网板工装制造技术

本实用新型专利技术属于真空镀膜加工技术领域，尤其为网板工装，包括细长工件，还包括安装网板、伺服电机和旋转轴；两个所述安装网板间隔分布并安装在所述旋转轴上，所述旋转轴固定在所述伺服电机的输出轴上，所述安装网板包括具有中心孔的内转盘、外圈、连接杆和网状部；本实用新型专利技术的网板工装，适用于细长工件的真空镀膜加工，用于安装在真空镀膜机的真空镀膜腔室内，细长工件穿插在网状部上并跟随安装网板旋转，使得工件与派瑞林充分接触，以及涂覆均匀的效果，并且使得细长工件之间相互隔离，避免细长工件之间相互粘连的问题；网状部采用尼龙编织网，使得工件不易粘连，翻转时在网孔内部可发生翻转位移，便于与派瑞林原料充分接触。便于与派瑞林原料充分接触。便于与派瑞林原料充分接触。

【技术实现步骤摘要】
网板工装


[0001]本技术属于真空镀膜加工
，适用于细长工件的真空镀膜加工，用于安装在真空镀膜机的真空镀膜腔室内，具体涉及一种网板工装。

技术介绍

[0002]真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法，例如，真空镀铝、真空镀铬等；
[0003]派瑞林是一种新型敷形涂层材料，常用作镀膜材料用于对元件进行真空镀膜，Parylene用独特的真空气相沉积工艺制备，由活性小分子在基材表面“生长”出完全敷形的聚合物薄膜涂层，具有其他涂层难以比拟的性能优势，它能涂敷到各种形状的表面，包括尖锐的棱边，裂缝里和内表面；
[0004]经检索，申请号为CN202221439703.0，授权公告号为CN217556285U的中国技术专利公开了“真空镀膜机”，其包括结构本体、料架、电极、镀膜原料发生装置和真空发生装置，所述结构本体具有一镀膜腔室，所述料架和电极各安装于所述镀膜腔室内，所述料架呈托盘式结构，所述料架适于承载一个工件，所述镀膜原料发生装置适于往所述镀膜腔室输本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.网板工装，包括细长工件(1)，其特征在于：还包括安装网板(2)、伺服电机(3)和旋转轴(4)；两个所述安装网板(2)间隔分布并安装在所述旋转轴(4)上，所述旋转轴(4)固定在所述伺服电机(3)的输出轴上用于通过伺服电机(3)驱动所述旋转轴(4)和所述安装网板(2)旋转，所述安装网板(2)包括具有中心孔的内转盘(21)、外圈(22)、连接杆(23)和网状部(24)，多个所述连接杆(23)沿圆周方向等间隔固定在所述外圈(22)与所述内转盘(21)之间，所述网状部(24)固定在所述内转盘(21)的外壁、所述外圈(22)的内壁以及两个相邻连接杆(23)组成的空间内，所述细长工件(1)的两端分别贯穿两个所述安装网板(2)的网状部(24)。2.根据权利要求1所述的网板工装，其特征在于：所述网状部(24)为尼龙编织网。3.根据权利要求1所述的网板工装，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：浦晓峰，
申请(专利权)人：苏州派华纳米科技有限公司，
类型：新型
国别省市：