一种ALD自动化上下料机制造技术

本发明专利技术公开了一种ALD自动化上下料机，包括花篮上料模块、花篮发片模块、硅片传送模块、吸盘取料搬运模块、石墨框定位工位、石墨框载具输送模块、硅片下料输送模块、硅片花篮收片模块、花篮下料模块和机架，所述机架的端面一侧固定安装有花篮上料模块，所述花篮上料模块的一侧连接安装有花篮发片模块，所述花篮发片模块的一侧连接安装有硅片传送模块，所述硅片传送模块的外部一侧设置有吸盘取料搬运模块，所述机架的端面中央连接安装有石墨框定位工位，该ALD自动化上下料机，整体结构稳定牢固；在使用时，上下料平稳快捷，吸盘吸取面积大，使得稳定性有效提升，从而能够减少吸盘吸取造成的偏移，大大提高定位准确性。

【技术实现步骤摘要】
一种ALD自动化上下料机
本专利技术涉及自动化上下料设备领域，具体为一种ALD自动化上下料机。
技术介绍
ALD全称，AtomicLayerDeposition，是指原子层沉积技术，主要应用于超大规模集成电路、OLED及先进封装领域。硅片在加工的过程中，需要使用到ALD自动化上下料机。由于硅片体积较小，厚度较低，需要使用到上下料机将硅片进行上料和下料；传统的上下料设备，上下料效率较慢，而且，采用普通吸盘进行吸料时，接触面积小，吸力小，使得物料的稳定性减少从而导致吸取发生偏移，也会因为吸力小从而导致物料容易发生脱落，影响上下料，因此，设计一种ALD自动化上下料机是很有必要的。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种ALD自动化上下料机，整体结构稳定牢固；在使用时，上下料平稳快捷，吸盘吸取面积大，使得稳定性有效提升，从而能够减少吸盘吸取造成的偏移，大大提高定位准确性。本专利技术的目的可以通过以下技术方案实现：一种ALD自动化上下料机，包括花篮上料模块、花篮发片模块、硅片传送模块、第一吸盘取料搬运模块、第二吸盘取料搬运模块、石墨框定位工位、石墨框载具输送模块、硅片下料输送模块、硅片花篮收片模块、花篮下料模块和机架，所述机架的端面一侧固定安装有花篮上料模块，所述花篮上料模块的一侧连接安装有花篮发片模块，所述花篮发片模块的一侧连接安装有硅片传送模块，所述硅片传送模块的外部一侧设置有第一吸盘取料搬运模块，所述机架的端面中央连接安装有石墨框定位工位，且石墨框定位工位的外部一侧连接安装有石墨框载具输送模块，所述机架的端面另一侧固定安装有硅片下料输送模块，所述第一吸盘取料搬运模块于石墨框定位工位为中部对称设置有第二吸盘取料搬运模块，所述所述硅片下料输送模块设置在第二吸盘取料搬运模块一端，所述硅片下料输送模块的一侧连接安装有硅片花篮收片模块，所述硅片花篮收片模块的一侧连接安装有花篮下料模块；所述吸盘取料搬运模块包括支撑桁架、伺服驱动丝杆、吸盘升降气缸、伺服吸盘驱动移载和伯努利吸盘，所述支撑桁架固定安装在机架的顶部端面一侧，所述支撑桁架的端面两侧均固定安装有伺服吸盘驱动移载，所述伺服吸盘驱动移载的一侧固定安装有伺服驱动丝杆，所述伺服驱动丝杆的一端固定安装有吸盘升降气缸，且吸盘升降气缸的底部连接安装有若干个伯努利吸盘。作为本专利技术进一步的方案：所述花篮上料模块包括上料驱动马达、上料传动同步带、上料传动轴、上料输送同步带和上料架，所述上料架通过螺栓固定安装在机架的端面一侧，所述上料架的外侧固定安装有上料驱动马达，所述上料驱动马达的一侧连接安装有上料驱动轴，所述上料架的端面两端均插接安装有上料传动轴，所述上料传动轴的外侧套接安装有上料输送同步带，所述上料传动轴的外壁两侧均固定安装有上料驱动轮，且上料输送同步带套接安装在上料驱动轮的外侧；所述上料传动轴的一端穿过上料架和上料驱动轴的一端均固定安装有上料传动带轮，且上料传动带轮之间套接安装有上料传动同步带，且上料传动同步带的另一端与上料驱动马达的上料驱动轴连接。作为本专利技术进一步的方案：所述花篮发片模块包括花篮发片升降驱动伺服电机、花篮发片升降传动模组、花篮发片载具定位气缸、花篮发片载具侧向定位气缸、花篮发片载具传输驱动马达、花篮发片载具传输同步带、发片框架和硅片花篮发片载具，所述发片框架固定安装在花篮上料模块的一侧，所述发片框架的内部设置有硅片花篮发片载具，所述发片框架的一侧顶部通过外侧设置有花篮发片升降驱动伺服电机，所述花篮发片升降驱动伺服电机的底部连接安装有花篮发片升降传动模组，所述发片框架的端面中央固定安装有花篮发片载具定位气缸，所述发片框架的底部端面中央固定安装有花篮发片载具传输驱动马达，所述花篮发片载具传输驱动马达的外侧连接安装有花篮发片载具传输同步带，所述发片框架的一侧端面底部固定安装有花篮发片载具侧向定位气缸，所述发片框架的底部端面固定安装有一对花篮发片载具传动轴，且花篮发片载具传动轴的外侧均固定安装有两个花篮发片载具传动轮，所述花篮发片载具传输同步带套接安装在一对花篮发片载具传动轮的外侧，所述花篮发片载具传输驱动马达的一端设置有花篮发片载具传输驱动轴，所述花篮发片载具传动轴的一端穿过发片框架和花篮发片载具传输驱动轴的一端均连接安装有花篮发片载具驱动链轮，且两个花篮发片载具驱动链轮之间通过花篮发片驱动链条连接。