一种适用于PECVD设备的炉体调节机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种适用于PECVD设备的炉体调节机构，包括：炉体；与所述炉体接触连接的至少2根的支撑杆；以及设于所述支撑杆的侧端部的调节装置；其中，所述调节装置至少设有2组，所述调节装置可通过所述支撑杆控制所述炉体延X轴方向及Z轴方向往复运动。本实用新型专利技术具有通过第一调节组件调节炉体延Z轴方向的位置，通过所述第二调节组件调节炉体延X轴方向的位置，结构简单，操作省力，且两者互不干扰的有益效果。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于PECVD设备的炉体调节机构
本技术涉及管式PECVD炉管领域。更具体地说，本技术涉及一种适用于PECVD设备的炉体调节机构。
技术介绍
太阳能电池是一种具有光-电转换特性的半导体器件，它直接将太阳辐射能转换成直流电，是光伏収电的最基本单元，在太阳能收集转化过程中，太阳光照射到太阳能电池的硅片上，其中一部分太阳光会被反射，即使对将硅表面设计成绒面，虽然入射光会产生多次反射可以增加光的吸收率，但是，还是会有一部分的太阳光会被反射，据测算，光在硅表面的反射损失率高达35％左右，减反膜可以极高地提高电池片对太阳光的利用率，有助于提高光生电流密度，进而提高转换效率，同时薄膜中的氢对于电池片表面的钝化降低了发射结的表面复合速率，减小了暗电流，提升了开路电压，提高了光电转换效率；在烧穿工艺中的高温瞬时退火断裂了一些Si-H、N-H键，游离出来的H进一步加强了对电池的钝化。薄膜制备工艺按照其成膜方法可分为两大类：物理气象沉积(PVD)和化学气象沉积(CVD)。等离子增强型化学气相沉积(PECVD)是化学气相沉积的一种，PECVD(Plasm本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种适用于PECVD设备的炉体调节机构，其特征在于，包括：炉体(11)；与所述炉体(11)接触连接的至少2根的支撑杆(12)；以及设于所述支撑杆(12)的侧端部的调节装置(13)；/n其中，所述调节装置(13)至少设有2组，所述调节装置(13)可通过所述支撑杆(12)控制所述炉体(11)延X轴方向及Z轴方向往复运动。/n

【技术特征摘要】
1.一种适用于PECVD设备的炉体调节机构，其特征在于，包括：炉体(11)；与所述炉体(11)接触连接的至少2根的支撑杆(12)；以及设于所述支撑杆(12)的侧端部的调节装置(13)；
其中，所述调节装置(13)至少设有2组，所述调节装置(13)可通过所述支撑杆(12)控制所述炉体(11)延X轴方向及Z轴方向往复运动。


2.如权利要求1所述的适用于PECVD设备的炉体调节机构，其特征在于，所述支撑杆(12)延Y轴方向延伸，且相邻的两支撑杆(12)之间限定出所述炉体(11)的放置空间。


3.如权利要求1所述的适用于PECVD设备的炉体调节机构，其特征在于，所述调节装置(13)包括：固定底座(131)；
固接于所述固定底座(131)顶端部的导轨块(132)，所述导轨块(132)的中部开设有一导向槽(1321)；
设于所述导向槽(1321)内部且与所述导轨块(132)滑动连接的第一调节组件(133)；以及
设于所述导轨块(132)侧端部的第二调节组件(134)；
其中，所述导轨块(132)延Y轴方向两侧设有导向部(1322)，所述导向部(1322)延X轴方向延伸，所述导轨块(132)延X轴方向两侧设有限位部(1323)。


4.如权利要求3所述的适用于PECVD设备的炉体调节机构，其特征在于，所述第一调节组件(133)包括：设于所述导向槽(1321)内部的驱动丝杆(1331)，以及
套接于驱动丝杠(1331)表面且与驱动丝杠(1331)螺接的活动块(1332)，所述活动块(1332)至少设有2个...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈晖，王玉明，程海良，陆尉，
申请(专利权)人：苏州拓升智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32