一种离子注入机的离子束测量导向装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种离子注入机的离子束测量导向装置，属于导向机构技术领域。该离子注入机的离子束测量导向装置包括基础组件和导向组件。所述基础组件包括支撑板、支撑柱和离子注入机本体，所述导向组件包括第一横板、第二横板、第一气缸、金属反射板、第一固定块、第二气缸、第三固定块、滑轨、第四固定块、滑块、电量传感器和连接柱，使用时，电量传感器感应离子束的信息，并能将检测感受到的信息，按一定规律变换成为电信号或其他所需形式的信息输出，以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求，该导向装置金属反射板角度调节范围大，即对离子束角度调节的范围大，适用性更强。

【技术实现步骤摘要】
一种离子注入机的离子束测量导向装置
本技术涉及导向机构领域，具体而言，涉及一种离子注入机的离子束测量导向装置。
技术介绍
离子注入机是高压小型加速器中的一种，应用数量最多。它是由离子源得到所需要的离子，经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流，用做半导体材料、大规模集成电路和器件的离子注入，还用于金属材料表面改性和制膜等。目前，现有的一种离子注入机的离子束测量导向装置，离子束方向调节的范围小且调节过程复杂，适用性差。
技术实现思路
为了弥补以上不足，本技术提供了一种离子注入机的离子束测量导向装置，旨在改善离子束方向调节的范围小且调节过程复杂的问题。本技术是这样实现的：本技术提供一种离子注入机的离子束测量导向装置，包括基础组件和导向组件。所述基础组件包括支撑板、支撑柱和离子注入机本体，所述支撑柱固定在所述支撑板的下表面，所述离子注入机本体固定在所述支撑板的上表面。所述导向组件包括第一横板、第二横板、第一气缸、金属反射板、第一固定块、第二气缸、第三固定块、滑轨、第四固定块、滑块、电量传感器和连接柱，所述连接柱固定在所述支撑板的上表面，所述第一横板固定在所述连接柱之间，所述第二横板固定在所述连接柱的上端，所述第一气缸分别固定在所述第一横板和所述第二横板的外表面上，所述第一固定块固定在所述第一气缸活塞杆的外壁上，所述第四固定块和所述滑轨均固定在所述金属反射板的外壁上，所述第一气缸的活塞杆端部转动在所述第四固定块内，所述滑块滑动在所述滑轨上，所述第三固定块固定在所述滑块的外壁上，所述第二气缸的端部转动在所述第一固定块内，所述第二气缸的活塞杆端部转动在所述第三固定块内，所述电量传感器固定在所述金属反射板的外壁上。在本技术的一种实施例中，所述支撑柱包括柱体和底座，所述柱体固定在所述支撑板的下表面，所述底座固定在所述柱体的下端。在本技术的一种实施例中，所述第二气缸包括第二气缸本体和第二固定块，所述第二固定块固定在所述第二气缸本体的端部，所述第二固定块转动在所述第一固定块内。在本技术的一种实施例中，所述滑轨包括滑轨本体和限位块，所述滑轨本体固定在所述金属反射板的外壁上，所述限位块固定在所述滑轨本体的端部。在本技术的一种实施例中，所述电量传感器包括第一连接耳板和电量传感器本体，所述电量传感器本体固定在所述第一连接耳板的外表面，所述第一连接耳板固定在所述金属反射板的外壁上。在本技术的一种实施例中，所述导向组件还包括锁紧件，所述第一连接耳板和所述金属反射板通过所述锁紧件固定在一起。在本技术的一种实施例中，所述导向组件还包括斜杆，所述斜杆固定在所述连接柱和所述第一横板之间。在本技术的一种实施例中，所述连接柱设置有四个，四个所述连接柱分布在所述第二横板下表面的四角。在本技术的一种实施例中，所述基础组件还包括手持部，所述手持部分别固定在所述离子注入机本体的外壁和所述连接柱的外壁上。在本技术的一种实施例中，所述连接柱包括连接柱本体和第二连接耳板，所述第二连接耳板固定在所述连接柱本体的端部，所述第二连接耳板分别固定在所述第二横板的下表面和所述支撑板的上表面。本技术的有益效果是：本技术通过上述设计得到的一种离子注入机的离子束测量导向装置，使用时，离子注入机本体发出离子束，第一气缸活塞杆的伸缩带动金属反射板实现向上或向下移动，金属反射板在第二气缸活塞杆的伸缩、滑块和滑轨的共同作用下实现角度的变换，离子束在金属反射板的作用下实现角度的变换，即实现了对离子束的导向，电量传感器感应离子束的信息，并能将检测感受到的信息，按一定规律变换成为电信号或其他所需形式的信息输出，以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求，该导向装置金属反射板角度调节范围大，即对离子束角度调节的范围大，适用性更强。附图说明为了更清楚地说明本技术实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。图1为本技术实施方式提供的一种离子注入机的离子束测量导向装置的结构示意图；图2为本技术实施方式提供的一种离子注入机的离子束测量导向装置的剖面结构示意图；图3为本技术实施方式提供的导向组件的剖面结构示意图；图4为本技术实施方式提供的图3中A区域的放大图。图中：100-基础组件；110-支撑板；120-支撑柱；121-柱体；122-底座；130-离子注入机本体；140-手持部；200-导向组件；210-第一横板；220-第二横板；230-第一气缸；240-金属反射板；250-第一固定块；260-第二气缸；261-第二气缸本体；262-第二固定块；270-第三固定块；280-滑轨；281-滑轨本体；282-限位块；290-第四固定块；291-滑块；292-电量传感器；2921-第一连接耳板；2922-电量传感器本体；293-锁紧件；294-连接柱；2941-连接柱本体；2942-第二连接耳板；295-斜杆。具体实施方式为使本技术实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施方式中的附图，对本技术实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本技术一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本技术保护的范围。因此，以下对在附图中提供的本技术的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本技术保护的范围。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种离子注入机的离子束测量导向装置，其特征在于，包括/n基础组件(100)，所述基础组件(100)包括支撑板(110)、支撑柱(120)和离子注入机本体(130)，所述支撑柱(120)固定在所述支撑板(110)的下表面，所述离子注入机本体(130)固定在所述支撑板(110)的上表面；/n导向组件(200)，所述导向组件(200)包括第一横板(210)、第二横板(220)、第一气缸(230)、金属反射板(240)、第一固定块(250)、第二气缸(260)、第三固定块(270)、滑轨(280)、第四固定块(290)、滑块(291)、电量传感器(292)和连接柱(294)，所述连接柱(294)固定在所述支撑板(110)的上表面，所述第一横板(210)固定在所述连接柱(294)之间，所述第二横板(220)固定在所述连接柱(294)的上端，所述第一气缸(230)分别固定在所述第一横板(210)和所述第二横板(220)的外表面上，所述第一固定块(250)固定在所述第一气缸(230)活塞杆的外壁上，所述第四固定块(290)和所述滑轨(280)均固定在所述金属反射板(240)的外壁上，所述第一气缸(230)的活塞杆端部转动在所述第四固定块(290)内，所述滑块(291)滑动在所述滑轨(280)上，所述第三固定块(270)固定在所述滑块(291)的外壁上，所述第二气缸(260)的端部转动在所述第一固定块(250)内，所述第二气缸(260)的活塞杆端部转动在所述第三固定块(270)内，所述电量传感器(292)固定在所述金属反射板(240)的外壁上。/n...

