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本实用新型公开连续型纳米薄膜制备用气相沉积设备，包括导气机构、密封卡条、齿形皮带轮、齿形皮带、定位槽和支撑机构，所述支撑机构的上端面滑动卡接有导气机构，且位于所述支撑机构的内端面对称转动卡接有齿形皮带轮。本实用新型当在进行操作时，使用者可通...
该专利属于苏州派华纳米科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州派华纳米科技有限公司授权不得商用。

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