【技术实现步骤摘要】
一种适用于开发工艺的碳化硅石墨基座
本技术涉及石墨基座,尤其涉及一种适用于开发工艺的碳化硅石墨基座。
技术介绍
目前,现有能用于大批量生产的GaN的外延石墨基座,基本为一体式的碳化硅石墨基座,因此,在开发工艺过程中,批量性的生产基座有一定的工艺调整局限性,为此,往往会重新设计新的盘。由于碳化硅石墨基座成本很高,而往往用于开发工艺的基座使用次数并不多,这导致生产开发GaN工艺成本高,并且造成了很大的浪费。
技术实现思路
为了解决现有技术中的问题,本技术提供了一种适用于开发工艺的碳化硅石墨基座。本技术提供了一种适用于开发工艺的碳化硅石墨基座,包括主盘及多个载盘,所述主盘与所述载盘为分体式,所述载盘与所述主盘采用可拆卸可安装的方式连接。作为本技术的进一步改进,所述主盘位于所述碳化硅石墨基座的底部,具有承载、传递热量的作用。作为本技术的进一步改进,所述主盘的顶部分布着若干与所述载盘一一对应的凹槽,每个所述凹槽承载一个所述载盘。作为本技术的进一步改进,所述凹槽与所述载盘通过定位结构装配。作为本技术的进一步改进,所述定位结构包括相配合的定位柱和定位孔。作为本技术的进一步改进,所述凹槽沿所述主盘的周向间隔均匀布置。作为本技术的进一步改进,所述载盘上承载有晶圆。作为本技术的进一步改进,所述载盘的外侧形状为圆形、三角形、正方形、矩形、多边形、跑道形中的任意一种。作为本技术的进一步改进,所述主盘、载盘的外表面均涂覆碳化硅薄膜涂层。本技术的 ...
【技术保护点】
1.一种适用于开发工艺的碳化硅石墨基座,其特征在于:包括主盘及多个载盘,所述主盘与所述载盘为分体式,所述载盘与所述主盘采用可拆卸可安装的方式连接, 所述主盘位于所述碳化硅石墨基座的底部,具有承载、传递热量的作用, 所述主盘的顶部分布着若干与所述载盘一一对应的凹槽,每个所述凹槽承载一个所述载盘, 所述凹槽与所述载盘通过定位结构装配, 所述定位结构包括相配合的定位柱和定位孔, 所述凹槽沿所述主盘的周向间隔均匀布置, 所述载盘上承载有晶圆。/n
【技术特征摘要】
1.一种适用于开发工艺的碳化硅石墨基座,其特征在于:包括主盘及多个载盘,所述主盘与所述载盘为分体式,所述载盘与所述主盘采用可拆卸可安装的方式连接,所述主盘位于所述碳化硅石墨基座的底部,具有承载、传递热量的作用,所述主盘的顶部分布着若干与所述载盘一一对应的凹槽,每个所述凹槽承载一个所述载盘,所述凹槽与所述载盘通过定位结构装配,所述定位结构包括相配合的...
【专利技术属性】
技术研发人员:林培英,黄春立,朱佰喜,
申请(专利权)人:东莞市志橙半导体材料有限公司,
类型:新型
国别省市:广东;44
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