parylene真空纳米镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术公开了parylene真空纳米镀膜设备，包括输送管，所述输送管的一端开设有螺纹孔，所述输送管的一端固定安装有第二固定法兰盘，所述螺纹孔的内部安装有调节装置，所述调节装置的中部安装有螺纹调节柱，所述螺纹调节柱的底端固定安装有挤压调节球，所述螺纹调节柱的上端固定连接有旋拧手轮，所述输送管的内部安装有控制装置，所述控制装置中安装有锥形输料管，所述锥形输料管的前端固定安装有进料管，所述进料管远离锥形输料管的一端固定连接有第一固定法兰盘，所述锥形输料管远离进料管的一端均匀固定安装有支撑弹簧。本实用新型专利技术使用过程中可以快速方便的对裂解后的活性单体的输送速度和输送量根据使用的需要进行快速的控制，使得镀膜符合要求。

【技术实现步骤摘要】
parylene真空纳米镀膜设备
本技术涉及真空涂覆
，具体为parylene真空纳米镀膜设备。
技术介绍
派瑞林涂层是一种高分子热可塑性聚合体，由单体对二甲苯在真空状态下均匀分布在被涂装物的缝隙和表层然后聚合。运用气相沉积的处理技术，可以于物体表面均匀形成薄膜。沉积过程主要为真空条件下以120C将固态粉末末状的对二甲苯的二聚物加热汽化，再以650C将气态的对二甲苯的二聚物裂解为对二甲苯的活性单体，最后气态活性单体在室温下沉积并聚合成聚对二甲苯的薄膜。但是在二甲苯的活性单体进入至常温沉积室进行沉积时其进入量得不到很好的控制，从而不能根据镀膜和沉积的需要快速方便的对进入量进行控制，从而使得镀膜不符合要求，因此急需要一种装置来解决上述问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供parylene真空纳米镀膜设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：parylene真空纳米镀膜设备，包括输送管，所述输送管的一端开设有螺纹孔，所述输送管的一端固定安装有第二固定法兰盘，所述螺纹孔的内部安装有调节装置，所述调节装置的中部安装有螺纹调节柱，所述螺纹调节柱的底端固定安装有挤压调节球，所述螺纹调节柱的上端固定连接有旋拧手轮，所述输送管的内部安装有控制装置，所述控制装置中安装有锥形输料管，所述锥形输料管的前端固定安装有进料管，所述进料管远离锥形输料管的一端固定连接有第一固定法兰盘，所述锥形输料管远离进料管的一端均匀固定安装有支撑弹簧，所述支撑弹簧远离锥形输料管的一端固定连接有密封调节锥形柱，且所述密封调节锥形柱底部插接在锥形输料管的内部，所述密封调节锥形柱远离支撑弹簧的端面中部固定连接有隔挡调节球。优选的，所述隔挡调节球和挤压调节球的外部均设为光滑状。优选的，所述螺纹调节柱螺纹转动插接在螺纹孔的内部，所述螺纹调节柱螺纹转动旋拧至最底端时挤压调节球与隔挡调节球发生挤压，并且此时密封调节锥形柱插入至锥形输料管的内部将锥形输料管密封。优选的，所述密封调节锥形柱的前端固定安装有密封板。优选的，所述输送管远离第二固定法兰盘的一端与锥形输料管的外壁固定连接。优选的，所述锥形输料管、密封调节锥形柱和隔挡调节球均位于输送管的内部。与现有技术相比，本技术的有益效果如下：本技术通过第一固定法兰盘和第二固定法兰盘可以固定安装在裂解室和沉积室之间，裂解后的活性单体通过进料管和锥形输料管排放至输送管的内部，由于输送管远离第二固定法兰盘的一端与锥形输料管的外壁固定连接，因此进入至输送管内部的活动单体可以顺利的进入至沉积室的内部，根据使用和镀膜的需要通过旋拧旋拧手轮使得螺纹调节柱在螺纹孔的内部转动向下位移，向下位移的螺纹调节柱便可以使得挤压调节球向下移动，向下移动的挤压调节球便会挤压隔挡调节球，通过隔挡调节球推动密封调节锥形柱向锥形输料管的内部插接移动，从而对锥形输料管的开口的大小进行控制，从而方便快捷的控制活性单体的排放速度和排放量，并且螺纹调节柱螺纹转动旋拧至最底端时挤压调节球与隔挡调节球发生挤压，此时密封调节锥形柱插入至锥形输料管的内部将锥形输料管密封，此时锥形输料管为封闭状态，当撤销对隔挡调节球的挤压力时在支撑弹簧弹力的重要下即可缓慢的复位，此时锥形输料管的输送速度和输送量增大。附图说明图1为本技术的主体结构示意图；图2为本技术的控制装置结构示意图；图3为本技术的控制装置拆分示意图；图4为本技术的输送管结构示意图；图5为本技术的调节装置结构示意图。图中：1-控制装置、2-调节装置、3-输送管、4-第一固定法兰盘、5-进料管、6-锥形输料管、7-支撑弹簧、8-密封调节锥形柱、9-隔挡调节球、10-螺纹孔、11-第二固定法兰盘、12-旋拧手轮、13-螺纹调节柱、14-挤压调节球。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-5，本技术提供的一种实施例：parylene真空纳米镀膜设备，包括输送管3，输送管3的一端开设有螺纹孔10，输送管3的一端固定安装有第二固定法兰盘11，螺纹孔10的内部安装有调节装置2，调节装置2的中部安装有螺纹调节柱13，螺纹调节柱13的底端固定安装有挤压调节球14，螺纹调节柱13的上端固定连接有旋拧手轮12，输送管3的内部安装有控制装置1，控制装置1中安装有锥形输料管6，锥形输料管6的前端固定安装有进料管5，进料管5远离锥形输料管6的一端固定连接有第一固定法兰盘4，锥形输料管6远离进料管5的一端均匀固定安装有支撑弹簧7，支撑弹簧7远离锥形输料管6的一端固定连接有密封调节锥形柱8，且密封调节锥形柱8底部插接在锥形输料管6的内部，密封调节锥形柱8远离支撑弹簧7的端面中部固定连接有隔挡调节球9。隔挡调节球9和挤压调节球14的外部均设为光滑状，螺纹调节柱13螺纹转动插接在螺纹孔10的内部，螺纹调节柱13螺纹转动旋拧至最底端时挤压调节球14与隔挡调节球9发生挤压，并且此时密封调节锥形柱8插入至锥形输料管6的内部将锥形输料管6密封，密封调节锥形柱8的前端固定安装有密封板，输送管3远离第二固定法兰盘11的一端与锥形输料管6的外壁固定连接，锥形输料管6、密封调节锥形柱8和隔挡调节球9均位于输送管3的内部，通过第一固定法兰盘4和第二固定法兰盘11可以固定安装在裂解室和沉积室之间，裂解后的活性单体通过进料管5和锥形输料管6排放至输送管3的内部，由于输送管3远离第二固定法兰盘11的一端与锥形输料管6的外壁固定连接，因此进入至输送管3内部的活动单体可以顺利的进入至沉积室的内部，根据使用和镀膜的需要通过旋拧旋拧手轮12使得螺纹调节柱13在螺纹孔10的内部转动向下位移，向下位移的螺纹调节柱13便可以使得挤压调节球14向下移动，向下移动的挤压调节球14便会挤压隔挡调节球9，通过隔挡调节球9推动密封调节锥形柱8向锥形输料管6的内部插接移动，从而对锥形输料管6的开口的大小进行控制，从而方便快捷的控制活性单体的排放速度和排放量，并且螺纹调节柱13螺纹转动旋拧至最底端时挤压调节球14与隔挡调节球9发生挤压，此时密封调节锥形柱8插入至锥形输料管6的内部将锥形输料管6密封，此时锥形输料管6为封闭状态，当撤销对隔挡调节球9的挤压力时在支撑弹簧7弹力的重要下即可缓慢的复位，此时锥形输料管6的输送速度和输送量增大。工作原理：通过第一固定法兰盘4和第二固定法兰盘11可以固定安装在裂解室和沉积室之间，裂解后的活性单体通过进料管5和锥形输料管6排放至输送管3的内部，由于输送管3远离第二固定法兰盘11的一端与锥形输料管6的外壁固定连接，因此进入至输送管3内部的活动单体可以顺利的进入至沉积室的内部本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.parylene真空纳米镀膜设备，包括输送管(3)，其特征在于：所述输送管(3)的一端开设有螺纹孔(10)，所述输送管(3)的一端固定安装有第二固定法兰盘(11)，所述螺纹孔(10)的内部安装有调节装置(2)，所述调节装置(2)的中部安装有螺纹调节柱(13)，所述螺纹调节柱(13)的底端固定安装有挤压调节球(14)，所述螺纹调节柱(13)的上端固定连接有旋拧手轮(12)，所述输送管(3)的内部安装有控制装置(1)，所述控制装置(1)中安装有锥形输料管(6)，所述锥形输料管(6)的前端固定安装有进料管(5)，所述进料管(5)远离锥形输料管(6)的一端固定连接有第一固定法兰盘(4)，所述锥形输料管(6)远离进料管(5)的一端均匀固定安装有支撑弹簧(7)，所述支撑弹簧(7)远离锥形输料管(6)的一端固定连接有密封调节锥形柱(8)，且所述密封调节锥形柱(8)底部插接在锥形输料管(6)的内部，所述密封调节锥形柱(8)远离支撑弹簧(7)的端面中部固定连接有隔挡调节球(9)。/n

