流体可变式流量控制装置制造方法及图纸

一种流体可变式流量控制装置，通过一台流量控制装置可自由地改变最大刻度流量，且能以高精度控制多种流体的流量。具体地，在将节流孔上游侧压力Ｐ↓［１］保持在下游侧压力Ｐ↓［２］的约２倍以上、进行流体的流量控制的流量控制装置ＦＣＳ中，包括：为了依据流体的种类或流量范围而设定适当的节流孔直径而设置成可自由更换的节流孔８；设置在其上游侧的控制阀２；设置在控制阀２与节流孔８之间的压力检测器６；从该压力检测器６的上游侧检测压力Ｐ↓［１］以流量为Ｑｃ＝ＫＰ↓［１］（Ｋ为常数）进行演算的流量演算回路１４；将流量设定信号Ｑｅ输出的流量设定回路１６；为了切换最大刻度流量，将演算流量信号Ｑｃ乘以流量变换率ｋ，变换成切换演算流量信号Ｑｆ（Ｑｆ＝ｋＱｃ）的流量变换回路１８；以该Ｑｆ与Ｑｅ之差作为控制信号Ｑｙ并输出给控制阀２的驱动部４的演算控制回路２０，开闭控制阀２，使Ｑｙ为零。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

Fluid variable flow control device

The utility model relates to a variable flow control device of a fluid, which can freely change the maximum scale flow rate through a flow control device, and can control the flow of a plurality of fluids with high precision. Specifically, the orifice upstream pressure P decreases 1 in downstream pressure P down 2 about more than 2 times, including the flow control flow control device of FCS fluid, in order to according to the fluid types or flow range and set the diameter of the throttle hole and provided with a proper the orifice can freely change 8; control valve arranged on the upstream side of the 2; in the control valve pressure detector set between 2 and 8 of the 6 orifice; from the pressure detector 6 upstream pressure detection P down 1 to flow for Qc = KP: 1 (K constant) of the flow volume loop calculus calculus 14; the flow setting signal Qe output flow setting circuit 16; to the maximum scale flow switch, the calculus of flow signal Qc multiplied by the rate of change of flow K, transform into switching algorithm Traffic signal Qf (Qf = kQc) the flow conversion circuit 18; the Qf and Qe as the difference of Qy control signal and output to the control valve to drive the 2 4 of the control circuit 20, opening and closing control valve 2, the Qy is zero.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种半导体或化学制品、药品、精密机械部件等制造所使用的气体等各种流体的流量控制装置，更详细地说，是涉及可用同一节流孔高精度地对各种流体或流量范围进行流量控制，而且通过自由更换节流孔可大幅度地改变流体种类或流量范围的流体可变式流量控制装置。
技术介绍
一般来说，半导体制造设备或化学制品的制造设备的流体供给装置必须要进行高精度的流量控制，几乎都使用质量流量控制器。图7示出了半导体制造装置用的高纯度水份发生装置的一例。三种气体H2、O2及N2在由质量流量控制器MFC1～MFC3进行流量控制的同时，通过阀V1～V3导入反应炉RR中。首先，打开阀V3，关闭阀V1、V2，用N2气体清洁反应炉RR。接着，关闭阀V3，打开阀V1、V2，以给定流量将H2气体与O2气体供给到反应炉RR中，在炉内使其与白金触媒接触，在非燃烧下生成H2O气体，并将该高纯度水蒸汽供给后方的图中未示的设备。一般地，质量流量控制器由于要对每一种气体及每一流量范围要进行线性补偿，所以存在不能用于所调整气体种类以外的气体的缺点。因而，如图7所示，对于H2气体、O2气体及N2气体，必须分别配置质量流量控制器MFC1～本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种流体可变式流量控制装置，将节流孔上游侧压力Ｐ↓［１］保持在下游侧压力Ｐ↓［２］的约２倍以上，进行流体的流量控制，其特征是，包括：为了依据流体的种类或流量范围而设定适当的节流孔直径而设置成可自由更换的节流孔；设置在该节流孔上游侧的控制阀；设置在控制阀与节流孔之间的压力检测器（６）；从该压力检测器的检测压力Ｐ↓［１］以流量为Ｑｃ＝ＫＰ↓［１］（Ｋ为常数）进行演算的流量演算回路（１４）；将流量设定信号Ｑｅ输出的流量设定回路；为了切换最大刻度流量，把演算流量信号Ｑｃ变换成切换演算流量信号Ｑｆ的流量变换回路（１８）；以该切换演算流量信号Ｑｆ与流量设定信号Ｑｅ之差作为控制信号Ｑｙ并输出给控制阀的驱动部...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：大见忠弘，加贺爪哲，广濑润，西野功二，
申请(专利权)人：株式会社富士金，大见忠弘，东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]