和孔隙扩散以及产生新的裂纹和孔隙。氯气等腐蚀气体会沿着裂纹渗入阳极氧化层，并最终腐蚀铝材基底，降低了等离子体本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于等离子体处理装置零部件的阳极氧化层的封孔方法，所述等离子体处理装置零部件还包括基底，所述阳极氧化层位于基底的表面，其特征在于，在所述阳极氧化层的表面形成热塑性高分子涂层；形成所述热塑性高分子涂层之后，对所述等离子体处理装置零部件进行加热处理，使所述热塑性高分子涂层转化为高弹态，在所述加热处理的过程中，所述阳极氧化层产生裂纹和孔隙，所述高弹态的热塑性高分子涂层流入裂纹和孔隙内。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于等离子体处理装置零部件的阳极氧化层的封孔方法，所述等离子体处理装置零部件还包括基底，所述阳极氧化层位于基底的表面，其特征在于，在所述阳极氧化层的表面形成热塑性高分子涂层；形成所述热塑性高分子涂层之后，对所述等离子体处理装置零部件进行加热处理，使所述热塑性高分子涂层转化为高弹态，在所述加热处理的过程中，所述阳极氧化层产生裂纹和孔隙，所述高弹态的热塑性高分子涂层流入裂纹和孔隙内。


2.如权利要求1所述的用于等离子体处理装置零部件的阳极氧化层的封孔方法，其特征在于，所述热塑性高分子涂层的材料包括：丙烯酸树脂或者环氧树脂。


3.如权利要求1所述的用于等离子体处理装置零部件的阳极氧化层的封孔方法，其特征在于，当所述等离子体处理装置零部件具有气孔时，所述阳极氧化层位于所述气孔的内侧壁；所述热塑性高分子涂层的形成方法包括：提供热塑性高分子溶液；使所述热塑性高分子溶液灌入所述气孔内，在所述阳极氧化层表面制备热塑性高分子涂层。


4.如权利要求3所述的用于等离子体处理装置零部件的阳极氧化层的封孔方法，其特征在于，所述气孔的深宽比大于等于18:1。


5.如权利要求1所述的用于等离子体处理装置零部件的阳极氧化层的封孔方法，其特征在于，所述加热处理的温度为50℃至180℃。


6.一种如权利要求1至权利要求5任一项所述用于等离子体处理装置零部件，其特征在于，包括：
基底；
阳极氧化层，覆盖在所述基底的表面，所述阳极氧化层内具有裂纹和孔隙；
热塑性高分子涂层，填充在所述裂纹和孔隙内，以及覆盖在所述阳极氧化层的表面。


7.如权利要求6所述的用于等离子体处理装置零部件，其特征在于，所述等离子体处理装置零部件包括：安装基板、气体分配板和内衬中的一种或者多种。


8.一种包含等离...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱生华，陈星建，倪图强，
申请(专利权)人：中微半导体设备上海股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31