一种烧制碳化硅管的放置工装制造技术

本发明专利技术公开了一种烧制碳化硅管的放置工装，属于碳化硅管烧制技术领域，包括：一对连接件，所述连接件之间设有支撑件，所述连接件的两端分别设有第一挡板和第二挡板；所述支撑件包括：多个支撑板，所述支撑板上设有多个凹陷槽，其中，所述支撑板的两侧通过固定件固定连接在所述连接件上。本方案设置的工装可多层放置碳化硅管，提高生产效率，将放置工装做成可拆卸的模块化结构，容易加工，且尽可能地减少了支撑，从而避免热应力疲劳，同时多层放置碳化硅管的操作简单易上手，结构稳定。结构稳定。结构稳定。

【技术实现步骤摘要】
一种烧制碳化硅管的放置工装


[0001]本专利技术涉及碳化硅烧制
，具体涉及一种烧制碳化硅管的放置工装。

技术介绍

[0002]近年，第三代半导体在多个领域崭露头角，以SiC(碳化硅)、GaN(氮化镓)为主的第三代化合物半导体已然成为产业端、投资界及各地政府的宠儿。随着市场需求的增加，特别是大尺寸碳化硅产品，生产效率需要提高。
[0003]现有的卧式烧结炉在烧制大尺寸碳化硅管时一般是单层放置碳化硅管，以便保证碳化硅管产品的品质一致。但碳化硅产品成型周期较长，因此这种生产方式效率低。

