一种靶材组件制造技术

本实用新型专利技术涉及一种靶材组件，所述靶材组件的背板上设置通孔；所述靶材组件的靶材上设置盲孔；所述通孔的中心线与背板中心线的垂直距离为360‑370mm；所述盲孔开口的一侧和通孔相连接；所述盲孔与所述通孔的中心线相重合；所述盲孔的垂直深度为所述靶材厚度的1/8‑1/6。本实用新型专利技术中，通过在靶材组件中背板和靶材的特定位置分别设置通孔和盲孔使得在靶材溅射击穿时，起到预警的作用，同时也使得溅射过程中，溅射深度更加均匀，提升了靶材的溅射利用率。

【技术实现步骤摘要】
一种靶材组件
本技术涉及靶材领域，具体涉及一种靶材组件。
技术介绍
目前，所使用的Al靶没有提前预防、预警被打穿的设计，如果靶材在使用过程中被击穿，就会打到背板上面，会污染半导体芯片。CN110205591A公开了一种铝合金溅射靶材，其包含含有0.1原子％-3原子％的Nd的铝合金，X射线衍射峰值强度满足下述式(1)的关系，维氏硬度为29-36；IAl(200)＞IAl(311)＞IAl(220)＞IAl(111)(1)式中，IAl(200)表示Al(200)面的X射线衍射峰值强度，IAl(311)表示Al(311)面的X射线衍射峰值强度，IAl(220)表示Al(220)面的X射线衍射峰值强度，IAl(111)表示Al(111)面的X射线衍射峰值强度。CN1860250A提供了一种减少像气孔这样的内部缺陷、不发生翘曲的大面积铝类靶材。它是由多块铝合金靶材构成件构成的铝类靶材，具备通过搅拌摩擦焊接法接合铝合金靶材构成件的接合部。此外，该接合部为在铝母材中分散了直径10μm以下的金属间化合物析出物的组织，存在0.01-0.1个/cm2的直径500μm以下的气孔。溅射足够长时会击穿高纯靶材，溅射打到背板上。背板材料是铝合金成分与靶材的高纯铝不同，如果溅射过程中溅射到背板上，背板的合金成分会污染半导体芯片。同时溅射过程中，由于靶材结构及溅射过程参数的影响，靶材溅射的深度不一，溅射不均匀，导致溅射击穿后别的位置无法使用，造成材料的浪费。
技术实现思路
鉴于现有技术中存在的问题，本技术的目的在于提供一种靶材组件，可以使得在靶材溅射击穿时，起到预警的作用，同时也使得溅射过程中，溅射深度更加均匀，提升了靶材的溅射利用率。为达此目的，本技术采用以下技术方案：本技术提供一种靶材组件，所述靶材组件的背板上设置通孔；所述靶材组件的靶材上设置盲孔；所述通孔的中心线与背板中心线的垂直距离为360-370mm；所述盲孔开口的一侧和通孔相连接；所述盲孔与所述通孔的中心线相重合；所述盲孔的垂直深度为所述靶材厚度的1/8-1/6。本技术中，通过在靶材组件中背板和靶材的特定位置分别设置通孔和盲孔使得在靶材溅射击穿时，起到预警的作用，同时也使得溅射过程中，溅射深度更加均匀，提升了靶材的溅射利用率。本技术中，所述通孔的中心线与背板中心线的垂直距离为360-370mm，例如可以是360mm、361mm、362mm、363mm、364mm、365mm、366mm、367mm、368mm、369mm或370mm等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。本技术中，所述盲孔的垂直深度为所述靶材厚度的1/8-1/6，例如可以是1/8、5/39、5/38、5/36、5/36、1/7、5/34、5/33、5/32、5/31或1/6等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。作为本技术优选的技术方案，所述通孔包括圆孔或多边形孔中的一种。所述盲孔包括圆孔或多边形孔中的一种。作为本技术优选的技术方案，所述通孔至少设置2个，例如可以是2个、3个、4个、5个或6个等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。所述盲孔至少设置2个，例如可以是2个、3个、4个、5个或6个等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。作为本技术优选的技术方案，所述通孔和盲孔以相同的圆心角均匀分布。作为本技术优选的技术方案，所述靶材组件包括圆形靶材组件或方形靶材组件。