一种芯片清洗干燥设备制造技术

本发明专利技术公开的一种芯片清洗干燥设备，包括箱体，所述箱体内设有清洗干燥腔，所述清洗干燥腔内左壁中心处连通有通腔，所述通腔内设有能左右滑动的滑动杆，所述滑动杆上端面且位于所述清洗干燥腔内固定设有芯片，所述清洗干燥腔内后壁中心处设有能转动的转动电机轴，所述转动电机轴前端向前延伸至所述清洗干燥腔内中心处且外圆面固定设有转动杆，本发明专利技术通过先夹紧后自转的方式，先将芯片夹紧，再通过自转件转动时进行自转的方式，对芯片进行全方位均匀清洗及气体干燥工作，提高清洗及干燥效率的同时，能避免清洗液及高压气体对芯片长时间相同位置的冲击，防止因冲击力过大对芯片造成的损坏，降低了成本。

【技术实现步骤摘要】
一种芯片清洗干燥设备
本专利技术涉及清洗干燥设备
，具体为一种芯片清洗干燥设备。
技术介绍
在芯片生产过程中，需要保持芯片表面清洁及干燥的程度，现有的芯片清洗方式一般通过人工利用清洁液体对芯片表面进行冲洗，而清洁液体的流量较高，持续对芯片表面冲洗容易造成芯片表面图案的损坏，同时用高压气体对芯片进行干燥工作的过程中，容易造成芯片的掉落，且芯片表面残留的液体，人眼较难察觉，未完全干燥的芯片容易聚集灰尘，造成影响，本专利技术阐述的一种芯片清洗干燥设备，能够解决上述问题。
技术实现思路
为解决上述问题，本例设计了一种芯片清洗干燥设备，本例的一种芯片清洗干燥设备，包括箱体，所述箱体内设有清洗干燥腔，所述清洗干燥腔内左壁中心处连通有通腔，所述通腔内设有能左右滑动的滑动杆，所述滑动杆上端面且位于所述清洗干燥腔内固定设有芯片，所述清洗干燥腔内后壁中心处设有能转动的转动电机轴，所述转动电机轴前端向前延伸至所述清洗干燥腔内中心处且外圆面固定设有转动杆，所述转动电机轴上下两侧且位于所述转动杆后侧对称设有环形齿条，所述环形齿条后端面与所述清洗干燥腔内后壁固定连接，所述转动杆左端外圆面设有能左右滑动的滑动套杆，所述滑动套杆左端面中心转动设有连接轴，所述连接轴左端向左延伸至所述滑动套杆左侧固定连接有能与所述环形齿条前端面齿纹啮合的自转件，所述自转件内设有开口向左的夹持腔，所述夹持腔内上下两壁之间固定设有固定轴，所述固定轴外圆面上下两侧对称且滑动设有夹持杆，所述自转件内且位于所述夹持腔上下两侧对称设有能左右滑动的横向滑动杆，当上下两侧所述横向滑动杆向右滑动时，能带动上下两侧所述横向滑动杆分别向远离所述连接轴方向滑动，将所述芯片放置于上下两侧所述夹持杆之间，当所述滑动套杆向右滑动时，带动所述自转件向右滑动进而带动上下两侧所述横向滑动杆复位，上下两侧所述夹持杆将所述芯片夹紧，防止其掉落，所述转动电机轴带动所述转动杆进行逆时针转动，进而带动所述自转件外圆面与下侧所述环形齿条前端面相啮合，此时当所述自转件逆时针转动时，能同时带动所述芯片进行自转，所述清洗干燥腔内上下两壁对称且固定设有固定柱，下侧所述固定柱能对自转的所述芯片进行清洗，当所述自转件与上侧所述环形齿条相啮合时，上侧所述固定柱能对自转的所述芯片进行干燥处理，当所述自转件逆时针转动一周后，通过所述通腔将干净的所述芯片取出。