一种离子注入机的基板传输结构制造技术

本实用新型专利技术提供了一种离子注入机的基板传输结构，属于基板技术领域。该离子注入机的基板传输结构包括基板传输装置本体、基板固定组件和基板本体。所述基板固定组件包括支撑板、两个固定杆件、安装板、第一夹紧件、第二夹紧件和两个碰珠件，所述第一夹紧件包括第一固定板、第二固定板、压板、滑杆和压紧螺杆。通过第一夹紧件和第二夹紧件固定基板本体，当基板本体侧壁受外力时，形成简支梁的受力形式，减少单个连接处的受力，同时减少连接处的扭矩，进而有效的改善当基板侧壁受外力碰撞时，现有的基板输送装置上基板和基板固定结构连接处受力较大的问题，减少基板侧壁受外力碰撞，折断损坏的情况。

【技术实现步骤摘要】
一种离子注入机的基板传输结构
本技术涉及基板领域，具体而言，涉及一种离子注入机的基板传输结构。
技术介绍
半导体基板制造过程中包括引入不纯物形成掺杂的工艺，所引入的不纯物成分会与半导体物质适当结合形导电体，从而改变半导体物质的导电率，把掺杂剂导入到半导体基板的通常的方法就是离子注入，离子注入是利用离子能够穿过固体表面的巨大能量，将不纯物原子注入到表面内，形成不纯物层的工序，离子注入机能在固体表面上调节离子射束能量、离子射束质量、离子射束电荷量及注入深度等注入工序中的重要参数，能够准确控制不纯物的原子数和调节结合深度，离子注入后一般要进行高温热处理，以消除离子注入时的损伤，并对注入的不纯物进行活性化，调节不纯物成分的分布形状，减少侧面扩散，保障其均匀性，目前，基板的传输通过基板输送装置配合轨道进行，而基板连接于基板输送装置上的基板固定结构，固定处仅有基板底端，当安装和运输基板过程中，基板侧壁受外力碰撞，基板的受力为悬臂式，使基板和基板固定结构连接处受力较大，进而容易造成基板的折断损坏。
技术实现思路
为了弥补以上不足，本技术提供了一种离子注入机的基板传输结构，旨在改善当基板侧壁受外力碰撞时，现有的基板输送装置上基板和基板固定结构连接处受力较大的问题。本技术是这样实现的：一种离子注入机的基板传输结构包括基板传输装置本体、基板固定组件和基板本体。所述基板固定组件包括支撑板、两个固定杆件、安装板、第一夹紧件、第二夹紧件和两个碰珠件，所述支撑板固定连接于所述基板传输装置本体上端，两个所述固定杆件分别固定连接于所述支撑板两端的上侧，所述固定杆件上端开设有卡槽，所述安装板两端分别滑动套接于两个所述固定杆件，两个所述碰珠件分别固定连接于所述安装板两端的上侧，所述碰珠件一端能够插入所述卡槽，所述第一夹紧件包括第一固定板、第二固定板、压板、滑杆和压紧螺杆，所述第一固定板和所述第二固定板分别固定连接于所述支撑板上侧，所述第一固定板和所述第二固定板对应设置，所述滑杆分别固定连接于所述压板一侧的两端，所述滑杆滑动插接于所述第二固定板，所述压紧螺杆螺纹插接于所述第二固定板，所述压紧螺杆压紧于所述压板，所述第一夹紧件和所述第二夹紧件结构相同，所述第二夹紧件固定连接于所述安装板下侧，所述基板本体两端分别位于所述第一夹紧件和所述第二夹紧件内，所述压板将所述基板本体压紧于所述第一固定板。在本技术的一种实施例中，所述固定杆件包括固定杆和固定套接于所述固定杆上端的挡板，所述挡板能够挡住所述安装板。在本技术的一种实施例中，所述压板包括板体和固定连接于所述板体一侧的第一缓冲垫。在本技术的一种实施例中，所述第一缓冲垫远离所述板体一侧均匀设置有第一防滑条。在本技术的一种实施例中，所述压紧螺杆包括杆体和固定连接于所述杆体一端的转动部。在本技术的一种实施例中，所述转动部周边均匀设置有第二防滑条。在本技术的一种实施例中，所述碰珠件包括安装套和螺纹插接于所述安装套内的碰珠。在本技术的一种实施例中，所述支撑板上侧两端和所述安装板下侧两端分别固定连接有定位件。在本技术的一种实施例中，所述定位件包括第一定位板和第二定位板，所述第一定位板和所述第二定位板分别固定连接于所述支撑板和所述安装板，所述第一定位板和所述第二定位板对应设置。在本技术的一种实施例中，所述第一定位板侧壁固定连接有第二缓冲垫。本技术的有益效果是：本技术通过上设计得到的一种离子注入机的基板传输结构，安装基板本体时，使用外力沿固定杆件抽动安装板，使碰珠件离开卡槽，进而解除安装板和固定杆件的连接，继续抽动安装板，将安装板抽离固定杆件，再将基板本体下端插入压板和第一固定板之间，将安装板插入固定杆件，至碰珠件卡入卡槽内，达到固定安装板的目的，将基板本体上端插入安装板上的压板和第一固定板之间，旋转支撑板和安装板上的压紧螺杆，通过螺纹传动原理，压紧螺杆带动压板分别压紧于基板本体上下两端，达到固定基板本体目的，连接方式简单，无需借助外部工具，通过第一夹紧件和第二夹紧件固定基板本体，当基板本体侧壁受外力时，形成简支梁的受力形式，减少单个连接处的受力，同时减少连接处的扭矩，进而有效的改善当基板侧壁受外力碰撞时，现有的基板输送装置上基板和基板固定结构连接处受力较大的问题，减少基板侧壁受外力碰撞，折断损坏的情况。附图说明为了更清楚地说明本技术实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。图1是本技术实施方式提供离子注入机的基板传输结构的结构示意图；图2为本技术实施方式提供基板固定组件的结构示意图；图3为本技术实施方式提供固定杆件的结构示意图；图4为本技术实施方式提供第一夹紧件的结构示意图；图5为本技术实施方式提供压板的结构示意图；图6为本技术实施方式提供压紧螺杆的结构示意图；图7为本技术实施方式提供碰珠件的结构示意图；图8为本技术实施方式提供定位件的结构示意图。图中：100-基板传输装置本体；200-基板固定组件；210-支撑板；220-固定杆件；221-固定杆；222-挡板；230-安装板；240-第一夹紧件；241-第一固定板；242-第二固定板；243-压板；2431-板体；2432-第一缓冲垫；2433-第一防滑条；244-滑杆；245-压紧螺杆；2451-杆体；2452-转动部；2453-第二防滑条；250-第二夹紧件；260-碰珠件；261-安装套；262-碰珠；270-定位件；271-第一定位板；272-第二定位板；273-第二缓冲垫；300-基板本体。具体实施方式为使本技术实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施方式中的附图，对本技术实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本技术一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本技术保护的范围。因此，以下对在附图中提供的本技术的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本技术保护的范围。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种离子注入机的基板传输结构，其特征在于，包括/n基板传输装置本体(100)；/n基板固定组件(200)，所述基板固定组件(200)包括支撑板(210)、两个固定杆件(220)、安装板(230)、第一夹紧件(240)、第二夹紧件(250)和两个碰珠件(260)，所述支撑板(210)固定连接于所述基板传输装置本体(100)上端，两个所述固定杆件(220)分别固定连接于所述支撑板(210)两端的上侧，所述固定杆件(220)上端开设有卡槽，所述安装板(230)两端分别滑动套接于两个所述固定杆件(220)，两个所述碰珠件(260)分别固定连接于所述安装板(230)两端的上侧，所述碰珠件(260)一端能够插入所述卡槽，所述第一夹紧件(240)包括第一固定板(241)、第二固定板(242)、压板(243)、滑杆(244)和压紧螺杆(245)，所述第一固定板(241)和所述第二固定板(242)分别固定连接于所述支撑板(210)上侧，所述第一固定板(241)和所述第二固定板(242)对应设置，所述滑杆(244)分别固定连接于所述压板(243)一侧的两端，所述滑杆(244)滑动插接于所述第二固定板(242)，所述压紧螺杆(245)螺纹插接于所述第二固定板(242)，所述压紧螺杆(245)压紧于所述压板(243)，所述第一夹紧件(240)和所述第二夹紧件(250)结构相同，所述第二夹紧件(250)固定连接于所述安装板(230)下侧；/n基板本体(300)，所述基板本体(300)两端分别位于所述第一夹紧件(240)和所述第二夹紧件(250)内，所述压板(243)将所述基板本体(300)压紧于所述第一固定板(241)。/n...

