本申请提供一种多台电机同步控制电路，包括信号模块、控制模块以及负载模块；信号模块输出总脉冲信号及总方向信号，控制模块用于将输入的总脉冲信号及总方向信号分别输出两路独立的脉冲信号及方向信号以驱动负载模块的A探针步进电机及B探针步进电机工作。本申请的有益效果是：通过一轴方向的控制信号同时控制两个步进电机同步运动，带动两个探针同步实现接触、分离，提高探针测试效率，尤其适用于光电芯片测试探针系统。
【技术实现步骤摘要】
一种多台电机同步控制电路
本公开涉及探针测试
，具体涉及一种多台电机同步控制电路。
技术介绍
探针测试时一般探针台是探针座固定不动，承片盘通过电机载动升降，实现晶圆与探针接触、分离，实现对芯片的测试；而在光电芯片测试探针系统中，需要背进光时，承片盘不能运动，为固定位置需要探针上下运动，完成接触、分离。现有技术一轴控制信号只能控制驱动一个电机，所以Z轴控制信号只能实现一个针座的运动控制，而测试需要两个针座同时同步运动，带动两个探针同步实现接触、分离。因此设计一种一轴信号可以实现同时控制两个电机同步运动的控制电路。
技术实现思路
本申请的目的是针对以上问题，提供一种多台电机同步控制电路。第一方面，本申请提供一种多台电机同步控制电路，包括信号模块、控制模块以及负载模块；所述信号模块输出总脉冲信号PLUS-及总方向信号DIR-，所述控制模块包括第一缓冲器U1A、第二缓冲器U1B、第三缓冲器U1C及第四缓冲器U1D；所述总脉冲信号PLUS-接入第一缓冲器U1A的输入端，所述第一缓冲器U1A的输出端输出第一脉冲信号PLUSA-，所述总脉冲信号PLUS-接入第二缓冲器U1B的输入端，所述第二缓冲器U1B的输出端输出第二脉冲信号PLUSB-；所述总方向信号DIR-接入第三缓冲器U1C的输入端，所述第三缓冲器U1C的输出端输出第一方向信号DIRA-，所述总方向信号DIR-接入第四缓冲器U1D的输入端，所述第四缓冲器U1D的输出端输出第二方向信号DIRB-；所述负载模块包括A探针步进电机及B探针步进电机；所述第一脉冲信号PLUSA-接入A探针步进电机输入端的脉冲信号控制接口，所述第一方向信号DIRA-接入A探针步进电机输入端的方向信号控制接口；所述第二脉冲信号PLUSB-接入B探针步进电机输入端的脉冲信号控制接口，所述第二方向信号DIRB-接入B探针步进电机输入端的方向信号控制接口。根据本申请实施例提供的技术方案，还包括使能模块，所述使能模块包括使能A按钮以及使能B按钮，使能A按钮的第一使能输出信号SEVONA连接至A探针步进电机的使能端，使能B按钮的第二使能输出信号SEVONB连接至B探针步进电机的使能端。根据本申请实施例提供的技术方案，所述第一缓冲器U1A、第二缓冲器U1B、第三缓冲器U1C及第四缓冲器U1D的型号均设置为74LS07。根据本申请实施例提供的技术方案，所述负载模块还包括对应A探针步进电机设置的A驱动器及对应B探针步进电机设置的B驱动器；所述A驱动器及B驱动器设置的型号为YKA2404MC，且电流和细分设置相同。根据本申请实施例提供的技术方案，所述第一脉冲信号PLUSA-接入A驱动器的2引脚，第一方向信号DIRA-接入A驱动器的4引脚，第一使能输出信号SEVONA接入A驱动器的6引脚；所述第二脉冲信号PLUSB-接入B驱动器的2引脚，第二方向信号DIRB-接入B驱动器的4引脚，第二使能输出信号SEVONB接入B驱动器的6引脚。本专利技术的有益效果：本申请提供一种多台电机同步控制电路，通过一轴方向的控制信号同时控制两个步进电机同步运动，带动两个探针同步实现接触、分离，提高探针测试效率，尤其适用于光电芯片测试探针系统。附图说明图1为本申请第一种实施例中控制模块的电路图；图2为本申请第一种实施例中信号模块的电路图；图3为本申请第一种实施例中负载模块的电路图；图4为本申请第一种实施例中使能模块的电路图。具体实施方式为了使本领域技术人员更好地理解本专利技术的技术方案，下面结合附图对本申请进行详细描述，本部分的描述仅是示范性和解释性，不应对本申请的保护范围有任何的限制作用。如图1至图4所示，本申请的电机同步控制电路包括信号模块、控制模块以及负载模块；所述信号模块输出总脉冲信号PLUS-及总方向信号DIR-，所述控制模块包括第一缓冲器U1A、第二缓冲器U1B、第三缓冲器U1C及第四缓冲器U1D。本实施例中，控制信号为Z轴控制信号。所述总脉冲信号PLUS-接入第一缓冲器U1A的输入端，所述第一缓冲器U1A的输出端输出第一脉冲信号PLUSA-，所述总脉冲信号PLUS-接入第二缓冲器U1B的输入端，所述第二缓冲器U1B的输出端输出第二脉冲信号PLUSB-；所述总方向信号DIR-接入第三缓冲器U1C的输入端，所述第三缓冲器U1C的输出端输出第一方向信号DIRA-，所述总方向信号DIR-接入第四缓冲器U1D的输入端，所述第四缓冲器U1D的输出端输出第二方向信号DIRB-；所述负载模块包括A探针步进电机及B探针步进电机；所述第一脉冲信号PLUSA-接入A探针步进电机输入端的脉冲信号控制接口，所述第一方向信号DIRA-接入A探针步进电机输入端的方向信号控制接口；所述第二脉冲信号PLUSB-接入B探针步进电机输入端的脉冲信号控制接口，所述第二方向信号DIRB-接入B探针步进电机输入端的方向信号控制接口。