可优选的，所述滑动套杆内且位于所述连接轴右侧设有开口向右的转动杆腔，所述转动杆左端外圆面与所述转动杆腔内壁滑动连接，所述连接轴与所述转动杆腔之间固定设有固定电机，所述固定电机上下两侧对称设有动力腔，所述固定电机上下两端对称且动力连接有固定电机轴，上下两侧所述固定电机轴分别延伸至上下两侧所述动力腔内固定设有动力锥齿轮，所述动力腔内左壁中心转动设有从动锥齿轮轴，所述从动锥齿轮轴位于所述动力腔内一端固定设有与所述动力锥齿轮相啮合的从动锥齿轮，所述从动锥齿轮轴左端外圆面螺纹连接有内外螺纹套杆，所述滑动套杆左端面且位于所述内外螺纹套杆远离所述连接轴一侧固定设有环形电磁铁。可优选的，所述自转件右端面且位于所述连接轴上下两侧对称设有开口向右的内外螺纹套杆腔，所述内外螺纹套杆外圆面与所述内外螺纹套杆腔内壁螺纹连接，所述自转件右端面且位于所述内外螺纹套杆腔远离所述连接轴一侧固定设有能与所述环形电磁铁磁性连接的环形磁铁，所述自转件内且位于所述夹持腔上下两侧对称设有开口向左的横向滑动杆腔，所述横向滑动杆能于所述横向滑动杆腔内左右滑动，所述横向滑动杆右端面与所述横向滑动杆腔内右壁之间固定设有横向滑动杆弹簧，所述横向滑动杆靠近所述夹持腔一端面设有开口向所述夹持腔的连接腔，上下两侧所述夹持杆远离所述连接轴一端面分别与所述夹持腔上下两壁之间固定设有夹持杆弹簧，所述夹持腔上下两壁分别与上下两侧所述横向滑动杆腔内靠近所述连接轴一侧内壁之间连通有限位腔，所述限位腔内设有能上下滑动的限位杆，所述限位杆位于所述夹持腔一端与所述夹持杆远离所述连接轴一端面固定连接。可优选的，所述滑动套杆右侧且位于所述转动杆外圆面固定设有固定块，所述固定块内上端右侧固定设有伸缩电机，所述固定块内且位于所述伸缩电机左侧设有环形的带轮腔，所述带轮腔内环形阵列设有带轮轴，所述带轮轴外圆面固定设有带轮，所述带轮外圆面绕设有同步带，上下两侧所述带轮轴左端分别向左延伸至所述滑动套杆内与所述滑动套杆螺纹连接，上侧所述带轮轴右端向右延伸至所述固定块内与所述伸缩电机左端面动力连接。可优选的，所述箱体内后端且位于所述转动电机轴后侧固定设有转动电机，所述转动电机轴后端向后延伸至所述箱体内与所述转动电机前端面动力连接，所述转动电机与所述清洗干燥腔之间设有齿轮离合腔，所述转动电机轴位于所述齿轮离合腔内外圆面固定连接有固定锥齿轮，所述箱体内后端且位于所述齿轮离合腔上下两侧对称设有活塞板腔，上下两侧所述活塞板腔内分别设有能左右滑动的活塞板，所述活塞板腔内右端内壁固定设有过滤板，所述活塞板腔内右壁中心固定连接有与外界相连接的进口单向阀，所述活塞板腔内远离所述齿轮离合腔一侧内壁固定连接有出口单向阀。可优选的，所述齿轮离合腔内上下两壁对称且转动设有转动件，所述转动件位于所述齿轮离合腔内一端固定设有能与所述固定锥齿轮相啮合的切换锥齿轮，所述转动件远离所述齿轮离合腔一端且位于所述箱体内设有转动件腔，所述转动件位于所述转动件腔内一端固定设有转动件磁铁，所述转动件腔内远离所述齿轮离合腔一侧内壁固定设有与所述转动件磁铁磁性连接的固定电磁铁，所述转动件内花键连接有花键轴，上下两侧所述花键轴远离所述齿轮离合腔一端分别延伸至上下两侧所述活塞板腔内固定设有转杆，所述转杆远离转动中心一端铰链连接有连杆，所述连杆靠近所述过滤板一端固定与所述活塞板左端面铰链连接。