一种离子注入机的基板传输结构制造技术

本实用新型专利技术提供了一种离子注入机的基板传输结构，属于基板技术领域。该离子注入机的基板传输结构包括基板传输装置本体、基板固定组件和基板本体。所述基板固定组件包括支撑板、两个固定杆件、安装板、第一夹紧件、第二夹紧件和两个碰珠件，所述第一夹紧件包括第一固定板、第二固定板、压板、滑杆和压紧螺杆。通过第一夹紧件和第二夹紧件固定基板本体，当基板本体侧壁受外力时，形成简支梁的受力形式，减少单个连接处的受力，同时减少连接处的扭矩，进而有效的改善当基板侧壁受外力碰撞时，现有的基板输送装置上基板和基板固定结构连接处受力较大的问题，减少基板侧壁受外力碰撞，折断损坏的情况。

【技术实现步骤摘要】
一种离子注入机的基板传输结构
本技术涉及基板领域，具体而言，涉及一种离子注入机的基板传输结构。
技术介绍
半导体基板制造过程中包括引入不纯物形成掺杂的工艺，所引入的不纯物成分会与半导体物质适当结合形导电体，从而改变半导体物质的导电率，把掺杂剂导入到半导体基板的通常的方法就是离子注入，离子注入是利用离子能够穿过固体表面的巨大能量，将不纯物原子注入到表面内，形成不纯物层的工序，离子注入机能在固体表面上调节离子射束能量、离子射束质量、离子射束电荷量及注入深度等注入工序中的重要参数，能够准确控制不纯物的原子数和调节结合深度，离子注入后一般要进行高温热处理，以消除离子注入时的损伤，并对注入的不纯物进行活性化，调节不纯物成分的分布形状，减少侧面扩散，保障其均匀性，目前，基板的传输通过基板输送装置配合轨道进行，而基板连接于基板输送装置上的基板固定结构，固定处仅有基板底端，当安装和运输基板过程中，基板侧壁受外力碰撞，基板的受力为悬臂式，使基板和基板固定结构连接处受力较大，进而容易造成基板的折断损坏。
技术实现思路
为了弥补以上不足，本技术提供了本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种离子注入机的基板传输结构，其特征在于，包括/n基板传输装置本体(100)；/n基板固定组件(200)，所述基板固定组件(200)包括支撑板(210)、两个固定杆件(220)、安装板(230)、第一夹紧件(240)、第二夹紧件(250)和两个碰珠件(260)，所述支撑板(210)固定连接于所述基板传输装置本体(100)上端，两个所述固定杆件(220)分别固定连接于所述支撑板(210)两端的上侧，所述固定杆件(220)上端开设有卡槽，所述安装板(230)两端分别滑动套接于两个所述固定杆件(220)，两个所述碰珠件(260)分别固定连接于所述安装板(230)两端的上侧，所述碰珠件(260)一...

【技术特征摘要】
1.一种离子注入机的基板传输结构，其特征在于，包括
基板传输装置本体(100)；
基板固定组件(200)，所述基板固定组件(200)包括支撑板(210)、两个固定杆件(220)、安装板(230)、第一夹紧件(240)、第二夹紧件(250)和两个碰珠件(260)，所述支撑板(210)固定连接于所述基板传输装置本体(100)上端，两个所述固定杆件(220)分别固定连接于所述支撑板(210)两端的上侧，所述固定杆件(220)上端开设有卡槽，所述安装板(230)两端分别滑动套接于两个所述固定杆件(220)，两个所述碰珠件(260)分别固定连接于所述安装板(230)两端的上侧，所述碰珠件(260)一端能够插入所述卡槽，所述第一夹紧件(240)包括第一固定板(241)、第二固定板(242)、压板(243)、滑杆(244)和压紧螺杆(245)，所述第一固定板(241)和所述第二固定板(242)分别固定连接于所述支撑板(210)上侧，所述第一固定板(241)和所述第二固定板(242)对应设置，所述滑杆(244)分别固定连接于所述压板(243)一侧的两端，所述滑杆(244)滑动插接于所述第二固定板(242)，所述压紧螺杆(245)螺纹插接于所述第二固定板(242)，所述压紧螺杆(245)压紧于所述压板(243)，所述第一夹紧件(240)和所述第二夹紧件(250)结构相同，所述第二夹紧件(250)固定连接于所述安装板(230)下侧；
基板本体(300)，所述基板本体(300)两端分别位于所述第一夹紧件(240)和所述第二夹紧件(250)内，所述压板(243)将所述基板本体(300)压紧于所述第一固定板(241)。


2.根据权利要求1所述的一种离子注入机的基板传输结构，其特征在于，所述固定杆件(220)包括固定杆(221)和固定套接于所述固定杆(221)上端的挡板...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨光宇，
申请(专利权)人：锐捷芯盛天津电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12