一种新型高效化学气相沉积炉制造技术

本实用新型专利技术提供一种新型高效化学气相沉积炉，涉及化学生产制备领域，包括固定板，所述固定板的内部套设有外壳，所述外壳顶端的外表面连通有进料口，所述外壳顶端远离进料口的一侧连通有排气口，所述外壳的底面开设有出料口，所述外壳的底部设置有收料箱，所述外壳的底部设置有下料机构，所述下料机构包括沉积盒，所述沉积盒与外壳的内壁固定连接，所述沉积盒的下表面开设有下料口，所述外壳的内部设置有清理机构，所述外壳内壁远离收料箱的一端固定安装有沉积板。本实用新型专利技术，通过设置该结构，可以不用操作人员直接从反应炉中取料，避免了在取料过程中产品洒出，造成浪费，同时也节省了人力。

【技术实现步骤摘要】
一种新型高效化学气相沉积炉
本技术涉及化学生产制备领域，尤其涉及一种新型高效化学气相沉积炉。
技术介绍
随着社会的进步与发展，人们在化学产品生产制备领域已经有了长足的进步，而大多数化学产品的制备往往采用的是化学气相沉积法，因此化学气相沉积炉就尤为重要。对于传统的化学气相沉积炉来说，在炉内经过一系列反应沉积之后，反应后得到的产品会收集到沉积盒内，而由于传统化学气相沉积炉缺少对应的下料机构，往往需要人工将沉积盒从反应炉中取出，不仅操作不便，而且在取料的过程中还容易将产品洒出，造成浪费。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本技术提供了一种新型高效化学气相沉积炉，解决了上述
技术介绍
提出的问题。本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种新型高效化学气相沉积炉，为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案给予实现：一种新型高效化学气相沉积炉，包括固定板，所述固定板的内部套设有外壳，所述外壳顶端的外表面连通有进料口，所述外壳顶端远离进料口的一侧连通有排气口，所述外壳的底面开设有出料口，所述外壳的底部设置有收料箱，所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型高效化学气相沉积炉，包括固定板(1)，其特征在于：所述固定板(1)的内部套设有外壳(2)，所述外壳(2)顶端的外表面连通有进料口(3)，所述外壳(2)顶端远离进料口(3)的一侧连通有排气口(4)，所述外壳(2)的底面开设有出料口(5)，所述外壳(2)的底部设置有收料箱(6)，所述外壳(2)的底部设置有下料机构(7)，所述下料机构(7)包括沉积盒(701)，所述沉积盒(701)与外壳(2)的内壁固定连接，所述沉积盒(701)的下表面开设有下料口(702),所述下料口(702)的外表面对称滑动连接有隔板(703)，两组所述隔板(703)与外壳(2)的内壁之间固定安装有复位弹簧(704)...

【技术特征摘要】
1.一种新型高效化学气相沉积炉，包括固定板(1)，其特征在于：所述固定板(1)的内部套设有外壳(2)，所述外壳(2)顶端的外表面连通有进料口(3)，所述外壳(2)顶端远离进料口(3)的一侧连通有排气口(4)，所述外壳(2)的底面开设有出料口(5)，所述外壳(2)的底部设置有收料箱(6)，所述外壳(2)的底部设置有下料机构(7)，所述下料机构(7)包括沉积盒(701)，所述沉积盒(701)与外壳(2)的内壁固定连接，所述沉积盒(701)的下表面开设有下料口(702),所述下料口(702)的外表面对称滑动连接有隔板(703)，两组所述隔板(703)与外壳(2)的内壁之间固定安装有复位弹簧(704)，所述隔板(703)远离下料口(702)的一端固定安装有弹性带(705)，所述弹性带(705)滑动贯穿外壳(2)的内部并延伸至外壳(2)的外部，所述外壳(2)的外表面对称固定安装有连接轴(706)，所述外壳(2)的内部设置有清理机构(8)，所述外壳(2)内壁远离收料箱(6)的一端固定安装有沉积板(9)。


2.根据权利要求1所述一种新型高效化学气相沉积炉，其特征在于：所述固定板(1)的下表面固定安装有支撑柱，支撑柱的数量为四组，两组支撑柱之间固定安装有固定杆(707)，所述连接轴(706)...

【专利技术属性】
技术研发人员：满卫东，龚闯，朱长征，吴剑波，蒋梅荣，
申请(专利权)人：上海征世科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31