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本实用新型公开了一种氢化非晶硅光学薄膜生产用旋转平台,包括旋转平台和反应板,所述反应板设于旋转平台上方,且反应板与旋转平台匹配设置,所述旋转平台下方设置有连接板,所述连接板上侧壁对称设置有伸缩外管,且旋转平台下侧壁固定连接有与伸缩外管匹配的...该专利属于西安艾美科光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过西安艾美科光电科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种氢化非晶硅光学薄膜生产用旋转平台,包括旋转平台和反应板,所述反应板设于旋转平台上方,且反应板与旋转平台匹配设置,所述旋转平台下方设置有连接板,所述连接板上侧壁对称设置有伸缩外管,且旋转平台下侧壁固定连接有与伸缩外管匹配的...