本实施例中，Z轴控制信号包括总脉冲信号PLUS-和总方向信号DIR-，经过控制模块后分别转换为两路独立的脉冲信号及方向信号，即分别为第一脉冲信号PLUSA-、第二脉冲信号PLUSB-、第一方向信号DIRA-及第二方向信号DIRB-，将分出的两路的脉冲信号及两路方向信号分别接入负载模块的A探针步进电机及B探针步进电机，使得第一脉冲信号PLUSA-及第一方向信号DIRA-接入A探针步进电机，同时第二脉冲信号PLUSB-和第二方向信号DIRB-接入B探针步进电机，使得A探针步进电机及B探针步进电机同时同步运动。实现一轴信号同时同步控制两台电机运动，使得两个探针同步接触、分离。在一优选实施例中，还包括使能模块，所述使能模块包括使能A按钮以及使能B按钮，使能A按钮的第一使能输出信号SEVONA连接至A探针步进电机的使能端，使能B按钮的第二使能输出信号SEVONB连接至B探针步进电机的使能端。本优选实施例中，对应A探针步进电机及B探针步进电机分别设置使能A按钮以及使能B按钮，按下使能按钮时可以使得对应的电机使能释放，防止电机通电激磁抱死，增加针座手动移动、调整的灵活性。在一优选实施方式中，所述第一缓冲器U1A、第二缓冲器U1B、第三缓冲器U1C及第四缓冲器U1D的型号均设置为74LS07。在一优选实施方式中，所述负载模块还包括对应A探针步进电机设置的A驱动器及对应B探针步进电机设置的B驱动器；所述A驱动器及B驱动器设置的型号为YKA2404MC，且电流和细分设置相同。优选地，所述第一脉冲信号PLUSA-接入A驱动器的2引脚，第一方向信号DIRA-接入A驱动器的4引脚，第一使能输出信号SEVONA接入A驱动器的6引脚；所述第二脉冲信号PLUSB-接入B驱动器的2引脚，第二方向信号DIRB-接入B驱动器的4引脚，第二使能输出信号SEVONB接入B驱动器的6引脚。本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实例的说明只是用本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种多台电机同步控制电路，其特征在于，包括信号模块、控制模块以及负载模块；/n所述信号模块输出总脉冲信号PLUS-及总方向信号DIR-，所述控制模块包括第一缓冲器U1A、第二缓冲器U1B、第三缓冲器U1C及第四缓冲器U1D；/n所述总脉冲信号PLUS-接入第一缓冲器U1A的输入端，所述第一缓冲器U1A的输出端输出第一脉冲信号PLUSA-，所述总脉冲信号PLUS-接入第二缓冲器U1B的输入端，所述第二缓冲器U1B的输出端输出第二脉冲信号PLUSB-；/n所述总方向信号DIR-接入第三缓冲器U1C的输入端，所述第三缓冲器U1C的输出端输出第一方向信号DIRA-，所述总方向信号DIR-接入第四缓冲器U1D的输入端，所述第四缓冲器U1D的输出端输出第二方向信号DIRB-；/n所述负载模块包括A探针步进电机及B探针步进电机；所述第一脉冲信号PLUSA-接入A探针步进电机输入端的脉冲信号控制接口，所述第一方向信号DIRA-接入A探针步进电机输入端的方向信号控制接口；所述第二脉冲信号PLUSB-接入B探针步进电机输入端的脉冲信号控制接口，所述第二方向信号DIRB-接入B探针步进电机输入端的方向信号控制接口。/n...
【技术特征摘要】
1.一种多台电机同步控制电路，其特征在于，包括信号模块、控制模块以及负载模块；
所述信号模块输出总脉冲信号PLUS-及总方向信号DIR-，所述控制模块包括第一缓冲器U1A、第二缓冲器U1B、第三缓冲器U1C及第四缓冲器U1D；
所述总脉冲信号PLUS-接入第一缓冲器U1A的输入端，所述第一缓冲器U1A的输出端输出第一脉冲信号PLUSA-，所述总脉冲信号PLUS-接入第二缓冲器U1B的输入端，所述第二缓冲器U1B的输出端输出第二脉冲信号PLUSB-；
所述总方向信号DIR-接入第三缓冲器U1C的输入端，所述第三缓冲器U1C的输出端输出第一方向信号DIRA-，所述总方向信号DIR-接入第四缓冲器U1D的输入端，所述第四缓冲器U1D的输出端输出第二方向信号DIRB-；
所述负载模块包括A探针步进电机及B探针步进电机；所述第一脉冲信号PLUSA-接入A探针步进电机输入端的脉冲信号控制接口，所述第一方向信号DIRA-接入A探针步进电机输入端的方向信号控制接口；所述第二脉冲信号PLUSB-接入B探针步进电机输入端的脉冲信号控制接口，所述第二方向信号DIRB-接入B探针步进电机输入端的方向信号控制接口。
...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵明鹏，
申请(专利权)人：北京硅科智能技术有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。