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本实用新型公开了涂覆均匀的真空气相沉积系统，包括真空气相沉积系统主体，所述真空气相沉积系统主体的内端中心设有第二管件，所述第二管件的侧端固定连接有第一管件，所述第一管件包括限位板、套管、转轴、侧管和中心管，所述套管设在第一管件的内端，所述套...
该专利属于苏州派华纳米科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州派华纳米科技有限公司授权不得商用。

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