下载流体可变式流量控制装置的技术资料

文档序号:2785117

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一种流体可变式流量控制装置,通过一台流量控制装置可自由地改变最大刻度流量,且能以高精度控制多种流体的流量。具体地,在将节流孔上游侧压力P↓[1]保持在下游侧压力P↓[2]的约2倍以上、进行流体的流量控制的流量控制装置FCS中,包括:为了依据...
该专利属于株式会社富士金;大见忠弘;东京毅力科创株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社富士金;大见忠弘;东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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