连续型纳米薄膜制备用气相沉积设备制造技术

本实用新型专利技术公开连续型纳米薄膜制备用气相沉积设备，包括导气机构、密封卡条、齿形皮带轮、齿形皮带、定位槽和支撑机构，所述支撑机构的上端面滑动卡接有导气机构，且位于所述支撑机构的内端面对称转动卡接有齿形皮带轮。本实用新型专利技术当在进行操作时，使用者可通过外部机构将所需覆膜的工件放置在定位槽的内部，随后启动支撑电机，此时支撑电机能通过齿形皮带轮带动齿形皮带进行间歇性运动，从而方便后续对工件进行快速的覆膜，同时在进行更换工件时，密封挡板内部的多组密封卡槽能与密封卡条配合，进而使得齿形皮带在进行运动时支撑机构内部始终保持密封状态，提高了进行覆膜的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
连续型纳米薄膜制备用气相沉积设备
本技术涉及化工设备
，具体为连续型纳米薄膜制备用气相沉积设备。
技术介绍
化学气相淀积，是指把含有构成薄膜元素的气态反应剂或液态反应剂的蒸气及反应所需其它气体引入反应室，在衬底表面发生化学反应生成薄膜的过程，但是现有的常温沉积室，在对工件进行聚合沉积时，其对沉积后的工件不能快速的更换，降低了装置的连续性，所以急需连续型纳米薄膜制备用气相沉积设备来解决上述存在的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供连续型纳米薄膜制备用气相沉积设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：连续型纳米薄膜制备用气相沉积设备，包括导气机构、密封卡条、齿形皮带轮、齿形皮带、定位槽和支撑机构，所述支撑机构的上端面滑动卡接有导气机构，且位于所述支撑机构的内端面对称转动卡接有齿形皮带轮，且位于所述齿形皮带轮的外端面转动啮合连接有齿形皮带，所述齿形皮带的外端面均匀等距开设有用于定位的定位槽，且位于相邻两组所述定位槽之间固定连接有密封卡条。优选的，所述导气机构包括螺纹套筒、连接齿轮和导气杆，所述螺纹套筒的底端面转动套接有用于传动的连接齿轮，且位于所述螺纹套筒的底端面中心处固定连接有导气杆，螺纹套筒能方便与外部供应气体的管道进行连接，方便后续覆膜气体的供应。优选的，所述支撑机构包括固定板、固定壳体、固定电机、传动齿轮、导向杆、密封卡环和支撑电机，所述固定壳体的上端面中心处固定连接有密封卡环，且位于所述固定壳体的上端面靠近所述密封卡环处对称固定连接有导向杆，所述固定壳体的上端面正对于所述密封卡环处固定连接有固定电机，且位于所述固定电机的上端面中心处固定安装有传动齿轮，所述固定壳体的侧端面对称固定卡接有用于支撑的固定板，且位于所述固定板的侧端面固定卡接有支撑电机，导向杆能方便后续对螺纹套筒的外部进行快速的限位，进而提高了后续对导气机构进行高度调节的稳定性，且密封卡环能有效保证在进行调节的密封性。优选的，所述固定壳体的侧端面中心处固定连接有密封挡板，且位于所述密封挡板的内端面均匀等距对称开设有密封卡槽，所述密封卡槽与密封卡条相适配弹性密封卡接，密封卡槽共设有多组，故当齿形皮带在密封挡板内部运动时，始终存在密封卡槽与密封卡条进行密封卡接，进而有效保证了支撑机构内部的气密性。优选的，所述连接齿轮的底端面固定连接有密封卡板，且位于所述密封卡环的上端面开设有密封槽，所述密封卡板与密封槽相适配密封转动卡接，所述连接齿轮与传动齿轮啮合转动连接，密封卡板能与密封槽适配，从而最大程度的提高了后续再调节导气机构的高度时，支撑机构内部的密封性。优选的，所述螺纹套筒的顶端面对称固定连接有连接板，且所述连接板的上端面中心处开设有槽体，所述槽体与导向杆相适配滑动卡接，能对螺纹套筒的外部进行限位，从而提高了后续导气机构在支撑机构上部进行上下位移的稳定性。与现有技术相比，本技术的有益效果如下：1.本技术当在进行操作时，使用者可通过外部机构将所需覆膜的工件放置在定位槽的内部，随后启动支撑电机，此时支撑电机能通过齿形皮带轮带动齿形皮带进行间歇性运动，从而方便后续对工件进行快速的覆膜，同时在进行更换工件时，密封挡板内部的多组密封卡槽能与密封卡条配合，进而使得齿形皮带在进行运动时支撑机构内部始终保持密封状态，提高了进行覆膜的稳定性。2.本技术若是需要对气体喷射的高度进行调节，此时使用者可通过外部操控机构启动固定电机，固定电机能带动传动齿轮进行转动，进而带动连接齿轮进行转动，连接齿轮在进行转动时，能带动螺纹套筒在连接齿轮内部螺纹下移，从而方便调节了螺纹套筒和导气杆喷射覆膜气体的高度，提高了装置的适应性能。附图说明图1为本技术的主体爆炸图；图2为本技术的主体装配图；图3为本技术的导气机构结构示意图；图4为本技术的支撑机构结构示意图。图中：1-导气机构、2-密封卡条、3-齿形皮带轮、4-齿形皮带、5-定位槽、6-支撑机构、101-螺纹套筒、102-连接齿轮、103-导气杆、601-固定板、602-固定壳体、603-固定电机、604-传动齿轮、605-导向杆、606-密封卡环、607-支撑电机。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-4，本技术提供的一种实施例：连续型纳米薄膜制备用气相沉积设备，包括导气机构1、密封卡条2、齿形皮带轮3、齿形皮带4、定位槽5和支撑机构6，支撑机构6的上端面滑动卡接有导气机构1，且位于支撑机构6的内端面对称转动卡接有齿形皮带轮3，且位于齿形皮带轮3的外端面转动啮合连接有齿形皮带4，齿形皮带4的外端面均匀等距开设有用于定位的定位槽5，且位于相邻两组定位槽5之间固定连接有密封卡条2。导气机构1包括螺纹套筒101、连接齿轮102和导气杆103，螺纹套筒101的底端面转动套接有用于传动的连接齿轮102，且位于螺纹套筒101的底端面中心处固定连接有导气杆103，螺纹套筒101能方便与外部供应气体的管道进行连接，方便后续覆膜气体的供应。支撑机构6包括固定板601、固定壳体602、固定电机603、传动齿轮604、导向杆605、密封卡环606和支撑电机607，固定壳体602的上端面中心处固定连接有密封卡环606，且位于固定壳体602的上端面靠近密封卡环606处对称固定连接有导向杆605，固定壳体602的上端面正对于密封卡环606处固定连接有固定电机603，且位于固定电机603的上端面中心处固定安装有传动齿轮604，固定壳体602的侧端面对称固定卡接有用于支撑的固定板601，且位于固定板601的侧端面固定卡接有支撑电机607，导向杆605能方便后续对螺纹套筒101的外部进行快速的限位，进而提高了后续对导气机构1进行高度调节的稳定性，且密封卡环606能有效保证在进行调节的密封性。固定壳体602的侧端面中心处固定连接有密封挡板，且位于密封挡板的内端面均匀等距对称开设有密封卡槽，密封卡槽与密封卡条2相适配弹性密封卡接，密封卡槽共设有多组，故当齿形皮带4在密封挡板内部运动时，始终存在密封卡槽与密封卡条2进行密封卡接，进而有效保证了支撑机构6内部的气密性。连接齿轮102的底端面固定连接有密封卡板，且位于密封卡环606的上端面开设有密封槽，密封卡板与密封槽相适配密封转动卡接，连接齿轮102与传动齿轮604啮合转动连接，密封卡板能与密封槽适配，从而最大程度的提高了后续再调节导气机构1的高度时，支撑机构6内部的密封性。螺纹套筒101的顶端面对称固定连接有连接板，且连接板的上端面中心处开设有槽体，槽体与导向杆605相适配滑动卡接，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.连续型纳米薄膜制备用气相沉积设备，其特征在于：包括导气机构(1)、密封卡条(2)、齿形皮带轮(3)、齿形皮带(4)、定位槽(5)和支撑机构(6)，/n所述支撑机构(6)的上端面滑动卡接有导气机构(1)，且位于所述支撑机构(6)的内端面对称转动卡接有齿形皮带轮(3)，且位于所述齿形皮带轮(3)的外端面转动啮合连接有齿形皮带(4)，所述齿形皮带(4)的外端面均匀等距开设有用于定位的定位槽(5)，且位于相邻两组所述定位槽(5)之间固定连接有密封卡条(2)。/n

