一种用于晶圆测试的快速自动对心机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于晶圆测试的快速自动对心机构，包括底座，所述底座上通过升降机构安装有支撑台，所述底座的上方通过支架安装有底板，所述底板的一侧通过连接块安装有电机，所述电机的输出端安装有丝杠，所述丝杠的两端各安装有一螺母块，左端的所述螺母块上连接有左对准块连接板，所述左对准块连接板的底部安装有左柔性对准块，右端的所述螺母块通过连接板安装有右对准块连接板，所述右对准块连接板的底部安装有右柔性对准块，所述左对准块连接板和右对准块连接板的底部安装有滑块，所述滑块安装在导轨中。可以实现快速对心功能，相对于传统的对心机构，找心过程速度很快，可以减少整个晶圆的测试时间，提高测试效率。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆测试的快速自动对心机构
本技术涉及晶圆测试领域，具体涉及一种用于晶圆测试的快速自动对心机构。
技术介绍
全自动测试过程中，需要用机械手将硅片盒中的晶圆运送到承片台(测试台)区域，在运输后需要保证承片台的晶圆和承片台是大致同心的，因此在这个过程中需要使每次运输中晶圆的中心位置处于机械手臂上叉子的固定位置，但是叉子在硅片盒中取片时，硅片盒中晶圆是随机存放的，因而需有自动找到晶圆的圆心的机构，自动对心机构即适应这种需要而产生。传统的对心机构是通过光电传感器对晶圆的边缘位置进行记录然后进行运算，运算后根据偏置的位置进行移动，移动后再次通过光电传感器记录运算再完成移动，如此经历无数次循环，最后移动至预先设定的对准台同心的位置，这样，每次对心耗时很长，测试时间很长。
技术实现思路
鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种用于晶圆测试的快速自动对心机构。根据本申请实施例提供的技术方案，一种用于晶圆测试的快速自动对心机构，包括底座，所述底座上通过升降机构安装有支撑台，所述底座的上方通过支架安装有底板，所述底板的一侧通过连接块安装有电机，所述电机的输出端安装有丝杠，所述丝杠的两端各安装有一螺母块，左端的所述螺母块上连接有左对准块连接板，所述左对准块连接板的底部安装有左柔性对准块，右端的所述螺母块通过连接板安装有右对准块连接板，所述右对准块连接板的底部安装有右柔性对准块，所述左对准块连接板和右对准块连接板的底部安装有滑块，所述滑块安装在导轨中，所述导轨安装在所述底板上。本技术中，所述左柔性对准块和右柔性对准块呈圆弧形，且内侧圆弧与晶圆外形完全相同。本技术中，所述丝杠的两端的螺纹方向相反。本技术中，所述导轨安装在所述底板的底部，所述左对准块连接板和右对准块连接板通过所述滑块滑动安装。本技术中，所述支撑台安装在所述左柔性对准块和右柔性对准块的下方，且与所述左柔性对准块和右柔性对准块同心。本技术中，所述连接板的形状呈Z字形。综上所述，本申请的有益效果：可以实现快速对心功能，相对于传统的对心机构，找心过程速度很快，可以减少整个晶圆的测试时间，提高测试效率。附图说明通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：图1为本技术的整体结构示意图；图2为本技术中左、右柔性对准块的结构示意图。图中标号：底座－1；支撑台－2；支架－3；底板－4；左对准块连接板－5；右对准块连接板－6；丝杠－7；电机-8；左柔性对准块－9；右柔性对准块-10；升降机构-11；螺母块-12；连接板-13。具体实施方式下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关专利技术，而非对该专利技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与专利技术相关的部分。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。如图1和图2所示，一种用于晶圆测试的快速自动对心机构，包括底座1，所述底座1上通过升降机构11安装有支撑台2，所述底座1的上方通过支架3安装有底板4，所述底板4的一侧通过连接块安装有电机8，所述电机8的输出端安装有丝杠7，所述丝杠7的两端各安装有一螺母块12，左端的所述螺母块12上连接有左对准块连接板5，所述左对准块连接板5的底部安装有左柔性对准块9，右端的所述螺母块12通过连接板13安装有右对准块连接板6，所述右对准块连接板6的底部安装有右柔性对准块10，所述左对准块连接板5和右对准块连接板6的底部安装有滑块，所述滑块安装在导轨中，所述导轨安装在所述底板4上。