一种测试用电动探针座制造技术

本实用新型专利技术公开了一种测试用电动探针座，包括驱动电机、可调连接板、带轮、传动皮带、驱动千分尺、手动旋钮、轴承座、滚珠丝杠、从动端带轮、丝杠螺母、探针固定板、直线导轨、探针连接板和探针；本实用新型专利技术减轻了手工劳动力，提高了运行测试效率；极大的降低了生产采购成本；整体设计方案兼顾了安装的便捷性和使用的可靠性；在实现高速高精度电动的同时，又保持了原有手动探针座的功能。了原有手动探针座的功能。了原有手动探针座的功能。

【技术实现步骤摘要】
一种测试用电动探针座


[0001]本技术涉及半导体晶圆测试的装置，具体涉及一种测试用电动探针座。

技术介绍

[0002]中测(CP Test)是半导体后道封装测试的第一站，现有的测试用针座通过查询可以发现，多是以千分尺驱动、交叉滚子导轨做支撑和导向的层叠式驱动结构手动针座，个别存在使用普通的螺丝驱动，燕尾导向的定位器结构存在导轨间隙大，蛇行，无法快速准确定位的缺点。这类探针座的精度主要由千分尺的精度所保证，在使用过程中，每测试一次，都需要人工去转动千分尺来调整位置，其中Z轴是每次都需要调整的。
[0003]在现有的所有设备中，精度和速度总是相互制约的，而且选用一支高精度的千分尺的价格非常的高昂，使用起来，需要进行微小移动时就需要转动千分尺很多圈才可以达到目的。针对上述所提出的现有结构的缺陷问题，本方案提出了一种测试用电动探针座。