【技术特征摘要】
1.一种离子注入机的基板传输结构，其特征在于，包括
基板传输装置本体(100)；
基板固定组件(200)，所述基板固定组件(200)包括支撑板(210)、两个固定杆件(220)、安装板(230)、第一夹紧件(240)、第二夹紧件(250)和两个碰珠件(260)，所述支撑板(210)固定连接于所述基板传输装置本体(100)上端，两个所述固定杆件(220)分别固定连接于所述支撑板(210)两端的上侧，所述固定杆件(220)上端开设有卡槽，所述安装板(230)两端分别滑动套接于两个所述固定杆件(220)，两个所述碰珠件(260)分别固定连接于所述安装板(230)两端的上侧，所述碰珠件(260)一端能够插入所述卡槽，所述第一夹紧件(240)包括第一固定板(241)、第二固定板(242)、压板(243)、滑杆(244)和压紧螺杆(245)，所述第一固定板(241)和所述第二固定板(242)分别固定连接于所述支撑板(210)上侧，所述第一固定板(241)和所述第二固定板(242)对应设置，所述滑杆(244)分别固定连接于所述压板(243)一侧的两端，所述滑杆(244)滑动插接于所述第二固定板(242)，所述压紧螺杆(245)螺纹插接于所述第二固定板(242)，所述压紧螺杆(245)压紧于所述压板(243)，所述第一夹紧件(240)和所述第二夹紧件(250)结构相同，所述第二夹紧件(250)固定连接于所述安装板(230)下侧；
基板本体(300)，所述基板本体(300)两端分别位于所述第一夹紧件(240)和所述第二夹紧件(250)内，所述压板(243)将所述基板本体(300)压紧于所述第一固定板(241)。


2.根据权利要求1所述的一种离子注入机的基板传输结构，其特征在于，所述固定杆件(220)包括固定杆(221)和固定套接于所述固定杆(221)上端的挡板...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨光宇，
申请(专利权)人：锐捷芯盛天津电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12