一种靶材组件制造技术

本实用新型专利技术涉及一种靶材组件，所述靶材组件的背板上设置通孔；所述靶材组件的靶材上设置盲孔；所述通孔的中心线与背板中心线的垂直距离为360‑370mm；所述盲孔开口的一侧和通孔相连接；所述盲孔与所述通孔的中心线相重合；所述盲孔的垂直深度为所述靶材厚度的1/8‑1/6。本实用新型专利技术中，通过在靶材组件中背板和靶材的特定位置分别设置通孔和盲孔使得在靶材溅射击穿时，起到预警的作用，同时也使得溅射过程中，溅射深度更加均匀，提升了靶材的溅射利用率。

【技术实现步骤摘要】
一种靶材组件
本技术涉及靶材领域，具体涉及一种靶材组件。
技术介绍
目前，所使用的Al靶没有提前预防、预警被打穿的设计，如果靶材在使用过程中被击穿，就会打到背板上面，会污染半导体芯片。CN110205591A公开了一种铝合金溅射靶材，其包含含有0.1原子％-3原子％的Nd的铝合金，X射线衍射峰值强度满足下述式(1)的关系，维氏硬度为29-36；IAl(200)＞IAl(311)＞IAl(220)＞IAl(111)(1)式中，IAl(200)表示Al(200)面的X射线衍射峰值强度，IAl(311)表示Al(311)面的X射线衍射峰值强度，IAl(220)表示Al(220)面的X射线衍射峰值强度，IAl(111)表示Al(111)面的X射线衍射峰值强度。CN1860250A提供了一种减少像气孔这样的内部缺陷、不发生翘曲的大面积铝类靶材。它是由多块铝合金靶材构成件构成的铝类靶材，具备通过搅拌摩擦焊接法接合铝合金靶材构成件的接合部。此外，该接合部为在铝母材中分散了直径10μm以下的金属间化合物析出物的组织，存在0.01本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种靶材组件，其特征在于，所述靶材组件的背板上设置通孔；/n所述靶材组件的靶材上设置盲孔；/n所述通孔的中心线与背板中心线的垂直距离为360-370mm；/n所述盲孔开口的一侧和通孔相连接；/n所述盲孔与所述通孔的中心线相重合；/n所述盲孔的垂直深度为所述靶材厚度的1/8-1/6。/n

【技术特征摘要】
1.一种靶材组件，其特征在于，所述靶材组件的背板上设置通孔；
所述靶材组件的靶材上设置盲孔；
所述通孔的中心线与背板中心线的垂直距离为360-370mm；
所述盲孔开口的一侧和通孔相连接；
所述盲孔与所述通孔的中心线相重合；
所述盲孔的垂直深度为所述靶材厚度的1/8-1/6。


2.如权利要求1所述的靶材组件，其特征在于，所述通孔包括圆孔或多边形孔中的一种；
所述盲孔包括圆孔或多边形孔中的一种。


3.如权利要求1所述的靶材组件，其特征在于，所述通孔至少设置2个；<...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，边逸军，王学泽，侯娟华，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33