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本实用新型提供了一种适用于开发工艺的碳化硅石墨基座，包括主盘及多个载盘，所述主盘与所述载盘为分体式，所述载盘与所述主盘采用可拆卸可安装的方式连接。本实用新型的有益效果是：采用分体式设置，既能满足生产需求，也能满足工艺开发的设计调整，极大地提...
该专利属于东莞市志橙半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞市志橙半导体材料有限公司授权不得商用。

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