涂覆均匀的真空气相沉积系统技术方案

技术编号:27933672 阅读:12 留言:0更新日期:2021-04-02 14:13
本实用新型专利技术公开了涂覆均匀的真空气相沉积系统,包括真空气相沉积系统主体,所述真空气相沉积系统主体的内端中心设有第二管件,所述第二管件的侧端固定连接有第一管件,所述第一管件包括限位板、套管、转轴、侧管和中心管,所述套管设在第一管件的内端,所述套管的内端与限位板相固定设置,所述限位板的内端与侧管相固定设置,所述侧管的中心设置中心管,所述侧管和中心管的底部位置与转轴相转动连接设置,所述第二管件包括扣壳、第一连通管、底架、驱动辊架和第二连通管,所述底架设在第二管件的内端底部,所述底架的一端与第一连通管相连通。本实用新型专利技术为涂覆均匀的真空气相沉积系统,通过第一管件和第二管件的设置,实现内端涂覆均匀的目的。

【技术实现步骤摘要】
涂覆均匀的真空气相沉积系统
本技术涉及气相沉积设备
,具体为涂覆均匀的真空气相沉积系统。
技术介绍
真空气相沉积系统可以帮助进行真空气相沉积工作,解决传统真空气相沉积的不便,同时可以方便进行安装设置,使得真空气相沉积可以适应更多的加工环境,达到了省时省力的目的,方便进行维修工作,保证产品的质量,帮助进行覆膜工作,但是目前真空气相沉积系统存在以下问题,存在不便于进行均匀涂覆的现象,会造成一定的不便,需要进行改进。
技术实现思路
本技术的目的在于提供涂覆均匀的真空气相沉积系统,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:涂覆均匀的真空气相沉积系统,包括真空气相沉积系统主体,所述真空气相沉积系统主体的内端中心设有第二管件,所述第二管件的侧端固定连接有第一管件,所述第一管件包括限位板、套管、转轴、侧管和中心管,所述套管设在第一管件的内端,所述套管的内端与限位板相固定设置,所述限位板的内端与侧管相固定设置,所述侧管的中心设置中心管,所述侧管和中心管的底部位置与转轴相转动连接设置,所述第二管件包括扣壳、第一连通管、底架、驱动辊架和第二连通管,所述底架设在第二管件的内端底部,所述底架的一端与第一连通管相连通,所述底架的另一端与第二连通管相连通,所述底架的中心与驱动辊架相转动连接设置,所述底架的上端与扣壳相转动连接设置。优选的,所述第二管件内端的扣壳伸缩连接在底架对称设置的一端位置处。优选的,所述第二管件内端的第一连通管和第二连通管设在侧管和中心管的内端位置。优选的,所述第一管件内端的限位板底部位于转轴的连接位置处设有槽体。优选的,所述第一管件内端的转轴与第二管件内端的驱动辊架相转动连接设置。优选的,所述第二管件内端的第一连通管和第二连通管与外界相连通设置,且通过套管、侧管和中心管内端密封。与现有技术相比,本技术的有益效果是:1、通过安装第一管件,第一管件内端的套管可与外界相密封设置,通过内端的限位板与侧管和中心管相固定连接,通过转轴可与外端的电机进行连接,实现转轴的中心驱动功能,且位于限位板位于转轴连接位置处设置槽体,可实现转轴的活动限制。2、通过安装第二管件,第二管件内端的第一连通管和第二连通管与外界相连通,实现内端的真空沉积,且底架的上端转动设置扣壳,扣壳可在底架的内端进行抽拉,底部位置内置在底架的另一端,可与底架进行闭合,实现内端的封闭,通过转轴的转动,可作用在驱动辊架上,带动驱动辊架进行转动,使得上端连接的物体进行位置变化,实现均匀涂覆的现象,且第一连通管、底架和第二连通管可与侧管、中心管和套管共同构成密闭的空间,实现内端真空处理。附图说明图1为本技术主体结构示意图;图2为本技术第一管件结构示意图;图3为本技术第二管件结构示意图。图中:1-真空气相沉积系统主体;2-第一管件;3-第二管件;4-限位板;5-套管;6-转轴;7-侧管;8-中心管;9-扣壳;10-第一连通管;11-底架;12-驱动辊架;13-第二连通管。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。请参阅图1-3,本技术提供一种技术方案:涂覆均匀的真空气相沉积系统,包括真空气相沉积系统主体1,真空气相沉积系统主体1的内端中心设有第二管件3,第二管件3的侧端固定连接有第一管件2,第一管件2包括限位板4、套管5、转轴6、侧管7和中心管8,套管5设在第一管件2的内端,套管5的内端与限位板4相固定设置,限位板4的内端与侧管7相固定设置,侧管7的中心设置中心管8,侧管7和中心管8的底部位置与转轴6相转动连接设置,第二管件3包括扣壳9、第一连通管10、底架11、驱动辊架12和第二连通管13,底架11设在第二管件3的内端底部,底架11的一端与第一连通管10相连通,底架11的另一端与第二连通管13相连通,底架11的中心与驱动辊架12相转动连接设置,底架11的上端与扣壳9相转动连接设置,通过安装第一管件2,第一管件2内端的套管5可与外界相密封设置,通过内端的限位板4与侧管7和中心管8相固定连接,通过转轴6可与外端的电机进行连接,实现转轴6的中心驱动功能,且位于限位板4位于转轴6连接位置处设置槽体,可实现转轴6的活动限制。