本发明专利技术公开了一种ALD自动化上下料机用输送机构，包括支撑框架、导向滚轮、轴承支撑座、驱动马达、传动轴、输送滚轮和到位检查光电开关，所述支撑框架的顶部端面通过螺钉固定安装有若干个导向滚轮，所述支撑框架的端面一侧设置有驱动马达，所述支撑框架的顶部一侧以及中央位置处均固定安装有若干个轴承支撑座，所述轴承支撑座之间插接安装有传动轴，且靠近驱动马达一侧的传动轴的一端与驱动马达连接；所述支撑框架的两侧位于传动轴的外侧位置处均通过螺栓固定安装有到位检查光电开关；该ALD自动化上下料机用输送机构，结构稳定，支撑牢固；具有稳定的传输输送能力，同时，导向效果好，能够有效避免输送物料发生偏移的情况。够有效避免输送物料发生偏移的情况。够有效避免输送物料发生偏移的情况。
【技术实现步骤摘要】
一种ALD自动化上下料机用输送机构
[0001]本专利技术涉及自动化上下料机设备领域，具体为一种ALD自动化上下料机用输送机构。
技术介绍
[0002]硅片在加工时需要使用到自动化上下料机进行上料和下料；在输送的过程中，会使用到输送机构将硅片进行输送；现有技术中的输送机构，结构简陋，功能单一，在输送时，容易导致硅片输送偏移，使得硅片脱离输送机构，因此，设计一种ALD自动化上下料机用输送机构是很有必要的。
技术实现思路
[0003]本专利技术的目的在于提供一种ALD自动化上下料机用输送机构，结构稳定，支撑牢固；具有稳定的传输输送能力，同时，导向效果好，能够有效避免输送物料发生偏移的情况。
[0004]本专利技术的目的可以通过以下技术方案实现：一种ALD自动化上下料机用输送机构，包括支撑框架、导向滚轮、轴承支撑座、驱动马达、传动轴、输送滚轮和到位检查光电开关，所述支撑框架的顶部端面通过螺钉固定安装有若干个导向滚轮，所述支撑框架的端面一侧设置有驱动马达，所述支撑框架的顶部一侧以及中央位置处均固定安装有若干个轴承支撑座，所述轴承支撑座之间插接安装有传动轴，且靠近驱动马达一侧的传动轴的一端与驱动马达连接，所述传动轴的外侧套接安装有两个输送滚轮，所述支撑框架的两侧位于传动轴的外侧位置处均通过螺栓固定安装有到位检查光电开关。
[0005]作为本专利技术进一步的方案：所述支撑框架的顶部中央设置有辅助支撑架，且六个所述轴承支撑座的底部通过螺栓固定与辅助支撑架的顶部端面固定连接。
[0006]作为本专利技术进一步的方案：所述支撑框架的一侧端面通过螺栓固定安装有传动板，且靠近驱动马达一侧的传动轴的一端贯穿传动板。
[0007]作为本专利技术进一步的方案：所述驱动马达的底部连接安装有变速器，且变速器固定安装在传动板的一侧，所述驱动马达的驱动轴与变速器的动力输入轴连接，所述变速器的动力输出轴与贯穿传动板的传动轴的一端固定连接。
[0008]作为本专利技术进一步的方案：所述轴承支撑座的端面中央固定安装有传动轴承，且传动轴的两端外壁均与传动轴承的内壁贴合连接。
[0009]作为本专利技术进一步的方案：所述支撑框架的底部两侧端面均通过螺栓固定安装有缓冲支架。
[0010]本专利技术的有益效果：该ALD自动化上下料机用输送机构，整体结构稳定，支撑牢固，在输送的过程中，具有稳定的传输输送能力，同时，通过支撑框架顶部两侧安装的导向滚轮和到位检查光电开关，能够有效对输送物料进行导向输送，导向效果好，不仅能够有效避免输送物料发生偏移，而且，也能够保证物料输送的准确性。
附图说明
[0011]为了便于本领域技术人员理解，下面结合附图对本专利技术作进一步的说明。
[0012]图1为本专利技术整体结构示意图；图2为本专利技术整体俯视图；图中：1、支撑框架；2、导向滚轮；3、轴承支撑座；4、驱动马达；5、传动轴；6、输送滚轮；7、到位检查光电开关。
具体实施方式
[0013]下面将结合实施例对本专利技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0014]如图1
