一种氢化非晶硅光学薄膜生产用旋转平台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种氢化非晶硅光学薄膜生产用旋转平台，包括旋转平台和反应板，所述反应板设于旋转平台上方，且反应板与旋转平台匹配设置，所述旋转平台下方设置有连接板，所述连接板上侧壁对称设置有伸缩外管，且旋转平台下侧壁固定连接有与伸缩外管匹配的伸缩内管，所述伸缩外管与伸缩内管竖直滑动连接，所述连接板与旋转平台之间还通过高度调节装置连接。本实用新型专利技术通过在伸缩内管上设置刻度线与高度调节装置配合在一切，可以清楚的反应旋转平台上升的高度，从而快速根据不同需求控制伸缩内管的伸缩量，大大的提高了调节效率，同时又保证了反应的原子和原子团能够均匀的排列在旋转平台上的膜层上，确保光学薄膜成型厚度均匀。

【技术实现步骤摘要】
一种氢化非晶硅光学薄膜生产用旋转平台
本技术涉及光学薄膜
，尤其涉及一种氢化非晶硅光学薄膜生产用旋转平台。
技术介绍
光学薄膜由薄的分层介质构成的，通过界面传播光束的一类光学介质材料，其中氢化非晶硅薄膜是一种重要的半导体材料，由于其具有优越的光电特性而被广泛的应用于各类电子器件上，实际生活中，在氢化非晶硅光学薄膜其进行生产过程中，会采用旋转平台对膜层进行承载，保证反应过程中，膜层的不断旋转，使反应的原子或原子团能够均匀的排列在膜层上，使薄膜成型厚度均匀。现有的用于生产氢化非晶硅光学薄膜生产用旋转平台多为固定式，实际生产中，有些可以调节高度的旋转平台对其高度进行调节的时候操作也较复杂，高度调节不够精细，从而降低反应效果，影响反应质量。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中旋转平台高度调节较为繁琐、使得光学薄膜成膜不够均匀的缺陷，从而提出一种氢化非晶硅光学薄膜生产用旋转平台。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种氢化非晶硅光学薄膜生产用旋转平台，包括旋转平台和反应板，所述反应板设于旋本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种氢化非晶硅光学薄膜生产用旋转平台，包括旋转平台(1)和反应板(2)，所述反应板(2)设于旋转平台(1)上方，且反应板(2)与旋转平台(1)匹配设置，其特征在于，所述旋转平台(1)下方设置有连接板(3)，所述连接板(3)上侧壁对称设置有伸缩外管(4)，且旋转平台(1)下侧壁固定连接有与伸缩外管(4)匹配的伸缩内管(5)，所述伸缩外管(4)与伸缩内管(5)竖直滑动连接，所述连接板(3)与旋转平台(1)之间还通过高度调节装置连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种氢化非晶硅光学薄膜生产用旋转平台，包括旋转平台(1)和反应板(2)，所述反应板(2)设于旋转平台(1)上方，且反应板(2)与旋转平台(1)匹配设置，其特征在于，所述旋转平台(1)下方设置有连接板(3)，所述连接板(3)上侧壁对称设置有伸缩外管(4)，且旋转平台(1)下侧壁固定连接有与伸缩外管(4)匹配的伸缩内管(5)，所述伸缩外管(4)与伸缩内管(5)竖直滑动连接，所述连接板(3)与旋转平台(1)之间还通过高度调节装置连接。


2.根据权利要求1所述的一种氢化非晶硅光学薄膜生产用旋转平台，其特征在于,所述高度调节装置包括与连接板(3)上侧壁中心处转动连接的丝杆(7)，所述连接板(3)上侧壁设置有固定板(10)，所述固定板(10)上转动连接有转杆(11)，所述转杆(11)靠近丝杆(7)的一端贯穿固定板(10)固定连接有第一斜齿轮(12)，且丝杆(7)上固...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗娟，
申请(专利权)人：西安艾美科光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：陕西;61