一种镀膜用平面溅射靶制造技术

本实用新型专利技术提供一种镀膜用平面溅射靶，涉及溅射靶技术领域，包括靶体，靶体的外表面中心处固定安装有固定圈，固定圈上呈环形等距固定插设有多个固定机构，且多个固定机构的顶部均滑动插设有连接帽。本实用新型专利技术，向里侧按压固定柱，将固定机构穿过安装溅射靶的安装机构上的安装孔，将连接帽套在柱壳上，松开固定柱，滑动连接帽，当连接帽上安装通孔与固定柱相对其的时候，复位弹簧使固定柱复位，穿过连接帽上的安装通孔，将装置进行固定，直接进行套设，使安装的力度一样，防止出现一侧安装过紧导致另一侧无法安装的情况，平面溅射靶在安装的时候，直接进行套设，使安装的力度一样，防止出现一侧安装过紧导致另一侧安装起来非常麻烦。

【技术实现步骤摘要】
一种镀膜用平面溅射靶
本技术涉及溅射靶
，尤其涉及一种镀膜用平面溅射靶。
技术介绍
溅射靶的要求较传统材料行业高，一般要求如，尺寸、平整度、纯度、各项杂质含量、密度、N/O/C/S、晶粒尺寸与缺陷控制，较高要求或特殊要求包含：表面粗糙度、电阻值、晶粒尺寸均匀性、成份与组织均匀性、异物(氧化物)含量与尺寸、导磁率、超高密度与超细晶粒等等。现有的溅射靶在镀膜的时候，使用起来非常的方便，但是在安装的时候，使用螺钉和螺母进行配合才能进行安装，在安装螺母的时候，使用扳手进行安装，使用扳手在拧动的时候，不能保证拧的力度是一样的，在安装的时候，可能会造成，一侧安装过紧，导致另一侧安装的时候会有缝隙，导致现有的平面溅射靶安装起来非常的麻烦。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种镀膜用平面溅射靶，平面溅射靶在安装的时候，直接进行套设，使安装的力度一样，防止出现一侧安装过紧导致另一侧安装起来非常麻烦。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种镀膜用平面溅射靶，包括靶体，所述靶体的外表面中心处固定安装有固定圈，所述固定圈上呈环形等距固定插设有多个固定机构，且多个固定机构的顶部均滑动插设有连接帽，所述靶体的顶部靠近内侧的边缘处固定安装有顶紧机构。优选的，所述固定机构包括圆板，所述圆板的顶部中心处固定安装有柱壳，所述柱壳内壁一侧的上部固定安装有连接壳，所述连接壳的内部中心处滑动插设有固定柱，所述固定柱靠近连接壳一端的两侧均焊接有限位杆，所述固定柱靠近连接壳的一端焊接有复位弹簧。优选的，所述顶紧机构包括圆壳，所述圆壳的内部开设有矩形槽，所述矩形槽内部的底部固定安装有顶紧弹簧，所述顶紧弹簧的顶部固定安装有移动圈，所述移动圈顶部的中心处固定安装有橡胶板。优选的，所述柱壳固定插设在固定圈上，所述柱壳远离复位弹簧的一侧开设有与固定柱相匹配的运动通孔，所述圆板的直径大于柱壳的直径。优选的，所述移动圈的宽度与矩形槽的宽度相同，所述矩形槽的顶部开设有与橡胶板相匹配的运动通槽。优选的，所述连接帽的一侧开设有与固定柱相匹配的运动通孔，所述连接帽的内壁直径与柱壳的外部直径相匹配。与现有技术相比，本技术的优点和积极效果在于，1、本技术中，通过固定机构的设置，向里侧按压固定柱，固定柱在连接壳中进行移动，限位杆在连接壳中将固定柱限位，固定柱移动的时候，使复位弹簧压缩，将固定机构穿过安装溅射靶的安装机构上的安装孔，将连接帽套在柱壳上，松开固定柱，滑动连接帽，当连接帽上安装通孔与固定柱相对其的时候，复位弹簧使固定柱复位，穿过连接帽上的安装通孔，将装置进行固定，平面溅射靶在安装的时候，直接进行套设，使安装的力度一样，防止出现一侧安装过紧导致另一侧无法安装的情况，平面溅射靶在安装的时候，直接进行套设，使安装的力度一样，防止出现一侧安装过紧导致另一侧安装起来非常麻烦。2、本技术中，通过顶级机构的设置，在固定装置的时候，橡胶板带动移动圈在矩形槽中进行滑动，将橡胶板限位，使顶紧弹簧压缩产生弹力，顶紧弹簧使橡胶板顶紧安装溅射靶的安装机构，使装置在安装的时候，顶的更紧，防止出现缝隙。附图说明图1为本技术提出一种镀膜用平面溅射靶的立体结构示意图；图2为本技术提出一种镀膜用平面溅射靶的固定机构主视剖视示意图；图3为本技术提出一种镀膜用平面溅射靶的顶紧机构立体剖视示意图；图4为本技术提出一种镀膜用平面溅射靶的连接帽立体结构示意图。图例说明：1、固定圈；2、固定机构；201、圆板；202、柱壳；203、连接壳；204、固定柱；205、限位杆；206、复位弹簧；3、顶紧机构；4、靶体；401、圆壳；402、矩形槽；403、顶紧弹簧；404、移动圈；405、橡胶板；5、连接帽。