可优选的，所述滑动杆外圆面且位于所述箱体左侧固定设有滑动杆限位板，所述滑动杆右端面与所述清洗干燥腔内左壁分别固定设有连接固定杆，所述内上下两壁对称且均匀阵列设有固定柱，所述固定柱内靠近所述环形齿条一端固定设有连接管出口，下侧所述连接管出口远离所述环形齿条一侧内壁与下侧所述出口单向阀相连接，上侧所述连接管出口远离所述环形齿条一侧内壁与上侧所述出口单向阀相连接，所述清洗干燥腔内壁且位于所述转动电机轴上端左右两侧对称且固定设有上红外感应器，所述清洗干燥腔内壁且位于所述转动电机轴下端左右两侧对称且固定设有下红外感应器。本专利技术的有益效果是：本专利技术通过先夹紧后自转的方式，先将芯片夹紧，再通过自转件转动时进行自转的方式，对芯片进行全方位均匀清洗及气体干燥工作，提高清洗及干燥效率的同时，能避免清洗液及高压气体对芯片长时间相同位置的冲击，防止因冲击力过大对芯片造成的损坏，降低了成本。附图说明为了更清楚地说明专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。下面结合附图和实施例对本专利技术进一步说明。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种芯片清洗干燥设备，包括箱体，其特征在于：所述箱体内设有清洗干燥腔，所述清洗干燥腔内左壁中心处连通有通腔，所述通腔内设有能左右滑动的滑动杆，所述滑动杆上端面且位于所述清洗干燥腔内固定设有芯片，所述清洗干燥腔内后壁中心处设有能转动的转动电机轴，所述转动电机轴前端向前延伸至所述清洗干燥腔内中心处且外圆面固定设有转动杆，所述转动电机轴上下两侧且位于所述转动杆后侧对称设有环形齿条，所述环形齿条后端面与所述清洗干燥腔内后壁固定连接，所述转动杆左端外圆面设有能左右滑动的滑动套杆，所述滑动套杆左端面中心转动设有连接轴，所述连接轴左端向左延伸至所述滑动套杆左侧固定连接有能与所述环形齿条前端面齿纹啮合的自转件，所述自转件内设有开口向左的夹持腔，所述夹持腔内上下两壁之间固定设有固定轴，所述固定轴外圆面上下两侧对称且滑动设有夹持杆，所述自转件内且位于所述夹持腔上下两侧对称设有能左右滑动的横向滑动杆，当上下两侧所述横向滑动杆向右滑动时，能带动上下两侧所述横向滑动杆分别向远离所述连接轴方向滑动，将所述芯片放置于上下两侧所述夹持杆之间，当所述滑动套杆向右滑动时，带动所述自转件向右滑动进而带动上下两侧所述横向滑动杆复位，上下两侧所述夹持杆将所述芯片夹紧，防止其掉落，所述转动电机轴带动所述转动杆进行逆时针转动，进而带动所述自转件外圆面与下侧所述环形齿条前端面相啮合，此时当所述自转件逆时针转动时，能同时带动所述芯片进行自转，所述清洗干燥腔内上下两壁对称且固定设有固定柱，下侧所述固定柱能对自转的所述芯片进行清洗，当所述自转件与上侧所述环形齿条相啮合时，上侧所述固定柱能对自转的所述芯片进行干燥处理，当所述自转件逆时针转动一周后，通过所述通腔将干净的所述芯片取出。/n...

