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本实用新型涉及一种新型板式PECVD出料腔充气缓冲装置，包括出料腔、进气孔和充气缓冲装置，所述进气孔形成于出料腔内底部，所述充气缓冲装置遮盖于进气孔上，所述充气缓冲装置呈中空腔体状，所述进气孔与充气缓冲装置中空腔体导通；在所述充气缓冲装置上...
该专利属于梅耶博格光电设备(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过梅耶博格光电设备(上海)有限公司授权不得商用。

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