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本实用新型提供了一种离子注入机的离子束测量导向装置，属于导向机构技术领域。该离子注入机的离子束测量导向装置包括基础组件和导向组件。所述基础组件包括支撑板、支撑柱和离子注入机本体，所述导向组件包括第一横板、第二横板、第一气缸、金属反射板、第一...
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