具体实施方式为了能够更清楚地理解本技术的上述目的、特征和优点，下面结合附图和实施例对本技术做进一步说明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术，但是，本技术还可以采用不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本技术并不限于下面公开说明书的具体实施例的限制。实施例1，如图1-图4所示，本技术提供了一种镀膜用平面溅射靶，包括靶体4，靶体4的外表面中心处固定安装有固定圈1，固定圈1上呈环形等距固定插设有多个固定机构2，且多个固定机构2的顶部均滑动插设有连接帽5，靶体4的顶部靠近内侧的边缘处固定安装有顶紧机构3。下面具体说一下固定机构2和顶紧机构3具体设置和作用。如图2所示，固定机构2包括圆板201，圆板201的顶部中心处固定安装有柱壳202，柱壳202内壁一侧的上部固定安装有连接壳203，连接壳203的内部中心处滑动插设有固定柱204，固定柱204靠近连接壳203一端的两侧均焊接有限位杆205，固定柱204靠近连接壳203的一端焊接有复位弹簧206，柱壳202固定插设在固定圈1上，柱壳202远离复位弹簧206的一侧开设有与固定柱204相匹配的运动通孔，圆板201的直径大于柱壳202的直径，连接帽5的一侧开设有与固定柱204相匹配的运动通孔，连接帽5的内壁直径与柱壳202的外部直径相匹配。其整个固定机构2达到的效果为，向里侧按压固定柱204，固定柱204在连接壳203中进行移动，限位杆205在连接壳203中将固定柱204限位，固定柱204移动的时候，使复位弹簧206压缩，将固定机构2穿过安装溅射靶的安装机构上的安装孔，将连接帽5套在柱壳202上，松开固定柱204，滑动连接帽5，当连接帽5上安装通孔与固定柱204相对其的时候，复位弹簧206使固定柱204复位，穿过连接帽5上的安装通孔，将装置进行固定。如图3所示，顶紧机构3包括圆壳401，圆壳401的内部开设有矩形槽402，矩形槽402内部的底部固定安装有顶紧弹簧403，顶紧弹簧403的顶部固定安装有移动圈404，移动圈404顶部的中心处固定安装有橡胶板405，移动圈404的宽度与矩形槽402的宽度相同，矩形槽402的顶部开设有与橡胶板405相匹配的运动通槽。其整个顶紧机构3达到的效果为，在固定装置的时候，橡胶板405带动移动圈404在矩形槽402中进行滑动，将橡胶板405限位，使顶紧弹簧403压缩产生弹力，顶紧弹簧403使橡胶板405顶紧安装溅射靶的安装机构。以上所述，仅是本技术的较佳实施例而已，并非是对本技术作其它形式的限制，任何熟悉本专业的技术人员可能利用上述揭示的
技术实现思路
加以变更或改型为等同变化的等效实施例应用于其它领域，但是凡是未脱离本技术技术方案内容，依据本技术的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与改型，仍属于本技术技术方案的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种镀膜用平面溅射靶，包括靶体(4)，其特征在于：所述靶体(4)的外表面中心处固定安装有固定圈(1)，所述固定圈(1)上呈环形等距固定插设有多个固定机构(2)，且多个固定机构(2)的顶部均滑动插设有连接帽(5)，所述靶体(4)的顶部靠近内侧的边缘处固定安装有顶紧机构(3)。/n

【技术特征摘要】
1.一种镀膜用平面溅射靶，包括靶体(4)，其特征在于：所述靶体(4)的外表面中心处固定安装有固定圈(1)，所述固定圈(1)上呈环形等距固定插设有多个固定机构(2)，且多个固定机构(2)的顶部均滑动插设有连接帽(5)，所述靶体(4)的顶部靠近内侧的边缘处固定安装有顶紧机构(3)。


2.根据权利要求1所述的一种镀膜用平面溅射靶，其特征在于：所述固定机构(2)包括圆板(201)，所述圆板(201)的顶部中心处固定安装有柱壳(202)，所述柱壳(202)内壁一侧的上部固定安装有连接壳(203)，所述连接壳(203)的内部中心处滑动插设有固定柱(204)，所述固定柱(204)靠近连接壳(203)一端的两侧均焊接有限位杆(205)，所述固定柱(204)靠近连接壳(203)的一端焊接有复位弹簧(206)。


3.根据权利要求1所述的一种镀膜用平面溅射靶，其特征在于：所述顶紧机构(3)包括圆壳(401)，所述圆壳(401)的内部开设...

【专利技术属性】
技术研发人员：张金兴，
申请(专利权)人：遵化市富森钛金设备有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13