一种加压式化学沉积炉制造技术

本实用新型专利技术属于沉积炉气压调节领域，尤其是一种加压式化学沉积炉，针对现有的其炉体缺少手动减压的装置，不能对炉体内的气压进行调节的问题，现提出如下方案，其包括炉体，所述炉体的一侧上固定安装有减压仓，减压仓的顶部固定安装有减压管,所述减压管内滑动安装有活塞，活塞的一端延伸进减压管内且固定安装有密封圈，另一端固定安装有按压板，所述减压管远离炉体的一侧内壁顶部开设有滑孔，本实用新型专利技术结构简单，使用方便，提高了炉体降压的速度，同时提高了减压过程的稳定性，满足了人们的使用需求。

【技术实现步骤摘要】
一种加压式化学沉积炉
本技术涉及沉积炉气压调节
，尤其涉及一种加压式化学沉积炉。
技术介绍
由于沉积炉都是在高温情况作业，因此压力调节阀必须使用耐高温与耐腐蚀的材料，例如合金钢制成。此种阀一般安装在沉积炉的后端出口处，利用调整开口的开度达到调解前端炉腔压力的功能，可调整范围为0.1-10kg/cm2，常用为0.3-3kg/cm2。申请号为CN201820839495.0的专利公开了一种用于化学沉积炉的除焦油装置，可以减少焦油在内壁的附着，可以通过弧形板的左右移动将焦油撸下并集中处理，在废气出口设置过滤网，保证除焦效果，使得焦油可以集中处理，避免管路堵塞，但是其炉体缺少手动减压的装置，不能对炉体内的气压进行调节，存在改进的空间。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在其炉体缺少手动减压的装置，不能对炉体内的气压进行调节的缺点，而提出的一种加压式化学沉积炉。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种加压式化学沉积炉，包括炉体，所述炉体的一侧上固定安装有减压仓，减压仓的顶部固定安装有本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种加压式化学沉积炉，包括炉体（1），其特征在于，所述炉体（1）的一侧上固定安装有减压仓（2），减压仓（2）的顶部固定安装有减压管（3）,所述减压管（3）内滑动安装有活塞（4），活塞（4）的一端延伸进减压管（3）内且固定安装有密封圈（7），另一端固定安装有按压板（5），所述减压管（3）远离炉体（1）的一侧内壁顶部开设有滑孔（12），按压板（5）与滑孔（12）相适配。/n

【技术特征摘要】
1.一种加压式化学沉积炉，包括炉体（1），其特征在于，所述炉体（1）的一侧上固定安装有减压仓（2），减压仓（2）的顶部固定安装有减压管（3）,所述减压管（3）内滑动安装有活塞（4），活塞（4）的一端延伸进减压管（3）内且固定安装有密封圈（7），另一端固定安装有按压板（5），所述减压管（3）远离炉体（1）的一侧内壁顶部开设有滑孔（12），按压板（5）与滑孔（12）相适配。


2.根据权利要求1所述的一种加压式化学沉积炉，其特征在于，所述减压管（3）远离炉体（1）的一侧内壁上开设有弹簧槽（8），弹簧槽（8）的底部内壁上固定安装有复位弹簧（10），所述减压管（3）靠近炉体（1）的一侧内壁上L型滑槽（16），L型滑槽（16）内滑动安装有L型杆（21），L型杆（21）的一端延伸进减压管（3）内且与活塞（4）相连接，所述减压管（3）上开设有滑动气槽（14），滑动气槽（14）靠近滑孔（12）的一侧内壁上开设有气孔（15）。


3.根据权利要求2所述的一种加压式化学沉积...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴桂星，
申请(专利权)人：湖州新奥利吸附材料有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33