【技术特征摘要】
1.一种芯片清洗干燥设备，包括箱体，其特征在于：所述箱体内设有清洗干燥腔，所述清洗干燥腔内左壁中心处连通有通腔，所述通腔内设有能左右滑动的滑动杆，所述滑动杆上端面且位于所述清洗干燥腔内固定设有芯片，所述清洗干燥腔内后壁中心处设有能转动的转动电机轴，所述转动电机轴前端向前延伸至所述清洗干燥腔内中心处且外圆面固定设有转动杆，所述转动电机轴上下两侧且位于所述转动杆后侧对称设有环形齿条，所述环形齿条后端面与所述清洗干燥腔内后壁固定连接，所述转动杆左端外圆面设有能左右滑动的滑动套杆，所述滑动套杆左端面中心转动设有连接轴，所述连接轴左端向左延伸至所述滑动套杆左侧固定连接有能与所述环形齿条前端面齿纹啮合的自转件，所述自转件内设有开口向左的夹持腔，所述夹持腔内上下两壁之间固定设有固定轴，所述固定轴外圆面上下两侧对称且滑动设有夹持杆，所述自转件内且位于所述夹持腔上下两侧对称设有能左右滑动的横向滑动杆，当上下两侧所述横向滑动杆向右滑动时，能带动上下两侧所述横向滑动杆分别向远离所述连接轴方向滑动，将所述芯片放置于上下两侧所述夹持杆之间，当所述滑动套杆向右滑动时，带动所述自转件向右滑动进而带动上下两侧所述横向滑动杆复位，上下两侧所述夹持杆将所述芯片夹紧，防止其掉落，所述转动电机轴带动所述转动杆进行逆时针转动，进而带动所述自转件外圆面与下侧所述环形齿条前端面相啮合，此时当所述自转件逆时针转动时，能同时带动所述芯片进行自转，所述清洗干燥腔内上下两壁对称且固定设有固定柱，下侧所述固定柱能对自转的所述芯片进行清洗，当所述自转件与上侧所述环形齿条相啮合时，上侧所述固定柱能对自转的所述芯片进行干燥处理，当所述自转件逆时针转动一周后，通过所述通腔将干净的所述芯片取出。


2.如权利要求1所述的一种芯片清洗干燥设备，其特征在于：所述滑动套杆内且位于所述连接轴右侧设有开口向右的转动杆腔，所述转动杆左端外圆面与所述转动杆腔内壁滑动连接，所述连接轴与所述转动杆腔之间固定设有固定电机，所述固定电机上下两侧对称设有动力腔，所述固定电机上下两端对称且动力连接有固定电机轴，上下两侧所述固定电机轴分别延伸至上下两侧所述动力腔内固定设有动力锥齿轮，所述动力腔内左壁中心转动设有从动锥齿轮轴，所述从动锥齿轮轴位于所述动力腔内一端固定设有与所述动力锥齿轮相啮合的从动锥齿轮，所述从动锥齿轮轴左端外圆面螺纹连接有内外螺纹套杆，所述滑动套杆左端面且位于所述内外螺纹套杆远离所述连接轴一侧固定设有环形电磁铁。


3.如权利要求1所述的一种芯片清洗干燥设备，其特征在于：所述自转件右端面且位于所述连接轴上下两侧对称设有开口向右的内外螺纹套杆腔，所述内外螺纹套杆外圆面与所述内外螺纹套杆腔内壁螺纹连接，所述自转件右端面且位于所述内外螺纹套杆腔远离所述连接轴一侧固定设有能与所述环形电磁铁磁性连接的环形磁铁，所述自转件内且位于所述夹持腔上下两侧对称设有开口向左的横向滑动杆腔，所述横向滑动杆能于所述横向滑动杆腔内左右滑动，所述横向滑动杆右端面与所述横向滑动杆腔内右壁之间固定设有横向滑动杆弹簧，...

【专利技术属性】
技术研发人员：邵俊洁，
申请(专利权)人：南京嘟嘟条贸易有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32