【技术特征摘要】
1.连续型纳米薄膜制备用气相沉积设备，其特征在于：包括导气机构(1)、密封卡条(2)、齿形皮带轮(3)、齿形皮带(4)、定位槽(5)和支撑机构(6)，
所述支撑机构(6)的上端面滑动卡接有导气机构(1)，且位于所述支撑机构(6)的内端面对称转动卡接有齿形皮带轮(3)，且位于所述齿形皮带轮(3)的外端面转动啮合连接有齿形皮带(4)，所述齿形皮带(4)的外端面均匀等距开设有用于定位的定位槽(5)，且位于相邻两组所述定位槽(5)之间固定连接有密封卡条(2)。


2.根据权利要求1所述的连续型纳米薄膜制备用气相沉积设备，其特征在于：所述导气机构(1)包括螺纹套筒(101)、连接齿轮(102)和导气杆(103)，所述螺纹套筒(101)的底端面转动套接有用于传动的连接齿轮(102)，且位于所述螺纹套筒(101)的底端面中心处固定连接有导气杆(103)。


3.根据权利要求2所述的连续型纳米薄膜制备用气相沉积设备，其特征在于：所述支撑机构(6)包括固定板(601)、固定壳体(602)、固定电机(603)、传动齿轮(604)、导向杆(605)、密封卡环(606)和支撑电机(607)，所述固定壳体(602)的上端面中心处固定连接有密封卡环(606)，且位于所述固定壳体(602)的上端...

【专利技术属性】
技术研发人员：浦招前，
申请(专利权)人：苏州派华纳米科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32