连续型纳米薄膜制备用气相沉积设备制造技术

本实用新型专利技术公开连续型纳米薄膜制备用气相沉积设备，包括导气机构、密封卡条、齿形皮带轮、齿形皮带、定位槽和支撑机构，所述支撑机构的上端面滑动卡接有导气机构，且位于所述支撑机构的内端面对称转动卡接有齿形皮带轮。本实用新型专利技术当在进行操作时，使用者可通过外部机构将所需覆膜的工件放置在定位槽的内部，随后启动支撑电机，此时支撑电机能通过齿形皮带轮带动齿形皮带进行间歇性运动，从而方便后续对工件进行快速的覆膜，同时在进行更换工件时，密封挡板内部的多组密封卡槽能与密封卡条配合，进而使得齿形皮带在进行运动时支撑机构内部始终保持密封状态，提高了进行覆膜的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
连续型纳米薄膜制备用气相沉积设备
本技术涉及化工设备
，具体为连续型纳米薄膜制备用气相沉积设备。
技术介绍
化学气相淀积，是指把含有构成薄膜元素的气态反应剂或液态反应剂的蒸气及反应所需其它气体引入反应室，在衬底表面发生化学反应生成薄膜的过程，但是现有的常温沉积室，在对工件进行聚合沉积时，其对沉积后的工件不能快速的更换，降低了装置的连续性，所以急需连续型纳米薄膜制备用气相沉积设备来解决上述存在的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供连续型纳米薄膜制备用气相沉积设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：连续型纳米薄膜制备用气相沉积设备，包括导气机构、密封卡条、齿形皮带轮、齿形皮带、定位槽和支撑机构，所述支撑机构的上端面滑动卡接有导气机构，且位于所述支撑机构的内端面对称转动卡接有齿形皮带轮，且位于所述齿形皮带轮的外端面转动啮合连接有齿形皮带，所述齿形皮带的外端面均匀等距开设有用于定位的定位槽，且位于相邻两组所述定位槽之间固定连接有密封卡条。优选的，所述导气机构包括螺本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.连续型纳米薄膜制备用气相沉积设备，其特征在于：包括导气机构(1)、密封卡条(2)、齿形皮带轮(3)、齿形皮带(4)、定位槽(5)和支撑机构(6)，/n所述支撑机构(6)的上端面滑动卡接有导气机构(1)，且位于所述支撑机构(6)的内端面对称转动卡接有齿形皮带轮(3)，且位于所述齿形皮带轮(3)的外端面转动啮合连接有齿形皮带(4)，所述齿形皮带(4)的外端面均匀等距开设有用于定位的定位槽(5)，且位于相邻两组所述定位槽(5)之间固定连接有密封卡条(2)。/n

【技术特征摘要】
1.连续型纳米薄膜制备用气相沉积设备，其特征在于：包括导气机构(1)、密封卡条(2)、齿形皮带轮(3)、齿形皮带(4)、定位槽(5)和支撑机构(6)，
所述支撑机构(6)的上端面滑动卡接有导气机构(1)，且位于所述支撑机构(6)的内端面对称转动卡接有齿形皮带轮(3)，且位于所述齿形皮带轮(3)的外端面转动啮合连接有齿形皮带(4)，所述齿形皮带(4)的外端面均匀等距开设有用于定位的定位槽(5)，且位于相邻两组所述定位槽(5)之间固定连接有密封卡条(2)。


2.根据权利要求1所述的连续型纳米薄膜制备用气相沉积设备，其特征在于：所述导气机构(1)包括螺纹套筒(101)、连接齿轮(102)和导气杆(103)，所述螺纹套筒(101)的底端面转动套接有用于传动的连接齿轮(102)，且位于所述螺纹套筒(101)的底端面中心处固定连接有导气杆(103)。


3.根据权利要求2所述的连续型纳米薄膜制备用气相沉积设备，其特征在于：所述支撑机构(6)包括固定板(601)、固定壳体(602)、固定电机(603)、传动齿轮(604)、导向杆(605)、密封卡环(606)和支撑电机(607)，所述固定壳体(602)的上端面中心处固定连接有密封卡环(606)，且位于所述固定壳体(602)的上端...

【专利技术属性】
技术研发人员：浦招前，
申请(专利权)人：苏州派华纳米科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32