一种适用于直流测试系统的探针夹具技术方案

本申请公开了一种适用于直流测试系统的探针夹具。包括：探针、用于调整所述探针与被测器件的接触压力的调压组件和用于探测所述被测器件边缘的边缘探测组件；本申请利用支撑部作为基础部件，其上设有与线路板导通的线路，且线路与导电部电连接；通过在支撑部与支架之间设置调整柱，调整柱上的调压部旋转上下移动，改变套设在调整柱上的弹性元件的压缩量，实现压力调整；通过在支架上设置线路板，且其上开设有通孔，并套设在调整柱上，与支撑部上的线路配合使用；当导电部与线路板接触时，线路板与支撑部上的线路导通，当导电部与线路板分离时，线路板与支撑部上的线路断开，利用线路状态判断探针是否已移动到被测器件的边缘，实现边缘探测功能。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于直流测试系统的探针夹具
本公开一般涉及晶圆测试设备
，具体涉及一种适用于直流测试系统的探针夹具。
技术介绍
常见的器件测试方式为接触式测试，具体方式是让测试探针针尖接触到被测器件表面。但是，由于针夹直径通常很小，这样就很容易刺伤被测器件上表面而带来损失。目前，现有的测试探针设计有缓冲结构来实现探针与被测器件的柔性接触，但是被测器件仍存在接触力过大被损坏的问题；并且在现在的测试行业中对测试效率的要求越来越高，即当对整个晶圆进行测试时，系统便需要准确得知当前已测试到本行最后一颗晶粒，即将开始测试下一行，目前单独依靠软件的功能无法实现，需要硬件上的结构配合，这样才能达到最大效率。因此，我们提出一种适用于直流测试系统的探针夹具，用以解决上述的压力不可调，不能准确得知当前是否已测试到本行最后一颗晶粒的问题。
技术实现思路
鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种压力可调，具有边缘探测功能，结构紧凑，操作简便且易于实现的适用于直流测试系统的探针夹具。第一方面，本申请提供一种适用于直流测试系统的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种适用于直流测试系统的探针夹具，其特征在于，包括：探针(1)、用于调整所述探针(1)与被测器件的接触压力的调压组件和用于探测所述被测器件边缘的边缘探测组件；/n所述调压组件包括：支撑部(2)和设置在所述支撑部(2)上的支架(3)；所述支撑部(2)上设有竖直设置的调整柱(4)，且所述调整柱(4)的顶部与所述支架(3)固接；所述调整柱(4)靠近所述支架(3)一侧设有活动配接的调压部(5)；所述调整柱(4)上套设有弹性元件(7)，且其位于所述调压部(5)的下方；/n所述边缘探测组件包括：与所述支架(3)固接的线路板(8)和设置在所述支撑部(2)远离所述支架(3)一侧的导电部(9)；所述线路板(...

【技术特征摘要】
1.一种适用于直流测试系统的探针夹具，其特征在于，包括：探针(1)、用于调整所述探针(1)与被测器件的接触压力的调压组件和用于探测所述被测器件边缘的边缘探测组件；
所述调压组件包括：支撑部(2)和设置在所述支撑部(2)上的支架(3)；所述支撑部(2)上设有竖直设置的调整柱(4)，且所述调整柱(4)的顶部与所述支架(3)固接；所述调整柱(4)靠近所述支架(3)一侧设有活动配接的调压部(5)；所述调整柱(4)上套设有弹性元件(7)，且其位于所述调压部(5)的下方；
所述边缘探测组件包括：与所述支架(3)固接的线路板(8)和设置在所述支撑部(2)远离所述支架(3)一侧的导电部(9)；所述线路板(8)上开设有通孔，且其套设在所述调整柱(4)上；所述线路板(8)通过连接部(10)与所述支架(3)连接；
所述探针(1)通过夹针部(11)与所述线路板(8)远离所述支架(3)的一侧固接。


2.根据权利要求1所述的一种适用于直流测试系统的探针夹具，其特征在于，所述支撑部(2)上设有能够与所述线路板(8)...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵楠，
申请(专利权)人：北京硅科智能技术有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11