作为本专利技术进一步的方案：所述硅片传送模块包括上料伸缩气缸、上料随动滚轮、上料驱动伺服、上料传动主动轮、上料输送弹力带和上料底架，所述上料底架固定安装在花篮发片模块的端面一侧，所述上料底架的顶部端面一侧通过螺栓固定安装有上料伸缩气缸，且上料伸缩气缸的外部一侧连接安装有上料随动滚轮，所述上料底架的顶部端面另一侧设置有上料轴，且上料轴的两端安装有上料固定滚轮，所述上料底架的顶部端面另一侧通过螺栓固定安装有上料驱动伺服，所述上料底架的端面边缘固定安装有上料传动主动轮，且上料传动主动轮与上料驱动伺服的上料驱动轴连接，所述上料传动主动轮的外部套接安装有上料输送弹力带，且上料输送弹力带的另一端穿过上料固定滚轮与上料随动滚轮连接。作为本专利技术进一步的方案：所述石墨框载具输送模块包括输送用支撑框架、输送用导向滚轮、输送用轴承支撑座、输送用驱动马达、输送用传动轴、输送用输送滚轮和到位检查光电开关，所述输送用支撑框架位于石墨框定位工位的端面一侧，所述输送用支撑框架的顶部端面通过螺钉固定安装有若干个输送用导向滚轮，所述输送用支撑框架的端面一侧设置有输送用驱动马达，所述输送用支撑框架的顶部一侧以及中央位置处均固定安装有若干个输送用轴承支撑座，所述输送用支撑框架的顶部中央设置有输送用辅助支撑架，且六个所述输送用轴承支撑座的底部通过螺栓固定与输送用辅助支撑架的顶部端面固定连接，所述输送用轴承支撑座之间插接安装有输送用传动轴，且靠近输送用驱动马达一侧的输送用传动轴的一端与输送用驱动马达连接，所述输送用支撑框架的一侧端面通过螺栓固定安装有输送用传动板，且靠近输送用驱动马达一侧的输送用传动轴的一端贯穿输送用传动板，所述输送用传动轴的外侧套接安装有两个输送用输送滚轮，所述输送用驱动马达的底部连接安装有变速器，且变速器固定安装在输送用传动板的一侧，所述输送用驱动马达的输送用驱动轴与变速器的动力输入轴连接，所述变速器的动力输出轴与贯穿输送用传动板的输送用传动轴的一端固定连接，所述输送用轴承支撑座的端面中央固定安装有输送用传动轴承，且输送用传动轴的两端外壁均与输送用传动轴承的内壁贴合连接，所述输送用支撑框架的两侧位于输送用传动轴的外侧位置处均通过螺栓固定安装有到位检查光电开关，所述输送用支撑框架的底部两侧端面均通过螺栓固定安装有输送用缓冲支架。作为本专利技术进一步的方案：所述硅片下料输送模块包括下料伸缩气缸、下料随动滚轮、下料驱动伺服、下料传动主动轮、下料输送弹力带和下料底架，所述下料底架固定安装在机架的端面另一侧，所述下料底架的顶部端面一侧通过螺栓固定安装有下料伸缩气缸，且下料伸缩气缸的外部一侧连接安装有下料随动滚轮，所述下料底架的顶部端面另一侧设置有下料轴，且下料轴的两端安装有下料固本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种ALD自动化上下料机，其特征在于，包括花篮上料模块（1）、花篮发片模块（2）、硅片传送模块（3）、第一吸盘取料搬运模块（4）、第二吸盘取料搬运模块（40）、石墨框定位工位（5）、石墨框载具输送模块（6）、硅片下料输送模块（7）、硅片花篮收片模块（8）、花篮下料模块（9）和机架（10），所述机架（10）的端面一侧固定安装有花篮上料模块（1），所述花篮上料模块（1）的一侧连接安装有花篮发片模块（2），所述花篮发片模块（2）的一侧连接安装有硅片传送模块（3），所述硅片传送模块（3）的外部一侧设置有第一吸盘取料搬运模块（4），所述机架（10）的端面中央连接安装有石墨框定位工位（5），且石墨框定位工位（5）的外部一侧连接安装有石墨框载具输送模块（6），所述机架（10）的端面另一侧固定安装有硅片下料输送模块（7），所述第一吸盘取料搬运模块（4）于石墨框定位工位（5）为中部对称设置有第二吸盘取料搬运模块（40），所述硅片下料输送模块（7）设置在第二吸盘取料搬运模块（40）一端，所述硅片下料输送模块（7）的一侧连接安装有硅片花篮收片模块（8），所述硅片花篮收片模块（8）的一侧连接安装有花篮下料模块（9）；/n所述吸盘取料搬运模块（4）包括支撑桁架（41）、伺服驱动丝杆（42）、吸盘升降气缸（43）、伺服吸盘驱动移载（44）和伯努利吸盘（45），所述支撑桁架（41）固定安装在机架（10）的顶部端面一侧，所述支撑桁架（41）的端面两侧均固定安装有伺服吸盘驱动移载（44），所述伺服吸盘驱动移载（44）的一侧固定安装有伺服驱动丝杆（42），所述伺服驱动丝杆（42）的一端固定安装有吸盘升降气缸（43），且吸盘升降气缸（43）的底部连接安装有若干个伯努利吸盘（45）。/n...