第二管件3内端的扣壳9伸缩连接在底架11对称设置的一端位置处,第二管件3内端的第一连通管10和第二连通管13设在侧管7和中心管8的内端位置,第一管件2内端的限位板4底部位于转轴6的连接位置处设有槽体,端的第一连通管10和第二连通管13与外界相连通设置,且通过套管5、侧管7和中心管8内端密封,通过安装第二管件3,第二管件3内端的第一连通管10和第二连通管13与外界相连通,实现内端的真空沉积,且底架11的上端转动设置扣壳9,扣壳9可在底架11的内端进行抽拉,底部位置内置在底架11的另一端,可与底架11进行闭合,实现内端的封闭,通过转轴6的转动,可作用在驱动辊架12上,带动驱动辊架12进行转动,使得上端连接的物体进行位置变化,实现均匀涂覆的现象,且第一连通管10、底架11和第二连通管13可与侧管7、中心管8和套管5共同构成密闭的空间,实现内端真空处理。工作原理:在需要工作时,使用者通过安装第一管件2,第一管件2内端的套管5可与外界相密封设置,通过内端的限位板4与侧管7和中心管8相固定连接,通过转轴6可与外端的电机进行连接,实现转轴6的中心驱动功能,且位于限位板4位于转轴6连接位置处设置槽体,可实现转轴6的活动限制,通过安装第二管件3,第二管件3内端的第一连通管10和第二连通管13与外界相连通,实现内端的真空沉积,且底架11的上端转动设置扣壳9,扣壳9可在底架11的内端进行抽拉,底部位置内置在底架11的另一端,可与底架11进行闭合,实现内端的封闭,通过转轴6的转动,可作用在驱动辊架12上,带动驱动辊架12进行转动,使得上端连接的物体进行位置变化,实现均匀涂覆的现象,且第一连通管10、底架11和第二连通管13可与侧管7、中心管8和套管5共同构成密闭的空间,实现内端真空处理,完成工作。尽管已经示出和描述了本技术的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.涂覆均匀的真空气相沉积系统,包括真空气相沉积系统主体(1),其特征在于:所述真空气相沉积系统主体(1)的内端中心设有第二管件(3),所述第二管件(3)的侧端固定连接有第一管件(2),所述第一管件(2)包括限位板(4)、套管(5)、转轴(6)、侧管(7)和中心管(8),所述套管(5)设在第一管件(2)的内端,所述套管(5)的内端与限位板(4)相固定设置,所述限位板(4)的内端与侧管(7)相固定设置,所述侧管(7)的中心设置中心管(8),所述侧管(7)和中心管(8)的底部位置与转轴(6)相转动连接设置,所述第二管件(3)包括扣壳(9)、第一连通管(10)、底架(11)、驱动辊架(12)和第二连通管(13),所述底架(11)设在第二管件(3)的内端底部,所述底架(11)的一端与第一连通管(10)相连通,所述底架(11)的另一端与第二连通管(13)相连通,所述底架(11)的中心与驱动辊架(12)相转动连接设置,所述底架(11)的上端与扣壳(9)相转动连接设置。/n

【技术特征摘要】
1.涂覆均匀的真空气相沉积系统,包括真空气相沉积系统主体(1),其特征在于:所述真空气相沉积系统主体(1)的内端中心设有第二管件(3),所述第二管件(3)的侧端固定连接有第一管件(2),所述第一管件(2)包括限位板(4)、套管(5)、转轴(6)、侧管(7)和中心管(8),所述套管(5)设在第一管件(2)的内端,所述套管(5)的内端与限位板(4)相固定设置,所述限位板(4)的内端与侧管(7)相固定设置,所述侧管(7)的中心设置中心管(8),所述侧管(7)和中心管(8)的底部位置与转轴(6)相转动连接设置,所述第二管件(3)包括扣壳(9)、第一连通管(10)、底架(11)、驱动辊架(12)和第二连通管(13),所述底架(11)设在第二管件(3)的内端底部,所述底架(11)的一端与第一连通管(10)相连通,所述底架(11)的另一端与第二连通管(13)相连通,所述底架(11)的中心与驱动辊架(12)相转动连接设置,所述底架(11)的上端与扣壳(9)相转动连接设置。


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【专利技术属性】
技术研发人员:浦招前
申请(专利权)人:苏州派华纳米科技有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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