【技术特征摘要】
1.一种离子注入机的离子束测量导向装置，其特征在于，包括
基础组件(100)，所述基础组件(100)包括支撑板(110)、支撑柱(120)和离子注入机本体(130)，所述支撑柱(120)固定在所述支撑板(110)的下表面，所述离子注入机本体(130)固定在所述支撑板(110)的上表面；
导向组件(200)，所述导向组件(200)包括第一横板(210)、第二横板(220)、第一气缸(230)、金属反射板(240)、第一固定块(250)、第二气缸(260)、第三固定块(270)、滑轨(280)、第四固定块(290)、滑块(291)、电量传感器(292)和连接柱(294)，所述连接柱(294)固定在所述支撑板(110)的上表面，所述第一横板(210)固定在所述连接柱(294)之间，所述第二横板(220)固定在所述连接柱(294)的上端，所述第一气缸(230)分别固定在所述第一横板(210)和所述第二横板(220)的外表面上，所述第一固定块(250)固定在所述第一气缸(230)活塞杆的外壁上，所述第四固定块(290)和所述滑轨(280)均固定在所述金属反射板(240)的外壁上，所述第一气缸(230)的活塞杆端部转动在所述第四固定块(290)内，所述滑块(291)滑动在所述滑轨(280)上，所述第三固定块(270)固定在所述滑块(291)的外壁上，所述第二气缸(260)的端部转动在所述第一固定块(250)内，所述第二气缸(260)的活塞杆端部转动在所述第三固定块(270)内，所述电量传感器(292)固定在所述金属反射板(240)的外壁上。


2.根据权利要求1所述的一种离子注入机的离子束测量导向装置，其特征在于，所述支撑柱(120)包括柱体(121)和底座(122)，所述柱体(121)固定在所述支撑板(110)的下表面，所述底座(122)固定在所述柱体(121)的下端。


3.根据权利要求1所述的一种离子注入机的离子束测量导向装置，其特征在于，所述第二气缸(260)包括第二气缸本体(261)和第二固定块(262)，所述第二固定块(262)固定在所述第二气缸本体(261)的端部，所述第二固...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨光宇，
申请(专利权)人：锐捷芯盛天津电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12