【技术特征摘要】
1.一种ALD自动化上下料机，其特征在于，包括花篮上料模块（1）、花篮发片模块（2）、硅片传送模块（3）、第一吸盘取料搬运模块（4）、第二吸盘取料搬运模块（40）、石墨框定位工位（5）、石墨框载具输送模块（6）、硅片下料输送模块（7）、硅片花篮收片模块（8）、花篮下料模块（9）和机架（10），所述机架（10）的端面一侧固定安装有花篮上料模块（1），所述花篮上料模块（1）的一侧连接安装有花篮发片模块（2），所述花篮发片模块（2）的一侧连接安装有硅片传送模块（3），所述硅片传送模块（3）的外部一侧设置有第一吸盘取料搬运模块（4），所述机架（10）的端面中央连接安装有石墨框定位工位（5），且石墨框定位工位（5）的外部一侧连接安装有石墨框载具输送模块（6），所述机架（10）的端面另一侧固定安装有硅片下料输送模块（7），所述第一吸盘取料搬运模块（4）于石墨框定位工位（5）为中部对称设置有第二吸盘取料搬运模块（40），所述硅片下料输送模块（7）设置在第二吸盘取料搬运模块（40）一端，所述硅片下料输送模块（7）的一侧连接安装有硅片花篮收片模块（8），所述硅片花篮收片模块（8）的一侧连接安装有花篮下料模块（9）；
所述吸盘取料搬运模块（4）包括支撑桁架（41）、伺服驱动丝杆（42）、吸盘升降气缸（43）、伺服吸盘驱动移载（44）和伯努利吸盘（45），所述支撑桁架（41）固定安装在机架（10）的顶部端面一侧，所述支撑桁架（41）的端面两侧均固定安装有伺服吸盘驱动移载（44），所述伺服吸盘驱动移载（44）的一侧固定安装有伺服驱动丝杆（42），所述伺服驱动丝杆（42）的一端固定安装有吸盘升降气缸（43），且吸盘升降气缸（43）的底部连接安装有若干个伯努利吸盘（45）。


