【技术实现步骤摘要】
一种基于PLC冷却装置的金刚石生长控制方法及装置
本专利技术属于自动控制
，具体涉及一种基于PLC冷却装置的金刚石生长控制方法及装置。
技术介绍
金刚石作为一种宽带隙半导体材料，具有许多与众不同的性能，如大的禁带宽度、低的介电常数、高的击穿电压、高的电子空穴迁移率、高的热导率及优越的抗辐射性能，且化学稳定性好。所有这些物理、化学和电学特性使得金刚石在工业和民用的许多领域有着广阔的应用前景。目前人工合成金刚石的方法有高温高压法(HTHP)、直流电弧等离子体喷射法(DCAPJ)、热丝化学气相沉积法(HFCVD)、微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)等。其中，由于微波激发的等离子可控性好、等离子密度高且无电极污染，MPCVD是制备高品质金刚石的首选方法。目前的金刚石生长系统中，在生产过程中需人为检查对元器件提供冷却保护的冷却装置运行是否正常。当冷却系统中的部件发生异常时，人为检查无法及时进行安全管控，容易发生安全事故，并且冷却装置的异常不能及时排除，无法保证金刚石的正常生长。
技术实现思路
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【技术保护点】
1.一种基于PLC冷却装置的金刚石生长控制方法，其特征在于，包括步骤：/n根据冷却启动信号和冷却系统的反馈信号控制冷却装置运行，以向金刚石生长系统提供冷却水；/n根据所述冷却水的回流温度信号或所述冷却水的流量信号对所述金刚石生长系统进行控制，使所述金刚石生长系统继续运行或者停止运行。/n
【技术特征摘要】
1.一种基于PLC冷却装置的金刚石生长控制方法，其特征在于，包括步骤：
根据冷却启动信号和冷却系统的反馈信号控制冷却装置运行，以向金刚石生长系统提供冷却水；
根据所述冷却水的回流温度信号或所述冷却水的流量信号对所述金刚石生长系统进行控制，使所述金刚石生长系统继续运行或者停止运行。
2.如权利要求1所述的基于PLC冷却装置的金刚石生长控制方法，其特征在于，根据冷却启动信号和冷却系统的反馈信号控制冷却装置运行，以向金刚石生长系统提供冷却水，包括：
根据冷却启动信号控制每路进水管路上的进水阀门开启，同时接收所述进水阀门反馈的进水阀门开启状态信号；并根据冷却启动信号控制每路回水管路上的回水阀门开启，同时接收所述回水阀门反馈的回水阀门开启状态信号；
根据所述进水阀门开启状态信号和所述回水阀门开启状态信号控制水冷机运行以向所述金刚石生长系统提供冷却水。
3.如权利要求1所述的基于PLC冷却装置的金刚石生长控制方法，其特征在于，根据所述冷却水的回流温度信号对所述金刚石生长系统进行控制，使所述金刚石生长系统继续运行或者停止运行，包括：
获取所述回流温度信号，并根据所述回流温度信号获取冷却水回流温度；
判断所述冷却水回流温度与目标温度的关系，当判断所述冷却水回流温度大于目标温度时，控制所述金刚石生长系统停止运行；当判断所述冷却水回流温度小于或等于所述目标温度时，控制所述金刚石生长系统继续运行。
4.如权利要求1所述的基于PLC冷却装置的金刚石生长控制方法，其特征在于，根据所述冷却水的流量信号对所述金刚石生长系统进行控制，使所述金刚石生长系统继续运行或者停止运行，包括：
获取所述流量信号，并且根据所述流量信号获取冷却水流量；
判断所述冷却水流量与目标流量的关系，当判断所述冷却水流量小于目标流量时，控制所述金刚石生长系统停止运行；当判断所述冷却水流量大于或等于所述目标流量时，控制所述金刚石生长系统继续运行。
5.如权利要求1所述的基于PLC冷却装置的金刚石生长控制方法，其特征在于，还包括：
获取当所述金刚石生长系统运行时真空腔体内的压力信号，并根据所述压力信号获取所述真空腔体内的压力值；
判断所述压力值与目标压力的关系，当判断所述压力值大于或等于目标压力时，控制冷却风扇启动以对所述真空腔体进行冷却；当判断所述压力值小于目标压力时，继续获取当所述金刚石生长系统运行时真空腔体内的压力信号。
6.如权利要求5所述的基于...
【专利技术属性】
技术研发人员：张金风，任泽阳，王东，吴勇，郝跃，
申请(专利权)人：西安电子科技大学芜湖研究院，
类型：发明
国别省市：安徽;34
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