一种提高石墨舟使用寿命的方法技术

本申请公开了一种提高石墨舟使用寿命的方法，包括获取两端开设电极孔的石墨舟；在所述石墨舟中放置镀膜对象；将所述石墨舟的两端交替朝向炉尾放入镀膜设备中，对所述镀膜对象进行镀膜，因此就不会存在石墨舟一端沉积的膜层比另一端厚的问题了，而是两端基本具有同样的厚度，导电性保持基本一致，那么其上的镀膜对象的镀膜厚度就更加均匀，从而该方案能够在低成本的基础上，增加石墨舟沉积厚度的均匀性，达到提高石墨舟使用寿命的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种提高石墨舟使用寿命的方法
本专利技术属于新能源设备制造
，特别是涉及一种提高石墨舟使用寿命的方法。
技术介绍
PERC太阳能电池的制备过程中，通常使用管式PECVD方式制备正面和背面的钝化减反射膜，石墨舟是用于承载硅片并为硅片导电的装备，随着单管产能和硅片尺寸的不断增加，一个石墨舟内的片间镀膜均匀性就面临着越来越大的挑战，如何降低片间均匀性以满足生产要求成为一个亟待解决的问题。石墨舟已经从一开始的单舟产能240片(20排6列)发展到了现在的352片(22排8列)，一般情况下，镀膜时需要往炉管内通入气体，并给石墨舟通电，在射频电的作用下，气体变成等离子电浆，在电场作用下，沉积在硅片表面形成膜。如图1所示，图1为现有的石墨舟的示意图，一般而言，电从石墨舟的一侧的电极孔通入，且电极孔一侧是在炉管的尾部，而气体则是从炉口位置通入。在实际的镀膜过程中，通过控制不同温区的温度、压力和气体流量来调整舟内镀膜的均匀性，即便这样，均匀性还是不够好，不同温区的膜层厚度仍然存在规律性的差异，使用石墨舟达到一定次数之后，石墨舟上从炉口到炉尾沉积的膜层的颜色从蓝逐渐变白，也就是说，膜层厚度逐渐变大。而石墨舟沉积的膜层厚度与石墨和硅片之间的导电率一般成负相关性，所以石墨舟使用的次数越多，石墨舟的不同温区的膜层厚度差异就越大，现在通常是通过控制石墨舟的使用次数来控制镀膜的均匀性，也就是说，使用到一定次数以后就不用了，可见这极大影响了石墨舟的使用寿命。综上所述，现有的利用石墨舟使用次数的控制来提高石墨舟镀膜均匀性的方法，一方面增加了清洗化学品的消耗量，另一方面也增加了镀舟时间和消耗品，还需要增加用于周转的石墨舟数量，成本比较高。
技术实现思路
为解决上述问题，本专利技术提供了一种提高石墨舟使用寿命的方法，能够在低成本的基础上，增加石墨舟沉积厚度的均匀性，达到提高石墨舟使用寿命的目的。本专利技术提供的一种提高石墨舟使用寿命的方法，包括：获取两端开设电极孔的石墨舟；在所述石墨舟中放置镀膜对象；将所述石墨舟的两端交替朝向炉尾放入镀膜设备中，对所述镀膜对象进行镀膜。优选的，在上述提高石墨舟使用寿命的方法中，所述将所述石墨舟的两端交替朝向炉尾放入镀膜设备中为：当第奇数次使用所述石墨舟时，将所述石墨舟的第一端朝向炉尾放入所述镀膜设备中；当第偶数次使用所述石墨舟时，将所述石墨舟的第二端朝向炉尾放入所述镀膜设备中。优选的，在上述提高石墨舟使用寿命的方法中，所述将所述石墨舟的两端交替朝向炉尾放入镀膜设备中为：每使用预设次数的石墨舟以后，调换所述石墨舟的方向，换成所述石墨舟的另一端朝向炉尾放入所述镀膜设备中。优选的，在上述提高石墨舟使用寿命的方法中，所述预设次数不大于5次。优选的，在上述提高石墨舟使用寿命的方法中，所述获取两端开设电极孔的石墨舟为：在一端开设电极孔的石墨舟的另一端开设另一个电极孔。优选的，在上述提高石墨舟使用寿命的方法中，所述镀膜设备为PECVD设备。通过上述描述可知，本专利技术提供的上述提高石墨舟使用寿命的方法，由于先获取两端开设电极孔的石墨舟；然后在所述石墨舟中放置镀膜对象；再将所述石墨舟的两端交替朝向炉尾放入镀膜设备中，对所述镀膜对象进行镀膜，因此就不会存在石墨舟一端沉积的膜层比另一端厚的问题了，而是两端基本具有同样的厚度，导电性保持基本一致，那么其上的镀膜对象的镀膜厚度就更加均匀，从而该方案能够在低成本的基础上，增加石墨舟沉积厚度的均匀性，达到提高石墨舟使用寿命的目的。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。