所述左柔性对准块9和右柔性对准块10呈圆弧形，且内侧圆弧与晶圆外形完全相同。所述丝杠7的两端的螺纹方向相反。所述导轨安装在所述底板4的底部，所述左对准块连接板5和右对准块连接板6通过所述滑块滑动安装。所述支撑台2安装在所述左柔性对准块9和右柔性对准块10的下方，且与所述左柔性对准块9和右柔性对准块10同心。所述连接板13的形状呈Z字形。实施例，对心过程如下：初始状态：左柔性对准块9和右柔性对准块10在直流电机8的驱动下，朝相反的方向运动到一定位置；机械手臂上的叉子将晶圆放置于支撑台2，支撑台2上升到一定位置；左柔性对准块9和右柔性对准块10在直流电机8的驱动下朝相对的方向运动，处于支撑台2上的晶圆在与左柔性对准块9和右柔性对准块10的接触时，随着左柔性对准块9和右柔性对准块10的的运动进行自适应运动，最后晶圆的外圆与左柔性对准块9和右柔性对准块10的内圆贴合，此时电机8停止运动，左柔性对准块9和右柔性对准块10也停止运动，此时，左柔性对准块9、右柔性对准块10的中心位置即为晶圆的中心位置，如此即可找到晶圆的中心。原理是由电机8驱动一左右旋的丝杠7旋转，从而使丝杠7上的螺母块12带动左、右柔性对准块进行移动，因为丝杠7两端分别为左旋和右旋，所以左、右柔性对准块可以同步相向运动。本技术采用直流电机，直流电机的启动特性和调速特性很好，起动和调速性能好，调速范围广平滑，过载能力较强，受电磁干扰影响小，同时对准块采用柔性块，可对硅片进行保护，以免运行过程中硅片被挤碎。以上描述仅为本申请的较佳实施例以及对所运用技术原理等方案的说明。同时，本申请中所涉及的专利技术范围，并不限于上述技术特征的特定组合而成的技术方案，同时也应涵盖在不脱离所述专利技术构思的情况下，由上述技术特征或其等同特征进行任意组合而形成的其它技术方案。例如上述特征与本申请中公开的(但不限于)具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术方案。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于晶圆测试的快速自动对心机构，包括底座(1)，其特征是：所述底座(1)上通过升降机构(11)安装有支撑台(2)，所述底座(1)的上方通过支架(3)安装有底板(4)，所述底板(4)的一侧通过连接块安装有电机(8)，所述电机(8)的输出端安装有丝杠(7)，所述丝杠(7)的两端各安装有一螺母块(12)，左端的所述螺母块(12)上连接有左对准块连接板(5)，所述左对准块连接板(5)的底部安装有左柔性对准块(9)，右端的所述螺母块(12)通过连接板(13)安装有右对准块连接板(6)，所述右对准块连接板(6)的底部安装有右柔性对准块(10)，所述左对准块连接板(5)和右对准块连接板(6)的底部安装有滑块，所述滑块安装在导轨中，所述导轨安装在所述底板(4)上。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆测试的快速自动对心机构，包括底座(1)，其特征是：所述底座(1)上通过升降机构(11)安装有支撑台(2)，所述底座(1)的上方通过支架(3)安装有底板(4)，所述底板(4)的一侧通过连接块安装有电机(8)，所述电机(8)的输出端安装有丝杠(7)，所述丝杠(7)的两端各安装有一螺母块(12)，左端的所述螺母块(12)上连接有左对准块连接板(5)，所述左对准块连接板(5)的底部安装有左柔性对准块(9)，右端的所述螺母块(12)通过连接板(13)安装有右对准块连接板(6)，所述右对准块连接板(6)的底部安装有右柔性对准块(10)，所述左对准块连接板(5)和右对准块连接板(6)的底部安装有滑块，所述滑块安装在导轨中，所述导轨安装在所述底板(4)上。


2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆测试的快速自动对心机构，其特征是：所...

【专利技术属性】
技术研发人员：马荣花，
申请(专利权)人：北京硅科智能技术有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11