技术实现思路

[0004]本专利技术针对上述问题，提供一种烧制碳化硅管的放置工装。
[0005]本专利技术采用的技术方案为：一种烧制碳化硅管的放置工装，包括：一对连接件，所述连接件之间设有支撑件，
[0006]所述连接件的两端分别设有第一挡板和第二挡板；
[0007]所述支撑件包括：多个支撑板，
[0008]所述支撑板上设有多个凹陷槽，
[0009]其中，所述支撑板的两侧通过固定件固定连接在所述连接件上。
[0010]进一步地，所述连接件包括：一对支撑梁、一对支撑杆，
[0011]两个所述支撑梁平行设置，
[0012]两个所述支撑杆位于两个所述支撑梁之间，
[0013]两个所述支撑杆平行设置，且两个支撑杆均与两个所述支撑梁平行；
[0014]其中，所述支撑板位于所述支撑杆之间，且所述支撑板的两侧分别与同侧的所述支撑杆和所述支撑梁固定连接。
[0015]更进一步地，所述第一挡板和所述第二挡板的截面为凸形形状，
[0016]所述第二挡板中部设有凸形形状的通孔，
[0017]所述第一挡板和第二挡板上均设有一对圆孔，
[0018]所述圆孔与所述支撑杆的的直径相匹配；
[0019]其中，所述支撑杆的两端分别穿过所述第一挡板和第二挡板上的圆孔，且穿出部分的所述支撑杆上设有限位孔，所述限位孔内插接有销钉。
[0020]更进一步地，所述支撑板包括：均设有多个的第一支撑板、第二支撑板、第三支撑板、第四支撑板；
[0021]多个所述第一支撑板间隔设置在所述支撑杆之间，
[0022]所述第一支撑板的两侧分别与同侧的所述支撑杆和所述横梁支撑梁通过所述固定件固定连接，
[0023]所述第二支撑板间隔设置在相邻的两个所述第一支撑板之间，
[0024]所述第二支撑板的一侧与同侧的所述支撑杆通过所述固定件转动连接，所述第二支撑杆的另一侧与同侧的所述支撑杆卡接，
[0025]所述第三支撑板设置在第一支撑板的正上方，
[0026]所述第三支撑板的下端与所述第一支撑板的上端通过限位件卡接，
[0027]所述第四支撑板设置在所述第三支撑的正上方，
[0028]所述第四支撑板的下端与所述第三支撑板的上端通过所述限位件卡接；
[0029]其中，所述第一支撑板和上端中间部位、所述第二支撑板的上下两端中间部位、所述第三支撑板的上下两端中间部位、所述第四支撑板的下端中间部位均设有多个所述凹陷槽。
[0030]更进一步地，所述凹陷槽为半圆形形状。
[0031]更进一步地，所述固定件包括：若干第一套筒、若干第二套筒、若干等边角钢，
[0032]所述第一套筒和所述第二套筒截面均为T型形状，
[0033]所述第一套筒位于所述第一支撑板与所述支撑杆的连接处，
[0034]所述第一套筒与同侧的所述支撑杆固定连接，所述第一支撑板与同侧的所述第一套筒固定连接，
[0035]所述第二套筒位于一侧的所述第一支撑板与所述支撑杆的连接处，
[0036]所述第二套筒与所述支撑杆固定连接，所述第二支撑板与所述第二套筒转动连接，
[0037]所述等边角钢位于所述第一支撑板的前部端面的两侧下端处，
[0038]所述等边角钢的一边与所述第一支撑板的前部端面销连接，
[0039]所述等边角钢的另一边与同侧的所述支撑梁销连接。
[0040]更进一步地，所述所述第一套筒的外侧壁上设有一个切面，
[0041]所述切面上设有贯穿所述第一套筒壁厚的第一螺纹孔，
[0042]所述支撑杆上设有与所述第一螺纹孔位置对应的第二螺纹孔，
[0043]其中，所述第一套筒和所述支撑杆通过第一螺钉经所述第一螺纹孔和所述第二螺纹孔固定连接，
[0044]同理，所述第二套筒的外壁上设有一个所述切面，
[0045]所述切面上设有贯穿所述第二套筒壁厚的第三螺纹孔，
[0046]所述支撑杆上设有与所述第三螺纹孔位置对应的第四螺纹孔，
[0047]其中，所述第二套筒和所述支撑杆通过第二螺钉经所述第三螺纹孔和所述第四螺纹孔固定连接，
[0048]所述第二套筒上的侧壁上设有凹槽，所述凹槽内设有轴承，
[0049]所述第二支撑板与所述第二套筒的连接处设有安装孔，
[0050]其中，所述轴承的内圈与所述凹槽的槽底固定连接，所述轴承的外圈与所述安装孔固定连接。
[0051]更进一步地，所述限位件包括：多个套杆和多个圆形套筒，
[0052]所述套杆对称固定连接在所述第三支撑板两侧的上下两端处，
[0053]所述圆形套筒对称设置在所述第一支撑板两侧的上端处，以及对称设置在所述第四支撑板两侧的下端处，
[0054]其中，所述套杆的尺寸与所述圆形套筒的尺寸相匹配。
[0055]更进一步地，所述支撑杆和所述支撑梁上均设有多个螺孔和销孔。
[0056]更进一步地，所述第一挡板和第二挡板的外部端面上固定连接有加强筋。
[0057]本专利技术的有益效果：
[0058]本方案设置的工装可多层放置碳化硅管，提高生产效率，将放置工装做成可拆卸的模块化结构，容易加工，且尽可能地减少了支撑，从而避免热应力疲劳，同时多层放置碳化硅管的操作简单易上手，结构稳定。
附图说明
[0059]构成本申请的一部分的附图用来提供对本专利技术的进一步理解，本专利技术的示意性实施例及其说明用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的不当限定。
[0060]图1是本专利技术实施例的整体结构示意图；
[0061]图2是本专利技术实施例的支撑板连接示意图；
[0062]图3是本专利技术实施例的支撑板正面结构示意图；
[0063]图4是本专利技术实施例的支撑板俯视结构示意图；
[0064]图5是本专利技术实施例的第一支撑板结构示意图；
[0065]图6是本专利技术实施例的第二支撑板结构示意图；
[0066]图7是本专利技术实施例的第三支撑板结构示意图；
[0067]图8是本专利技术实施例的第四支撑板结构示意图。
[0068]附图标记：
[0069]1为第一挡板，2为第二挡板，3为支撑梁，4为支撑杆，5为第一支撑板，6为第二支撑板，7为第三支撑板，8为第四支撑板，9为第一套本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种烧制碳化硅管的放置工装，其特征在于，包括：一对连接件，所述连接件之间设有支撑件，所述连接件的两端分别设有第一挡板和第二挡板；所述支撑件包括：多个支撑板，所述支撑板上设有多个凹陷槽，其中，所述支撑板的两侧通过固定件固定连接在所述连接件上。2.根据权利要求1所述的烧制碳化硅管的放置工装，其特征在于，所述连接件包括：一对支撑梁、一对支撑杆，两个所述支撑梁平行设置，两个所述支撑杆位于两个所述支撑梁之间，两个所述支撑杆平行设置，且两个支撑杆均与两个所述支撑梁平行；其中，所述支撑板位于所述支撑杆之间，且所述支撑板的两侧分别与同侧的所述支撑杆和所述支撑梁固定连接。3.根据权利要求2所述的烧制碳化硅管的放置工装，其特征在于，所述第一挡板和所述第二挡板的截面为凸形形状，所述第二挡板中部设有凸形形状的通孔，所述第一挡板和第二挡板上均设有一对圆孔，所述圆孔与所述支撑杆的的直径相匹配；其中，所述支撑杆的两端分别穿过所述第一挡板和第二挡板上的圆孔，且穿出部分的所述支撑杆上设有限位孔，所述限位孔内插接有销钉。4.根据权利要求2所述的烧制碳化硅管的放置工装，其特征在于，所述支撑板包括：均设有多个的第一支撑板、第二支撑板、第三支撑板、第四支撑板；多个所述第一支撑板间隔设置在所述支撑杆之间，所述第一支撑板的两侧分别与同侧的所述支撑杆和所述支撑梁通过所述固定件固定连接，所述第二支撑板间隔设置在相邻的两个所述第一支撑板之间，所述第二支撑板的一侧与同侧的所述支撑杆通过所述固定件转动连接，所述第二支撑杆的另一侧与同侧的所述支撑杆卡接，所述第三支撑板设置在第一支撑板的正上方，所述第三支撑板的下端与所述第一支撑板的上端通过限位件卡接，所述第四支撑板设置在所述第三支撑的正上方，所述第四支撑板的下端与所述第三支撑板的上端通过所述限位件卡接；其中，所述第一支撑板和上端中间部位、所述第二支撑板的上下两端中间部位、所述第三支撑板的上下两端中间部位、所述第四支撑板的下端中间部位均设有多个所述凹陷槽。5.根据权利要求1所述的烧制碳化硅管的放置工装，其特征在于，所述凹陷槽为半圆形形状。6.根据权利要求4所述的烧制...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘丽娜，朱佰喜，薛抗美，孙利，
申请(专利权)人：东莞市志橙半导体材料有限公司，
类型：发明
国别省市：