一种新型板式PECVD出料腔充气缓冲装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种新型板式PECVD出料腔充气缓冲装置，包括出料腔、进气孔和充气缓冲装置，所述进气孔形成于出料腔内底部，所述充气缓冲装置遮盖于进气孔上，所述充气缓冲装置呈中空腔体状，所述进气孔与充气缓冲装置中空腔体导通；在所述充气缓冲装置上形成有出气孔，所述出气孔气流方向斜向上或正向上。本实用新型专利技术气流经充气缓冲装置弥散和强度缓和，不会带起底部粉尘，从而大大降低电池片污染机率和后续电池不良率。

【技术实现步骤摘要】
一种新型板式PECVD出料腔充气缓冲装置
本技术涉及一种新型板式PECVD出料腔，具体公开一种新型板式PECVD出料腔充气缓冲装置。
技术介绍
在太阳能电池的板式PECVD镀膜工序中，装载着电池片的载板经过出料腔(UM腔)时，需等待腔体从真空状态恢复成大气压状态才可传输出设备，此过程中，由于生产过程中腔体底部会积累大量反应生产的粉尘，在现有充气缓冲装置(如图1、2所示，弯折的薄板，又称充气盖板)的设计下，底部进气孔冲上的氮气部分会从充气盖板左右两侧和前端底部水平方向集中排出(如图2中箭头指示)，气流速度和强度较强且集中，会不同程度的带起底部和两侧角落的粉尘，从而污染电池片，影响后续工艺质量。
技术实现思路
本技术的专利技术目的在于：为解决以上问题提供一种可缓和气流强度，对气流具有导向作用的新型板式PECVD出料腔充气缓冲装置。本技术采用的技术方案是这样的：一种新型板式PECVD出料腔充气缓冲装置，包括出料腔、进气孔和充气缓冲装置，所述进气孔形成于出料腔内底部，所述充气缓冲装置遮盖于进气孔上，所述充气缓冲装置呈中空本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型板式PECVD出料腔充气缓冲装置，包括出料腔、进气孔和充气缓冲装置，所述进气孔形成于出料腔内底部，所述充气缓冲装置遮盖于进气孔上，其特征在于：所述充气缓冲装置呈中空腔体状，所述进气孔与充气缓冲装置中空腔体导通；在所述充气缓冲装置上形成有出气孔，所述出气孔气流方向斜向上或正向上。/n

【技术特征摘要】
1.一种新型板式PECVD出料腔充气缓冲装置，包括出料腔、进气孔和充气缓冲装置，所述进气孔形成于出料腔内底部，所述充气缓冲装置遮盖于进气孔上，其特征在于：所述充气缓冲装置呈中空腔体状，所述进气孔与充气缓冲装置中空腔体导通；在所述充气缓冲装置上形成有出气孔，所述出气孔气流方向斜向上或正向...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱孟，蒲天，尹鸣，
申请(专利权)人：梅耶博格光电设备上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31