图1为本专利技术提供的一种提高石墨舟使用寿命的方法的实施例的示意图；图2为两端都有电极孔的石墨舟的示意图。具体实施方式本专利技术的核心是提供一种提高石墨舟使用寿命的方法，能够在低成本的基础上，增加石墨舟沉积厚度的均匀性，达到提高石墨舟使用寿命的目的。下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。本专利技术提供的一种提高石墨舟使用寿命的方法的实施例如图1所示，图1为本专利技术提供的一种提高石墨舟使用寿命的方法的实施例的示意图，该方法包括如下步骤：S1：获取两端开设电极孔的石墨舟；需要说明的是，获取这种石墨舟的方式可以是将在一端开设电极孔的石墨舟的另一端开设另一个电极孔，还可以是直接将两端开设电极孔的石墨舟拿过来用，此处并不限制，两端开电极孔就能够实现石墨舟任意一端朝向炉管侧进入镀膜设备中，而不是像现有技术那样只能有一端朝向炉管侧进入镀膜设备中。S2：在石墨舟中放置镀膜对象；需要说明的是，在石墨舟中放置的镀膜对象可以但不限于为硅片，在对该镀膜对象进行镀膜的时候，石墨舟本身也不可避免的会被镀膜。S3：将石墨舟的两端交替朝向炉尾放入镀膜设备中，对镀膜对象进行镀膜。也就是说，石墨舟在服役期间，两侧电极孔交替进入炉管进行镀膜，这可以达到用炉尾补偿炉口沉积厚度的目的，从而增加石墨舟沉积厚度的均匀性，提高石墨舟的使用寿命。通过上述描述可知，本专利技术提供的上述提高石墨舟使用寿命的方法的实施例中，由于先获取两端开设电极孔的石墨舟，然后在石墨舟中放置镀膜对象，再将石墨舟的两端交替朝向炉尾放入镀膜设备中，对镀膜对象进行镀膜，因此就不会存在石墨舟一端沉积的膜层比另一端厚的问题了，而是两端基本具有同样的厚度，导电性保持基本一致，那么其上的镀膜对象的镀膜厚度就更加均匀，从而该方案能够在低成本的基础上，增加石墨舟沉积厚度的均匀性，达到提高石墨舟使用寿命的目的。在上述提高石墨舟使用寿命的方法的一个具体实施例中，将石墨舟的两端交替朝向炉尾放入镀膜设备中可以具体为：当第奇数次使用石墨舟时，将石墨舟的第一端朝向炉尾放入镀膜设备中；当第偶数次使用石墨舟时，将石墨舟的第二端朝向炉尾放入镀膜设备中。参考图2，图2为两端都有电极孔的石墨舟的示意图，在这种情况下，当第一次使用该石墨舟时，将石墨舟的第一端201朝向炉尾放入镀膜设备中，当第二次使用该石墨舟时，将石墨舟的第二端202朝向炉尾放入镀膜设备中，当第三次使用该石墨舟时，将石墨舟的第一端201朝向炉尾放入镀膜设备中，当第四次使用该石墨舟时，将石墨舟的第二端202朝向炉尾放入镀膜设备中，以此类推，就这样将石墨舟的两端交替朝向炉尾放入镀膜设备中，从而石墨舟整体沉积厚度更加均匀。在上述提高石墨舟使用寿命的方法的另一个具体实施例中，将石墨舟的两端交替朝向本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种提高石墨舟使用寿命的方法，其特征在于，包括：/n获取两端开设电极孔的石墨舟；/n在所述石墨舟中放置镀膜对象；/n将所述石墨舟的两端交替朝向炉尾放入镀膜设备中，对所述镀膜对象进行镀膜。/n

【技术特征摘要】
1.一种提高石墨舟使用寿命的方法，其特征在于，包括：
获取两端开设电极孔的石墨舟；
在所述石墨舟中放置镀膜对象；
将所述石墨舟的两端交替朝向炉尾放入镀膜设备中，对所述镀膜对象进行镀膜。


2.根据权利要求1所述的提高石墨舟使用寿命的方法，其特征在于，所述将所述石墨舟的两端交替朝向炉尾放入镀膜设备中为：
当第奇数次使用所述石墨舟时，将所述石墨舟的第一端朝向炉尾放入所述镀膜设备中；
当第偶数次使用所述石墨舟时，将所述石墨舟的第二端朝向炉尾放入所述镀膜设备中。


3.根据权利要求1所述的提高石墨舟使用寿命的方法，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑显涛，白玉磐，陈园，张明明，
申请(专利权)人：江西展宇新能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江西;36