技术实现思路

[0004]鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种测试用电动探针座。
[0005]根据本技术实施例提供的技术方案，一种测试用电动探针座，包括驱动电机、可调连接板、带轮、传动皮带、驱动千分尺、手动旋钮、轴承座、滚珠丝杠、从动端带轮、丝杠螺母、探针固定板、直线导轨、探针连接板和探针；所述驱动电机呈垂直状安装在基座上且在所述驱动电机和基座之间安装有所述可调连接板；所述带轮的中心孔安装在所述驱动电机的转轴上；所述传动皮带的右端套接在所述带轮的外部，所述传动皮带的左端套接在所述从动端带轮的外部；在所述驱动电机和基座的下方箱体的外部安装有所述驱动千分尺；在所述驱动电机的左侧设有所述滚珠丝杠且所述滚珠丝杠呈竖向贯穿所述基座的左侧基板，在所述左侧基板的上表面、所述滚珠丝杠的上方固定有轴承座且所述轴承座的中心孔套接安装在所述滚珠丝杠的轴体外部，在所述轴承座的上方、所述滚珠丝杠的上端安装有所述手动旋钮；所述从动端带轮的中心孔套接在所述滚珠丝杠的轴体上且所述从动端带轮位于所述基座的左侧基板和丝杠螺母之间；在所述丝杠螺母的外部套接安装有所述探针固定板，在所述驱动电机的下壳体的左侧面外壁上安装固定有所述直线导轨，所述探针固定板的右侧面与所述直线导轨固定连接；在所述探针固定板的左侧面中部的安装固定有所述探针连接板且在所述探针连接板的下端中部位置安装有朝向远离所述驱动电机的所述探针。
[0006]本技术中，所述直线导轨的导轨运动方向与所述丝杠螺母在所述滚珠丝杠上的运动方向一致。
[0007]本技术中，所述带轮和从动端带轮根据所述传动皮带的传动比需求做配套设置。
[0008]本技术中，所述带轮与从动端带轮位于同一横向水平面上。
[0009]本技术中，所述丝杠螺母和滚珠丝杠根据所述滚珠丝杠的导程和所需所述探
针的运动距离也就是所述滚珠丝杠的长度进行配套设置。
[0010]本技术中，所述探针呈横置状设置且与所述探针连接板之间呈垂直状。
[0011]综上所述，本技术的有益效果：
[0012]1.减轻手工劳动力，提高运行测试效率。
[0013]2.相对于其他电动针座，极大的降低了生产采购成本。
[0014]3.在安装和使用过程中，整体设计方案兼顾了安装的便捷性和使用的可靠性，比如使用了可调连结板保证安装的松紧可调、使用直线导轨保证运行稳定性；延长了滚珠丝杠及滚珠丝杠螺母的使用寿命。
[0015]4.在实现高速高精度电动的同时，又保持了原有手动探针座的功能，用户可根据自身实际条件切换使用方式手动或电动。
附图说明
[0016]通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
[0017]图1为本技术的结构示意图；
[0018]图2为本技术的俯视结构示意图；
[0019]图3为本技术中基座的正视结构示意图。
[0020]图中标号：1.驱动电机、2.可调节连接板、3.带轮、4.传动皮带、 5.驱动千分尺、6.手动旋钮、7.轴承座、8.滚珠丝杠、9.从动端带轮、 10.丝杠螺母、11.探针固定板、12.直线导轨、13.探针连接板、14.探针。
具体实施方式
[0021]下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关专利技术，而非对该专利技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与专利技术相关的部分。
[0022]需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。
[0023]如图1和图2所示，一种测试用电动探针座，包括驱动电机1、可调连接板2、带轮3、传动皮带4、驱动千分尺5、手动旋钮6、轴承座7、滚珠丝杠8、从动端带轮9、丝杠螺母10、探针固定板11、直线导轨12、探针连接板13和探针14；如图3所示为基座的正视结构示意图，所述驱动电机1呈垂直状安装在基座的右侧且在所述驱动电机1和基座之间安装有所述可调连接板2；所述带轮3的中心孔安装在所述驱动电机1 的转轴上；所述传动皮带4的右端套接在所述带轮3的外部，所述传动皮带4的左端套接在所述从动端带轮9的外部；在所述驱动电机1和基座的下方箱体的外部安装有所述驱动千分尺5；在所述驱动电机1的左侧设有所述滚珠丝杠8且所述滚珠丝杠8呈竖向贯穿所述基座的左侧基板，在所述左侧基板的上表面、所述滚珠丝杠8的上方固定有轴承座7且所述轴承座7的中心孔套接安装在所述滚珠丝杠8的轴体外部，在所述轴承座7的上方、所述滚珠丝杠8的上端安装有所述手动旋钮6；所述从动端带轮9的中心孔套接在所述滚珠丝杠8的轴体上且所述从动端带轮 9位于所述基座的左侧基板和丝杠螺母10之间；在所述丝杠螺母10的外部套接安装有所述探针固定板11，在所
述驱动电机1的下壳体的左侧面外壁上安装固定有所述直线导轨12，所述探针固定板11的右侧面与所述直线导轨12固定连接；在所述探针固定板11的左侧面中部的安装固定有所述探针连接板13且在所述探针连接板13的下端中部位置安装有朝向远离所述驱动电机1的所述探针14。
[0024]本探针座上，所述直线导轨12的导轨运动方向与所述丝杠螺母10 在所述滚珠丝杠8上的运动方向一致。
[0025]本探针座上，所述带轮3和从动端带轮9根据所述传动皮带4的传动比需求做配套设置。
[0026]本探针座上，所述带轮3与从动端带轮9位于同一横向水平面上。
[0027]本探针座上，所述丝杠螺母10和滚珠丝杠8根据所述滚珠丝杠8的导程和所需所述探针14的运动距离也就是所述滚珠丝杠8的长度进行配套设置。
[0028]本探针座上，所述探针14呈横置状设置且与所述探针连接板13之间呈垂直状。
[0029]实施例：带轮3与驱动电机1的转轴联接且固定在驱动电机1上，驱动电机1作为动力源将旋转运动通过带轮3带动传动皮带4，传动皮带4带动从动端带轮旋转9，从动本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种测试用电动探针座，其特征是：包括驱动电机(1)、可调连接板(2)、带轮(3)、传动皮带(4)、驱动千分尺(5)、手动旋钮(6)、轴承座(7)、滚珠丝杠(8)、从动端带轮(9)、丝杠螺母(10)、探针固定板(11)、直线导轨(12)、探针连接板(13)和探针(14)；所述驱动电机(1)呈垂直状安装在基座上且在所述驱动电机(1)和基座之间安装有所述可调连接板(2)；所述带轮(3)的中心孔安装在所述驱动电机(1)的转轴上；所述传动皮带(4)的右端套接在所述带轮(3)的外部，所述传动皮带(4)的左端套接在所述从动端带轮(9)的外部；在所述驱动电机(1)和基座的下方箱体的外部安装有所述驱动千分尺(5)；在所述驱动电机(1)的左侧设有所述滚珠丝杠(8)且所述滚珠丝杠(8)呈竖向贯穿所述基座的左侧基板，在所述左侧基板的上表面、所述滚珠丝杠(8)的上方固定有轴承座(7)且所述轴承座(7)的中心孔套接安装在所述滚珠丝杠(8)的轴体外部，在所述轴承座(7)的上方、所述滚珠丝杠(8)的上端安装有所述手动旋钮(6)；所述从动端带轮(9)的中心孔套接在所述滚珠丝杠(8)的轴体上且所述从动端带轮(9)位于所述基座的左侧基板和丝杠螺母(10)之间；在所述丝杠螺母(10)...

【专利技术属性】
技术研发人员：马俊涛，
申请(专利权)人：北京硅科智能技术有限公司，
类型：新型
国别省市：