2.根据权利要求1所述的ALD自动化上下料机，其特征在于，所述花篮上料模块（1）包括上料驱动马达（11）、上料传动同步带（12）、上料传动轴（13）、上料输送同步带（14）和上料架（15），所述上料架（15）通过螺栓固定安装在机架（10）的端面一侧，所述上料架（15）的外侧固定安装有上料驱动马达（11），所述上料驱动马达（11）的一侧连接安装有上料驱动轴，所述上料架（15）的端面两端均插接安装有上料传动轴（13），所述上料传动轴（13）的外侧套接安装有上料输送同步带（14），所述上料传动轴（13）的外壁两侧均固定安装有上料驱动轮，且上料输送同步带（14）套接安装在上料驱动轮的外侧；所述上料传动轴（13）的一端穿过上料架（15）和上料驱动轴的一端均固定安装有上料传动带轮，且上料传动带轮之间套接安装有上料传动同步带（12），且上料传动同步带（12）的另一端与上料驱动马达（11）的上料驱动轴连接。


3.根据权利要求1所述的ALD自动化上下料机，其特征在于，所述花篮发片模块（2）包括花篮发片升降驱动伺服电机（21）、花篮发片升降传动模组（22）、花篮发片载具定位气缸（23）、花篮发片载具侧向定位气缸（24）、花篮发片载具传输驱动马达（25）、花篮发片载具传输同步带（26）、发片框架（27）和硅片花篮发片载具（28），所述发片框架（27）固定安装在花篮上料模块（1）的一侧，所述发片框架（27）的内部设置有硅片花篮发片载具（28），所述发片框架（27）的一侧顶部通过外侧设置有花篮发片升降驱动伺服电机（21），所述花篮发片升降驱动伺服电机（21）的底部连接安装有花篮发片升降传动模组（22），所述发片框架（27）的端面中央固定安装有花篮发片载具定位气缸（23），所述发片框架（27）的底部端面中央固定安装有花篮发片载具传输驱动马达（25），所述花篮发片载具传输驱动马达（25）的外侧连接安装有花篮发片载具传输同步带（26），所述发片框架（27）的一侧端面底部固定安装有花篮发片载具侧向定位气缸（24），所述发片框架（27）的底部端面固定安装有一对花篮发片载具传动轴，且花篮发片载具传动轴的外侧均固定安装有两个花篮发片载具传动轮，所述花篮发片载具传输同步带（26）套接安装在一对花篮发片载具传动轮的外侧，所述花篮发片载具传输驱动马达（25）的一端设置有花篮发片载具传输驱动轴，所述花篮发片载具传动轴的一端穿过发片框架（27）和花篮发片载具传输驱动轴的一端均连接安装有花篮发片载具驱动链轮，且两个花篮发片载具驱动链轮之间通过花篮发片驱动链条连接。


4.根据权利要求1所述的ALD自动化上下料机，其特征在于，所述硅片传送模块（3）包括上料伸缩气缸（31）、上料随动滚轮（32）、上料驱动伺服（33）、上料传动主动轮（34）、上料输送弹力带（35）和上料底架（36），所述上料底架（36）固定安装在花篮发片模块（2）的端面一侧，所述上料底架（36）的顶部端面一侧通过螺栓固定安装有上料伸缩气缸（31），且上料伸缩气缸（31）的外部一侧连接安装有上料随动滚轮（32），所述上料底架（36）的顶部端面另一侧设置有上料轴，且上料轴的两端安装有上料固定滚轮，所述上料底架（36）的顶部端面另一侧通过螺栓固定安装有上料驱动伺服（33），所述上料底架（36）的端面边缘固定安装有上料传动主动轮（34），且上料传动主动轮（34）与上料驱动伺服（33）的上料驱动轴连接，所述上料传动主动轮（34）的外部套接安装有上料输送弹力带（35），且上料输送弹力带（35）的另一端穿过上料固定滚轮与上料随动滚轮（32）连接。


5.根据权利要求1所述的ALD自动化上下料机，其特征在于，所述石墨框载具...

【专利技术属性】
技术研发人员：辛朋朋，
申请(专利权)人：昆山豪恩特机器人自动化科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32