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本实用新型提供了一种离子注入机的基板传输结构，属于基板技术领域。该离子注入机的基板传输结构包括基板传输装置本体、基板固定组件和基板本体。所述基板固定组件包括支撑板、两个固定杆件、安装板、第一夹紧件、第二夹紧件和两个碰珠件，所述第一夹紧件包括...
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