【技术特征摘要】
1.parylene真空纳米镀膜设备，包括输送管(3)，其特征在于：所述输送管(3)的一端开设有螺纹孔(10)，所述输送管(3)的一端固定安装有第二固定法兰盘(11)，所述螺纹孔(10)的内部安装有调节装置(2)，所述调节装置(2)的中部安装有螺纹调节柱(13)，所述螺纹调节柱(13)的底端固定安装有挤压调节球(14)，所述螺纹调节柱(13)的上端固定连接有旋拧手轮(12)，所述输送管(3)的内部安装有控制装置(1)，所述控制装置(1)中安装有锥形输料管(6)，所述锥形输料管(6)的前端固定安装有进料管(5)，所述进料管(5)远离锥形输料管(6)的一端固定连接有第一固定法兰盘(4)，所述锥形输料管(6)远离进料管(5)的一端均匀固定安装有支撑弹簧(7)，所述支撑弹簧(7)远离锥形输料管(6)的一端固定连接有密封调节锥形柱(8)，且所述密封调节锥形柱(8)底部插接在锥形输料管(6)的内部，所述密封调节锥形柱(8)远离支撑弹簧(7)的端面中部固定连接有隔挡调节球(9)。


2.根据权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：浦招前，
申请(专利权)人：苏州派华纳米科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32