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本实用新型公开了一种适用于PECVD设备的炉体调节机构，包括：炉体；与所述炉体接触连接的至少2根的支撑杆；以及设于所述支撑杆的侧端部的调节装置；其中，所述调节装置至少设有2组，所述调节装置可通过所述支撑杆控制所述炉体延X轴方向及Z轴方向往复...
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