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2所示，一种ALD自动化上下料机用输送机构，包括支撑框架1、导向滚轮2、轴承支撑座3、驱动马达4、传动轴5、输送滚轮6和到位检查光电开关7，支撑框架1的顶部端面通过螺钉固定安装有若干个导向滚轮2，支撑框架1的端面一侧设置有驱动马达4，支撑框架1的顶部一侧以及中央位置处均固定安装有若干个轴承支撑座3，支撑框架1的顶部中央设置有辅助支撑架，且六个轴承支撑座3的底部通过螺栓固定与辅助支撑架的顶部端面固定连接，提高支撑稳定性；轴承支撑座3之间插接安装有传动轴5，且靠近驱动马达4一侧的传动轴5的一端与驱动马达4连接，支撑框架1的一侧端面通过螺栓固定安装有传动板，且靠近驱动马达4一侧的传动轴5的一端贯穿传动板，驱动马达4的底部连接安装有变速器，且变速器固定安装在传动板的一侧，驱动马达4的驱动轴与变速器的动力输入轴连接，所述变速器的动力输出轴与贯穿传动板的传动轴5的一端固定连接，便于动力调节；便于传动；轴承支撑座3的端面中央固定安装有传动轴承，且传动轴5的两端外壁均与传动轴承的内壁贴合连接，便于传动轴5在轴承支撑座3的内部转动；传动轴5的外侧套接安装有两个输送滚轮6，支撑框架1的两侧位于传动轴5的外侧位置处均通过螺栓固定安装有到位检查光电开关7；支撑框架1的底部两侧端面均通过螺栓固定安装有缓冲支架，便于将支撑框架1安装固定，同时，越对支撑框架1具有良好的缓冲效果。
[0015]本专利技术的工作原理：通过支撑框架1底部的缓冲支架与外界机架固定安装，使得缓冲支架能够对支撑框架1具有稳定的支撑作用，在日常使用时，将需要输送的物料放置在支撑框架1顶部的若干个输送滚轮6上，传动板一侧的驱动马达4工作，通过变速器调节转速后，通过动力输出轴带动与之相连的传动轴5转动，传动轴5在轴承支撑座3内部的传动内转动，从而能够带动输送滚轮6转动，随着输送滚轮6不断转动，能够将输送滚轮6顶部的输送物料进行输送到相邻位置的输送滚轮6上，随着驱动马达4不断工作，从而能够将输送滚轮6顶部的物料进行输送，在输送的过程中，通过导向滚轮2能够对输送物料的物质进行导向，避免物料发生偏移，当物料输送到支撑框架1的一端后，通过到位检查光电开关7能够进行到位检查，从而保证物料输送的准确性。
[0016]以上公开的本专利技术优选实施例只是用于帮助阐述本专利技术。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该专利技术仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本专利技术
的原理和实际应用，从而使所属
技术人员能很好地理解和利用本专利技术。本专利技术仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种ALD自动化上下料机用输送机构，其特征在于，包括支撑框架（1）、导向滚轮（2）、轴承支撑座（3）、驱动马达（4）、传动轴（5）、输送滚轮（6）和到位检查光电开关（7），所述支撑框架（1）的顶部端面通过螺钉固定安装有若干个导向滚轮（2），所述支撑框架（1）的端面一侧设置有驱动马达（4），所述支撑框架（1）的顶部一侧以及中央位置处均固定安装有若干个轴承支撑座（3），所述轴承支撑座（3）之间插接安装有传动轴（5），且靠近驱动马达（4）一侧的传动轴（5）的一端与驱动马达（4）连接，所述传动轴（5）的外侧套接安装有两个输送滚轮（6），所述支撑框架（1）的两侧位于传动轴（5）的外侧位置处均通过螺栓固定安装有到位检查光电开关（7）。2.根据权利要求1所述的ALD自动化上下料机用输送机构，其特征在于，所述支撑框架（1）的顶部中央设置有辅助支撑架，且六个所述轴承支撑座（3）的底部通过螺...
【专利技术属性】
技术研发人员：辛朋朋，
申请(专利权)人：昆山豪恩特机器人自动化科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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