作为本技术优选的技术方案，所述通孔的直径为3-10mm，例如可以是3mm、4mm、5mm、6mm、7mm、8mm、9mm或10mm等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。作为本技术优选的技术方案，所述盲孔的直径大于通孔的直径。作为本技术优选的技术方案，所述盲孔的直径为4-12mm，例如可以是4mm、5mm、6mm、7mm、8mm、9mm、10mm、11mm或12mm等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。与现有技术方案相比，本技术具有以下有益效果：本技术中，通过在靶材组件中背板和靶材的特定位置分别设置通孔和盲孔使得在靶材溅射击穿时，起到预警的作用，同时也使得溅射过程中，溅射深度更加均匀，提升了靶材的溅射利用率。附图说明图1是本技术实施例1提供的靶材组件的示意图。图中：1-靶材，1.1-盲孔，2-背板，2.1-通孔。下面对本技术进一步详细说明。但下述的实例仅仅是本技术的简易例子，并不代表或限制本技术的权利保护范围，本技术的保护范围以权利要求书为准。具体实施方式为更好地说明本技术，便于理解本技术的技术方案，本技术的典型但非限制性的实施例如下：实施例1本实施例提供一种圆形靶材组件，如图1所示，所述靶材组件的背板2上设置通孔2.1；所述靶材组件的靶材1上设置盲孔1.1；所述通孔2.1的中心线与背板2中心线的垂直距离为365mm；所述通孔2.1的直径为3mm。所述盲孔1.1开口的一侧和通孔2.1相连接；所述盲孔1.1与所述通孔2.1的中心线相重合；所述盲孔1.1的垂直深度为所述靶材1厚度的1/8；所述盲孔1.1为圆孔；所述盲孔1.1设置2个，所述通孔2.1设置2个，其中，2个通孔2.1和2个盲孔1.1分别以180°的圆心角均匀分布；所述盲孔1.1的直径大于通孔2.1的直径；所述盲孔1.1的直径为5mm。实施例2本实施例提供一种方形靶材组件，所述靶材组件的背板2上设置通孔2.1；所述靶材组件的靶材1上设置盲孔1.1；所述通孔2.1为正方形孔；所述通孔2.1的等效直径为6mm；所述通孔2.1的中心线与背板2中心线的垂直距离为360mm。所述盲孔1.1开口的一侧和通孔2.1相连接；所述盲孔1.1与所述通孔2.1的中心线相重合；所述盲孔1.1的垂直深度为所述靶材1厚度的1/7；所述盲孔1.1为圆孔；所述通孔2.13个，所述盲孔1.13个，其中，3个通孔2.1和3个盲孔1.1分别以120°的圆心角均匀分布；所述盲孔1.1的直径大于通孔2.1的直径；所述盲孔1.1的直径为9mm。实施例3本实施例提供一种靶材组件，所述靶材组件的背板2上设置通孔2.1；所述靶材组件的靶材1上设置盲孔1.1；所述通孔2.1的中心线与背板2中心线的垂直距离为370mm；所述通孔2.1为五边形孔；所述通孔2.1的等效直径为10mm。所述盲孔1.1开口的一侧和通孔2.1相连接；所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种靶材组件，其特征在于，所述靶材组件的背板上设置通孔；/n所述靶材组件的靶材上设置盲孔；/n所述通孔的中心线与背板中心线的垂直距离为360-370mm；/n所述盲孔开口的一侧和通孔相连接；/n所述盲孔与所述通孔的中心线相重合；/n所述盲孔的垂直深度为所述靶材厚度的1/8-1/6。/n

【技术特征摘要】
1.一种靶材组件，其特征在于，所述靶材组件的背板上设置通孔；
所述靶材组件的靶材上设置盲孔；
所述通孔的中心线与背板中心线的垂直距离为360-370mm；
所述盲孔开口的一侧和通孔相连接；
所述盲孔与所述通孔的中心线相重合；
所述盲孔的垂直深度为所述靶材厚度的1/8-1/6。


2.如权利要求1所述的靶材组件，其特征在于，所述通孔包括圆孔或多边形孔中的一种；
所述盲孔包括圆孔或多边形孔中的一种。


3.如权利要求1所述的靶材组件，其特征在于，所述通孔至少设置2个；<...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，边逸军，王学泽，侯娟华，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33